CN207243985U - 一种蒸镀坩埚和蒸镀设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种蒸镀坩埚和蒸镀设备，所述蒸镀坩埚包括本体和热量反射结构，本体的顶部设置有喷嘴，热反射结构围绕设置在喷嘴的周边，在蒸镀过程中，热反射结构可以将本体散发至外界环境中的部分热量反射至喷嘴的侧壁，喷嘴的侧壁可以接收热反射结构所反射的热量，以提高喷嘴的侧壁的温度，从而可以避免由于喷嘴的温度较低导致蒸镀材料冷凝并堆积在喷嘴的内侧壁上，进而提高蒸镀材料的蒸发速率的稳定性，相应提高蒸镀工艺的成膜质量，延长蒸镀坩埚和蒸镀设备的使用寿命。

Description

一种蒸镀坩埚和蒸镀设备

技术领域

本实用新型涉及设备制造领域，特别涉及一种蒸镀坩埚和蒸镀设备。

背景技术

有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode，OLED)显示面板由于同时具备高色域、厚度薄和可弯曲等优势，逐渐受到了广泛的关注。尤其是曲面OLED和柔性OLED，其独特的性能和优秀的用户体验受到了众多用户的青睐。真空蒸镀是OLED制程中用于制备有机发光层的主要工艺，真空蒸镀是在一定的真空环境下加热有机发光材料，使有机发光材料升华并凝结在基板的表面，以形成相应薄膜。蒸镀坩埚是真空蒸镀工艺的关键组件，现有蒸镀坩埚包括本体，本体上设置有多个喷嘴。

在蒸镀过程中，加热组件对本体的底部进行加热，以使本体内的蒸镀材料升华并从本体的顶部的喷嘴发出。但是，喷嘴与本体的底部的距离较远，当本体的热量传递至喷嘴时，热量已大量流失至外界环境中，导致喷嘴的温度较低，从而蒸镀材料容易冷凝并堆积在喷嘴的内侧壁上，影响蒸镀材料的蒸发速率，进而影响蒸镀工艺的成膜质量，进一步的蒸镀材料还可能会堵塞喷嘴，影响蒸镀设备的使用，增加蒸镀设备的维护负担。

发明内容

本实用新型针对现有技术中存在的上述不足，提供一种蒸镀坩埚和蒸镀设备，用以至少部分解决现有蒸镀坩埚的喷嘴的内侧壁容易堆积蒸镀材料的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供一种蒸镀坩埚，包括本体，所述本体的顶部设置有喷嘴，所述蒸镀坩埚还包括热量反射结构，所述热量反射结构围绕设置于所述喷嘴的周边，用于将所述本体散发的热量反射至所述喷嘴的侧壁。

优选的，所述热量反射结构呈圆台形，包括第一反射面，所述第一反射面设置于所述热量反射结构的内侧壁上。

优选的，所述热量反射结构的侧壁与水平面的夹角为30°-60°。

优选的，所述热量反射结构的侧壁与水平面的夹角为45°。

优选的，所述热量反射结构的高度与所述喷嘴的高度相等。

优选的，所述喷嘴包括邻近所述本体的第一端和远离所述本体的第二端，所述喷嘴的侧壁邻近所述第一端的厚度大于邻近所述第二端的厚度。

优选的，所述喷嘴呈圆台形，还包括贯穿所述第一端和所述第二端的通孔，所述通孔在所述第一端的孔径等于所述通孔在所述第二端的孔径。

优选的，所述热量反射结构还包括第二反射面，所述第二反射面设置于所述热量反射结构的内顶壁上。

优选的，所述热量反射结构的数量与所述喷嘴的数量相同，且与所述喷嘴一一对应。

本实用新型还提供一种蒸镀设备，包括如上所述的蒸镀坩埚。

本实用新型具有以下有益效果：

本实用新型提供一种蒸镀坩埚和蒸镀设备，所述蒸镀坩埚包括本体和热量反射结构，本体的顶部设置有喷嘴，热反射结构围绕设置在喷嘴的周边，在蒸镀过程中，热反射结构可以将本体散发至外界环境中的部分热量反射至喷嘴的侧壁，喷嘴的侧壁可以接收热反射结构所反射的热量，以提高喷嘴的侧壁的温度，从而可以避免由于喷嘴的温度较低导致蒸镀材料冷凝并堆积在喷嘴的内侧壁上，进而提高蒸镀材料的蒸发速率的稳定性，相应提高蒸镀工艺的成膜质量，延长蒸镀坩埚和蒸镀设备的使用寿命。

附图说明

图1为本实施例提供的蒸镀坩埚的主视图；

图2为图1中喷嘴和顶壁的局部截面图；

图3为图1中喷嘴和顶壁的局部俯视图。

图例说明：

1、本体 11、顶壁 2、喷嘴 21、侧壁 22、第一端 23、第二端 24、通孔 3、热量反射结构 31、顶壁 311、第二反射面 32、侧壁 321 第一反射面

具体实施方式

为使本领域的技术人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面结合附图对本实用新型提供的一种蒸镀坩埚和蒸镀设备进行详细描述。

本实用新型实施例提供一种蒸镀坩埚，结合图1、图2和图3所示，所述蒸镀坩埚包括本体1、喷嘴2和热量反射结构3，喷嘴2设置在本体1的顶部，热量反射结构3围绕设置在喷嘴2的周边，用于将本体1散发的热量反射至喷嘴2的侧壁21。

具体的，喷嘴2设置在本体1的顶壁11上，本体1的顶壁11可以向外界环境散发热量，热量反射结构3可以将本体1的顶壁11散发至外界环境的部分热量反射至喷嘴2的侧壁21。

本实施例提供的蒸镀坩埚，通过在喷嘴2的周边围绕设置热反射结构3，在蒸镀过程中，热反射结构3可以将本体1的顶壁11辐射至外界环境中的部分热量反射至喷嘴2的侧壁21，喷嘴2的侧壁21可以接收热反射结构3所反射的热量，以提高喷嘴2的侧壁21的温度，从而可以避免由于喷嘴2的温度较低导致蒸镀材料冷凝并堆积在喷嘴

2的内侧壁上，进而提高蒸镀材料的蒸发速率的稳定性，相应提高蒸镀工艺的成膜质量，延长蒸镀坩埚和蒸镀设备的使用寿命。

优选的，热量反射结构3的数量与喷嘴2的数量相同，且与喷嘴

2一一对应，即在每个喷嘴2的周边均设置热量反射结构3，这样，可以提高各个喷嘴2的侧壁21的温度，避免喷嘴2的内侧壁上冷凝并堆积蒸镀材料。

结合图1和图2所示，喷嘴2固定在本体1的顶壁11上，优选的，喷嘴2与本体1的顶壁11可拆卸连接，这样，便于清扫附着在喷嘴2的内侧壁上的蒸镀材料。热量反射结构3可以固定在本体1的顶壁11上，本发明实施例是以热量反射结构3固定在本体1的顶壁11上为例进行说明的。优选的，热量反射结构3与本体1的顶壁11可拆卸连接，这样，便于对热量反射结构3进行维修和更换。

以下结合图1、图2和图3对热量反射结构3的具体结构进行详细的描述。

结合图1、图2和图3所示，热量反射结构3呈圆台形，包括第一反射面321，第一反射面321设置于热量反射结构3的内侧壁上。具体的，热量反射结构3包括顶壁31和侧壁32，侧壁32限定出的圆台底面的直径大于顶壁31的直径，侧壁32的底面固定在本体1的顶壁11上，第一反射面321设置在侧壁32的内表面，第一反射面321能够将本体1的顶壁11散发至外界环境中的部分热量反射至喷嘴2的侧壁21。

需要说明的是，热量反射结构3的形状不局限于圆台形，本领域技术人员可知任何能够将本体1散发的热量反射至喷嘴2的侧壁21上的多面体结构，均在本实用新型实施例的保护范围之内。

为提高第一反射面321对热量的反射效率，第一反射面321的材料为高反射率、低吸收率的材料，优选的，第一反射面321的材料为铝或银。

如图2所示，热量反射结构3的侧壁32与水平面的夹角为α，即热量反射结构3的侧壁32与本体1的顶壁11的夹角为α，α越小，热量反射结构3的侧壁32在本体1的顶壁11上的投影面积越大，相应第一反射面321反射本体1的顶壁11散发至外界环境的热量越多，从而喷嘴2的侧壁21接收到的热量越多，相应喷嘴2的侧壁21的温度越高。但是，热量反射结构3的侧壁33与水平面的夹角α越小，热量反射结构3所占用的空间越大，导致相邻的两个热量反射结构3容易发生干涉。为了既提高喷嘴2的侧壁21的温度，又避免相邻的两个热量反射结构3发生干涉，优选的，热量反射结构3的侧壁32与水平面的夹角α为30°-60°。进一步优选的，热量反射结构3的侧壁32与水平面的夹角α为45°。

优选的，热量反射结构3的高度与喷嘴2的高度相等，即热量反射结构3的顶壁31与喷嘴2的顶壁位于同一水平面，这样，喷嘴2的侧壁21上的各个位置均可以接收到第一反射面321反射的热量，更佳的提高喷嘴2的侧壁21的温度。

优选的，热量反射结构3的顶壁31与喷嘴2的顶壁相抵靠，即热量反射结构3的顶壁31、热量反射结构3的侧壁32、喷嘴2的侧壁21和本体1的顶壁11能够形成密闭空间，这样，该密闭空间中本体1的顶壁11散发的热量均能够被喷嘴2的侧壁21吸收，更佳的提高喷嘴2的侧壁21的温度。

需要说明的是，热量反射结构3仅包括侧壁32也是可行的，当热量反射结构3仅包括侧壁32时，侧壁32的一端与本体1的顶壁11相连，另一端与喷嘴2的顶壁相连。

现有喷嘴的侧壁的厚度较薄，即现有喷嘴与坩埚的本体的接触面积较小，在蒸镀过程中，较小的接触面积导致热量传导的速度较慢，从而导致现有喷嘴的侧壁的温度较低，使蒸镀材料容易冷凝并堆积在喷嘴的内侧壁上，进而影响蒸镀工艺的成膜质量。为了提高喷嘴的侧壁的温度，在本实用新型实施例中，如图2所示，喷嘴2呈圆台形，包括邻近本体1的第一端22、远离本体1的第二端23和贯穿第一端22和第二端23的通孔24，且喷嘴2的侧壁21邻近第一端22的厚度大于邻近第二端23的厚度，且通孔24在第一端22的孔径等于通孔24在第二端23的孔径。

具体的，喷嘴2的侧壁21的截面呈直角梯形，且喷嘴2的侧壁21与本体1的顶壁11相接触的第一端22的厚度较厚，相应使喷嘴2的侧壁21与本体1的顶壁11的接触面积较大，在蒸镀过程中，较大的接触面积可以提高热量的传导速率，从而可以提高喷嘴2的侧壁21的温度。

如图2所示，喷嘴2的外侧壁与本体1的顶壁11的夹角为β，β越小，喷嘴2的侧壁21与本体1的顶壁11的接触面积越大，相应热量传导的速度越快，喷嘴2的侧壁21的温度越高。但是，喷嘴2的外侧壁与本体1的顶壁11的夹角β越小，喷嘴2的体积越大，从而影响喷嘴2的排布。为了既可以提高喷嘴2的侧壁21的温度，又可以减小对喷嘴2的排布的影响，优选的，喷嘴2的外侧壁与本体1的顶壁11的夹角β为30°-60°。

进一步的，热量反射结构3还可以包括第二反射面311，第二反射面311设置于热量反射结构3的内顶壁上。具体的，热量反射结构3的顶壁31的内表面朝向喷嘴2的侧壁21，热量反射结构3的顶壁31的内表面设置有第二反射面311，第二反射面311能够将喷嘴2的侧壁21辐射至外界环境中的热量反射回喷嘴2的侧壁21，以降低喷嘴2的散热速度，相应可以更佳的提高喷嘴2的温度。

为提高第二反射面311对热量的反射效率，第二反射面311的材料为高反射率、低吸收率的材料，优选的，第二反射面311的材料为铝或银。

需要说明的是，本实用新型实施例未对热量反射结构3的顶壁31的宽度W进行限定，即未对第二反射面311的宽度进行限定，热量反射结构3的顶壁31的宽度W需要根据喷嘴2的外侧壁与本体1的顶壁11的夹角β的大小进行设定。优选的，喷嘴2的外侧壁在热量反射结构3的顶壁31所在平面的投影落入热量反射结构3的顶壁31的范围内，这样，第二反射面311能够将喷嘴2的侧壁21散发至外界环境中的热量尽可能的反射回喷嘴2的侧壁21上，进一步提高喷嘴2的侧别21的温度。

本实用新型实施例还提供一种蒸镀设备，所述蒸镀设备包括上述所述的蒸镀坩埚。

本实施例提供的蒸镀设备，通过对蒸镀坩埚的改进，即在蒸镀坩埚的喷嘴的周边围绕设置热反射结构，在蒸镀过程中，热反射结构可以将本体散发至外界环境中的部分热量反射至喷嘴的侧壁，喷嘴的侧壁可以接收热反射结构所反射的热量，以提高喷嘴的侧壁的温度，从而可以避免由于喷嘴的温度较低导致蒸镀材料冷凝并堆积在喷嘴的内侧壁上，进而提高蒸镀材料的蒸发速率的稳定性，相应提高蒸镀工艺的成膜质量，延长蒸镀坩埚和蒸镀设备的使用寿命。

可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。

Claims (10)

1.一种蒸镀坩埚，包括本体，所述本体的顶部设置有喷嘴，其特征在于，所述蒸镀坩埚还包括热量反射结构，所述热量反射结构围绕设置于所述喷嘴的周边，用于将所述本体散发的热量反射至所述喷嘴的侧壁。

2.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述热量反射结构呈圆台形，包括第一反射面，所述第一反射面设置于所述热量反射结构的内侧壁上。

3.根据权利要求2所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述热量反射结构的侧壁与水平面的夹角为30°-60°。

4.根据权利要求3所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述热量反射结构的侧壁与水平面的夹角为45°。

5.根据权利要求2所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述热量反射结构的高度与所述喷嘴的高度相等。

6.根据权利要求2所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述喷嘴包括邻近所述本体的第一端和远离所述本体的第二端，所述喷嘴的侧壁邻近所述第一端的厚度大于邻近所述第二端的厚度。

7.根据权利要求6所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述喷嘴呈圆台形，还包括贯穿所述第一端和所述第二端的通孔，所述通孔在所述第一端的孔径等于所述通孔在所述第二端的孔径。

8.根据权利要求5所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述热量反射结构还包括第二反射面，所述第二反射面设置于所述热量反射结构的内顶壁上。

9.根据权利要求1-8任一项所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述热量反射结构的数量与所述喷嘴的数量相同，且与所述喷嘴一一对应。

10.一种蒸镀设备，其特征在于，包括如权利要求1-9任一项所述的蒸镀坩埚。