CN207254859U - 一种硅片清洗装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供了一种硅片清洗装置，包括清洗槽，所述清洗槽一侧外部设有正极板，该清洗槽另一侧外部设有负极板，所述正、负极板分别和清洗槽正对设置。本实用新型所述的一种硅片清洗装置中，在清洗槽正对两侧外部分别设置了一电极板，使用时分别接入电源正负极，通电后在清洗槽内形成水平方向上的电场，由于该电场方向与清洗槽内硅片表面平行设置，因此，硅片上附着的带电粒子在电场作用下凝聚在清洗槽内壁上，因此实现对硅片污物清洗外，对硅片带电粒子同时进行了去除，保证了硅片后期的使用质量。
Description
技术领域
本实用新型属于硅片生产领域，尤其是涉及一种硅片清洗装置。
背景技术
硅片生产中，为了保证其使用质量，需要对硅片进行清洗，目前清洗工艺对带电粒子的清洗能力较差，带电粒子又极易在损伤物体表面以共价形式形成稳态共价键，对后续清洗工作带来很大难度；另外，现有清洗工艺大量使用化学试剂，成本较高，对环境不友好，对人员有潜在危害，并且该采用化学制剂清洗时，所用化学试剂会对硅片表面造成进一步损伤，增加物质损耗率。
发明内容
有鉴于此，本实用新型旨在提出一种硅片清洗装置，以解决现有硅片清洗作业中带电粒子对硅片的损伤问题。
为达到上述目的，本实用新型的技术方案是这样实现的：
一种硅片清洗装置，包括清洗槽，所述清洗槽一侧侧壁外部设有正极板，该清洗槽另一侧侧壁外部设有负极板。
进一步的，所述正极板及负极板分别和各自所对应清洗槽侧壁正对设置。
进一步的，所述正极板和负极板分别通过固定块固装在清洗槽侧壁上。
进一步的，所述固定块为PVC固定块。
进一步的，所述正极板和负极板外部分别包裹有绝缘层，该绝缘层为pvc绝缘层
相对于现有技术，本实用新型所述的一种硅片清洗装置具有以下优势：
本实用新型所述的一种硅片清洗装置中，在清洗槽正对两侧外部分别设置了一电极板，使用时分别接入电源正负极，通电后在清洗槽内形成水平方向上的电场，由于该电场方向与清洗槽内硅片表面平行设置，因此，硅片上附着的带电粒子在电场作用下凝聚在清洗槽内壁上，因此实现对硅片污物清洗外，对硅片带电粒子同时进行了去除，保证了硅片后期的使用质量。
附图说明
构成本实用新型的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：
图1为本实用新型实施例所述的一种硅片清洗装置结构示意图；
附图标记说明：
1-清洗槽；2-正极板；3-负极板；4-固定块。
具体实施方式
需要说明的是，在不冲突的情况下，本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
下面将参考附图并结合实施例来详细说明本实用新型。
如图1所示，一种硅片清洗装置，包括清洗槽1，该清洗槽为常见的绝缘材质清洗槽，所述清洗槽1一侧侧壁外部设有正极板2，该清洗槽1另一侧侧壁外部设有负极板3，所述正极板2及负极板3分别和各自所对应清洗槽1侧壁正对设置，使用时，将正极板2和负极板3分别接入电源正负极，此时在正、负极板间产生电场，硅片上附着的带电粒子在电场中移动，最后集结在清洗槽1内壁上。
本实施例中，安全起见，所述正极板2和负极板3分别通过PVC材质的固定块4固装在清洗槽1侧壁上,并且，所述正极板2和负极板3外部分别包裹有绝缘层，该绝缘层为pvc绝缘层。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (3)
1.一种硅片清洗装置，包括清洗槽(1)，其特征在于：所述清洗槽(1)一侧侧壁外部设有正极板(2)，该清洗槽(1)另一侧侧壁外部设有负极板(3)；
所述正极板(2)及负极板(3)分别和各自所对应清洗槽(1)侧壁正对设置；
所述正极板(2)和负极板(3)分别通过固定块(4)固装在清洗槽(1)侧壁上。
2.根据权利要求1所述的一种硅片清洗装置，其特征在于：所述固定块(4)为PVC固定块。
3.根据权利要求1或2所述的一种硅片清洗装置，其特征在于：所述正极板(2)和负极板(3)外部分别包裹有绝缘层，该绝缘层为pvc绝缘层。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201720442552.7U CN207254859U (zh) | 2017-04-25 | 2017-04-25 | 一种硅片清洗装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN201720442552.7U CN207254859U (zh) | 2017-04-25 | 2017-04-25 | 一种硅片清洗装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN207254859U true CN207254859U (zh) | 2018-04-20 |
Family
ID=61914817
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201720442552.7U Active CN207254859U (zh) | 2017-04-25 | 2017-04-25 | 一种硅片清洗装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN207254859U (zh) |
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2017
- 2017-04-25 CN CN201720442552.7U patent/CN207254859U/zh active Active
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