CN207264047U - 排气装置 - Google Patents

Abstract

公开了一种位于去光阻室上的排气装置，该排气装置包括：第一腔室，包括至少一个进气口，所述至少一个进气口与所述去光阻室连通；至少一个储藏室，位于所述第一腔室内，与所述至少一个进气口连通；以及导流管，包括相对的第一端和第二端，所述第一端伸入所述第一腔室内，所述第二端用于连接抽气装置，其中，所述至少一个储藏室的其中一侧为活动侧壁，用于当所述抽气装置进行抽气时打开，以连通所述储藏室与所述第一腔室。当抽气装置能够防止蒸汽中的水冷凝回流，避免去光阻室内剥离液浓度的降低、异物的回流以及降低由于气压异常带来的火灾隐患。

Description

排气装置

技术领域

本实用新型涉及液晶面板制造领域，更具体地，涉及一种去光阻室上的排气装置。

背景技术

在液晶面板制作过程中，需要通过涂布光刻胶、显影以及蚀刻等工艺在晶片上形成特定的电路图案，当这些制程完成后，光阻的作用已经结束，因此需要将光阻从晶片表面剥离(strip)，该过程通常称为去光阻。

现有的去光阻程序通常在去光阻室(stripper chamber)内进行，在去光阻室的排气系统中，剥离液产生的蒸汽通过排气管路排入废水管中。现有的排气系统中，剥离液中的水蒸气在去光阻室与排气管路的连接位置容易凝结为水，回流至去光阻室内，使得剥离液中的药剂浪费，而回流的水使得剥离液的浓度降低，同时制程中产生的一部分异物也会随回流的水返回去光阻室内，为后续的清洗制程增加难度，回流水现象在严重时还可能造成压力异常引发火灾。此外，制程中产生的一部分异物随剥离液产生的蒸汽进入废水管容易形成堵塞。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的目的在于提供一种排气装置，以解决去光阻室中蒸汽部分冷凝回流至去光阻室内造成的一系列问题。

根据本实用新型提供的一种排气装置，位于去光阻室上，所述排气装置包括第一腔室、至少一个储藏室以及导流管，所述第一腔室包括至少一个进气口，所述至少一个进气口与所述去光阻室连通；所述至少一个储藏室位于所述第一腔室内，与所述至少一个进气口连通；以及所述导流管包括相对的第一端和第二端，所述第一端伸入所述第一腔室内，所述第二端用于连接抽气装置，其中，所述至少一个储藏室的其中一侧为活动侧壁，用于当所述抽气装置进行抽气时打开，以连通所述储藏室与所述第一腔室。

优选地，所述排气装置还包括：过滤装置，所述过滤装置位于所述第一腔室内，与所述导流管的所述第一端连接。

优选地，所述过滤装置包括：多个过滤扇叶，所述多个过滤扇叶以所述导流管的轴线为轴环形阵列排布，并且包围形成第二腔室，所述导流管的所述第一端与所述第二腔室连通。

优选地，所述过滤装置还包括：第一异物管，位于所述多个过滤扇叶的底部，用于将所述多个过滤扇叶过滤得到的异物送至所述第一腔室内。

优选地，所述第一腔室还包括：第二异物管，位于所述第一腔室底部，用于将所述异物排出所述第一腔室。

优选地，所述第一腔室的底部呈锤状，所述第二异物管位于所述第一腔室底部的最底端。

优选地，所述排气装置还包括：液位传感器，位于所述第一腔室内的预定高度上。

优选地，所述第一腔室呈横向延伸的柱状，所述至少一个进气口包括两个，分别设置在所述第一腔室的两端。

优选地，所述至少一个储藏室包括两个，分别位于所述第一腔室内部的两端，并且分别对应与两个所述进气口连通。

优选地，所述导流管位于所述第一腔室顶部的中心，所述至少一个储藏室朝向所述导流管的一侧为所述活动侧壁。

根据本实用新型的排气装置，包括至少一个储藏室，用于将剥离液中的水蒸气冷凝并且储存在储藏室内。此外，储藏室的其中一侧为活动侧壁，当抽气装置对导流管进行抽气时，活动侧壁打开，以连通储藏室与第一腔室，剥离液产生的蒸汽可以顺利依次通过储藏室、第一腔室以及导流管排至系统外。上述排气装置能够顺利将去光阻室内产生的蒸汽通过导流管排出至系统外，同时通过上述储藏室能够防止蒸汽中的水冷凝回流，避免去光阻室内剥离液浓度的降低、异物的回流以及降低由于气压异常带来的火灾隐患。

在优选的实施例中，排气装置内还设有过滤装置，蒸汽以及冷凝水中的异物在经过该过滤装置时滤出，通过所述第一异物管以及所述第二异物管排出系统外，一方面避免了异物回流至去光阻室内造成二次污染即产品异常，另一方面避免了异物进入导流管造成导流管堵塞。

附图说明

通过以下参照附图对本实用新型实施例的描述，本实用新型的上述以及其它目的、特征和优点将更为清楚，在附图中：

图1示出根据本实用新型实施例的排气装置的正视图；

图2a和图2b示出根据本实用新型实施例的排气装置的截面图。

具体实施方式

以下将参照附图更详细地描述本实用新型。在各个附图中，相同的元件采用类似的附图标记来表示。为了清楚起见，附图中的各个部分没有按比例绘制。此外，可能未示出某些公知的部分。

应当理解，在描述某个结构时，当将一层、一个区域称为位于另一层、另一个区域“上面”或“上方”时，可以指直接位于另一层、另一个区域上面，或者在其与另一层、另一个区域之间还包含其它的层或区域。并且，如果将该结构翻转，该一层、一个区域将位于另一层、另一个区域“下面”或“下方”。如果为了描述直接位于另一层、另一个区域上面的情形，本文将采用“A直接在B上面”或“A在B上面并与之邻接”的表述方式。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。此外，在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

图1示出根据本实用新型实施例的排气装置的正视图，图2a和图 2b示出根据本实用新型实施例的排气装置的截面图。

排气装置100位于去光阻室200上，在图1中，箭头示出去光阻室 200内产生的蒸汽的流动方向，蒸汽向上流动，并且汇入至所述排气装置中。

本实用新型的排气装置100包括第一腔室110、至少一个储藏室120 以及导流管130。其中第一腔室110包括至少一个进气口111，该至少一个进气口111与去光阻室200连通。上述的至少一个储藏室120位于第一腔室110内，并且对应与上述的至少一个进气口111连通。导流管130 包括相对的第一端和第二端，其中第一端伸入第一腔室110内，第二端用于连接抽气装置。

与现有技术不同的是，储藏室120的其中一侧为活动侧壁121，用于当抽气装置对导流管130进行抽气时打开，从而连通储藏室120与第一腔室110，剥离液产生的蒸汽可以顺利依次通过储藏室120、第一腔室 110以及导流管130排至系统外。当抽气装置停止对导流管130抽气时，储藏室120的活动侧壁121关闭，此时第一腔室110内的蒸汽以及冷凝水无法通过活动侧壁121返回储藏室，避免了冷凝水的回流。

进一步地，排气装置100还可以包括过滤装置140，过滤装置140 位于第一腔室110内，与导流管130的第一端连接。在本实施例中，过滤装置140包括多个过滤扇叶141，多个过滤扇叶141以导流管130的轴线为轴环形阵列排布，并且包围形成第二腔室150，导流管130的第一端与第二腔室150连通。

过滤装置140还可以包括第一异物管142，位于多个过滤扇叶141 的底部，用于将多个过滤扇叶141过滤得到的异物送至第一腔室110内。

第一腔室110还可以包括第二异物管112，位于第一腔室110底部，用于将异物排出第一腔室110。第一腔室110的底部可以呈锤状，使异物的汇集更容易，其中第二异物管112可以位于第一腔室110底部的最底端，以方便排尽所有异物。排气装置还可以包括液位传感器160，位于第一腔室110内的预定高度上。

本实施例中，第一腔室110呈横向延伸的柱状，例如是呈长方体状，所述至少一个进气口111可以包括两个，分别设置在第一腔室110的两端。上述的至少一个储藏室120也可以包括两个，分别位于第一腔室110 内部的两端，并且分别对应与两个进气口111连通。导流管130可以位于第一腔室110顶部的中心，第一异物管142以及第二异物管112可以与导流管130同轴设置，储藏室120可以是大致呈长方体状，多个储藏室120的朝向导流管130的一侧为活动侧壁121，该活动侧壁121例如是能以中心部位为轴朝向导流管130方向弯折的侧壁。导流管130与第一腔室110、过滤装置140之间可以通过接头170连接。液位传感器160 可以设置两个，分别对应固定在两个储藏室120的外壁上。

图2a和图2b分别示出抽气装置对导流管130进行抽气时和停止抽气时排气装置的内部结构，图中箭头示出光阻室200内产生的蒸汽的流动方向。如图2a，当抽气装置对导流管130进行抽气时，第一腔室110 内的气压小于储藏室120的内部气压，储藏室120上的活动侧壁121发生弯折而打开通道，使得储藏室120与第一腔室110内部连通，此时去光阻室200内的蒸汽依次经过进气口111、储藏室120、第一腔室110、多个过滤扇叶141、第二腔室150以及导流管130排出至系统外。其中，蒸汽经过储藏室120时部分水蒸气冷凝为水滴落在储藏室120内进行存储，蒸汽以及冷凝水经过多个过滤扇叶141时，异物被多个多个过滤扇叶141滤出，并且通过第一异物管142导至第一腔室110的底部，其中第一腔室110的底部为锤状，从而对异物进行汇集，液位传感器160对异物的液位进行检测，当异物液位达到预定高度时，可以通过第一腔室 110底部的第二异物管142全部排出。如图2b，当抽气装置停止对导流管130进行抽气时，储藏室120上的活动侧壁121恢复原状，为关闭状态，其将储藏室120内部与第一腔室110内部隔开，第一腔室110内的蒸汽以及冷凝液无法回流至储藏室120以及去光阻室200内。

根据本实用新型的排气装置，包括至少一个储藏室120，用于将剥离液中的水蒸气冷凝并且储存在储藏室120内。此外，储藏室120的其中一侧为活动侧壁121，当抽气装置对导流管130进行抽气时，活动侧壁121打开，以连通储藏室120与第一腔室110，剥离液产生的蒸汽可以顺利依次通过储藏室120、第一腔室110以及导流管130排至系统外。上述排气装置能够顺利将去光阻室2200内产生的蒸汽通过导流管130 排出至系统外，同时通过上述储藏室120能够防止蒸汽中的水冷凝回流，避免去光阻室200内剥离液浓度的降低、异物的回流以及降低由于气压异常带来的火灾隐患。

此外，本实用新型的排气装置内还可以设有过滤装置140，蒸汽以及冷凝水中的异物在经过该过滤装置140时滤出，通过第一异物管142 以及第二异物管112排出系统外，一方面避免了异物回流至去光阻室200 内造成二次污染即产品异常，另一方面避免了异物进入导流管130造成导流管堵塞。

在以上的描述中，对公知的结构要素和步骤并没有做出详细的说明。但是本领域技术人员应当理解，可以通过各种技术手段，来实现相应的结构要素和步骤。另外，为了形成相同的结构要素，本领域技术人员还可以设计出与以上描述的方法并不完全相同的方法。另外，尽管在以上分别描述了各实施例，但是这并不意味着各个实施例中的措施不能有利地结合使用。

以上对本实用新型的实施例进行了描述。但是，这些实施例仅仅是为了说明的目的，而并非为了限制本实用新型的范围。本实用新型的范围由所附权利要求及其等价物限定。不脱离本实用新型的范围，本领域技术人员可以做出多种替代和修改，这些替代和修改都应落在本实用新型的范围之内。

Claims (10)

1.一种排气装置，位于去光阻室上，其特征在于，所述排气装置包括第一腔室、至少一个储藏室以及导流管，

所述第一腔室包括至少一个进气口，所述至少一个进气口与所述去光阻室连通；

所述至少一个储藏室位于所述第一腔室内，与所述至少一个进气口连通；以及

所述导流管包括相对的第一端和第二端，所述第一端伸入所述第一腔室内，所述第二端用于连接抽气装置，

其中，所述至少一个储藏室的其中一侧为活动侧壁，用于当所述抽气装置进行抽气时打开，以连通所述储藏室与所述第一腔室。

2.根据权利要求1所述的排气装置，其特征在于，所述排气装置还包括：

过滤装置，位于所述第一腔室内，与所述导流管的所述第一端连接。

3.根据权利要求2所述的排气装置，其特征在于，所述过滤装置包括：

多个过滤扇叶，所述多个过滤扇叶以所述导流管的轴线为轴环形阵列排布，并且包围形成第二腔室，所述导流管的所述第一端与所述第二腔室连通。

4.根据权利要求3所述的排气装置，其特征在于，所述过滤装置还包括：

第一异物管，位于所述多个过滤扇叶的底部，用于将所述多个过滤扇叶过滤得到的异物送至所述第一腔室内。

5.根据权利要求4所述的排气装置，其特征在于，所述第一腔室还包括：

第二异物管，位于所述第一腔室底部，用于将所述异物排出所述第一腔室。

6.根据权利要求5所述的排气装置，其特征在于，所述第一腔室的底部呈锤状，所述第二异物管位于所述第一腔室底部的最底端。

7.根据权利要求5所述的排气装置，其特征在于，还包括：

液位传感器，位于所述第一腔室内的预定高度上。

8.根据权利要求1所述的排气装置，其特征在于，所述第一腔室呈横向延伸的柱状，所述至少一个进气口包括两个，分别设置在所述第一腔室的两端。

9.根据权利要求8所述的排气装置，其特征在于，所述至少一个储藏室包括两个，分别位于所述第一腔室内部的两端，并且分别对应与两个所述进气口连通。

10.根据权利要求1所述的排气装置，其特征在于，所述导流管位于所述第一腔室顶部的中心，所述至少一个储藏室朝向所述导流管的一侧为所述活动侧壁。