CN207199580U - 一种新型晶圆表面贴膜装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种新型晶圆表面贴膜装置，包括底座，底座的后侧固定有两个固定杆，两个固定杆的上端通过转轴转动连接有掀板，掀板的内部转动连接有转盘，转盘的内部开设有滑槽，滑槽的内部滑动连接有切割刀，切割刀的中部固定有两个滑柱，两个滑柱的两端分别滑动连接在位于滑槽两侧壁上的滑道内；拆卸盘活动连接在位于抽盒上表面的圆槽内，拆卸盘底部设有的底柱和位于圆槽底部的圆孔活动卡接。本实用新型通过转盘上设有多组卡槽和滑块底部的卡销活动卡接，实现了可以根据晶圆的大小来改变切割刀的位置，本装置只需要简单的更换拆卸盘便可以对大小不同的晶圆贴膜，贴膜过程相对简单。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体设备技术领域，具体为一种新型晶圆表面贴膜装置。
背景技术
晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品。晶圆的原始材料是硅，晶圆的表面需要贴一层薄膜来保护晶圆，晶圆切割保护膜主要用做高温环境工作表面处理遮蔽保护，电镀，电泳、超高温烤漆、粉末喷涂及晶片元件端电极使用等，由于晶圆大小不同，普通贴膜机器不能适用于大部分晶圆，且贴膜过程相对繁琐，工作效率低且成本较高。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种新型晶圆表面贴膜装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种新型晶圆表面贴膜装置，包括底座，所述底座的后侧固定有两个固定杆，两个固定杆的上端通过转轴转动连接有掀板，所述掀板的内部转动连接有转盘，所述转盘的内部开设有滑槽，所述滑槽的内部滑动连接有切割刀，所述切割刀的中部固定有两个滑柱，两个滑柱的两端分别滑动连接在位于滑槽两侧壁上的滑道内，所述切割刀的上端开设有空腔，所述空腔的腔底连接有弹簧，所述弹簧的上端与滑块固定连接，所述切割刀的上端滑动插接在滑块的内部，所述切割刀的下端和开设在拆卸盘上端面的V型缺口活动连接，且切割刀和V型缺口之间设有薄膜，所述薄膜的一端为薄膜卷，薄膜卷为薄膜组成的卷状物，所述薄膜卷转动连接在V型固定架上，所述V型固定架固定在底座的一侧，所述薄膜远离薄膜卷的另一端卷在卷轴上，所述卷轴转动连接在支架上，所述支架固定在底座远离V型固定架的一侧，所述转盘上且位于滑槽两侧设有多个对称卡槽，所述滑块底面两侧设有卡销，所述卡销与卡槽卡接；；
所述拆卸盘活动连接在位于抽盒上表面的圆槽内，所述拆卸盘底部设有的底柱和位于圆槽底部的圆孔活动卡接，所述抽盒滑动连接在内腔中，所述内腔设在底座的内部，所述拆卸盘的上表面开设有空槽，且空槽位于V型缺口内侧。
优选的，所述所述掀板和抽盒的一侧均设有把手，且转盘的上端一侧也设有把手。
优选的，所述卷轴的前端贯穿支架并连接有摇把。
优选的，所述底座的上表面前端两侧均设有顶杆，所述顶杆和掀板活动连接。
优选的，所述底座的上端两侧均通过固定块转动连接有挡杆，且薄膜绕过两个挡杆。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型通过薄膜从薄膜卷上拉出并卷在卷轴上，实现了转动卷轴便可以拉动薄膜使薄膜向卷轴方向滑动，通过转盘上设有多组卡槽和滑块底部的卡销活动卡接，实现了可以根据晶圆的大小来改变切割刀的位置，使本装置可以对大小不同的晶圆贴膜，通过拆卸盘活动连接在圆槽内，可以根据晶圆的大小来更换大小不同V型缺口和空槽的拆卸盘，本装置只需要简单的更换拆卸盘便可以对大小不同的晶圆贴膜，贴膜过程相对简单。
附图说明
图1为本实用新型的闭合结构示意图；
图2为本实用新型的展开结构示意图；
图3为本实用新型的展开结构爆炸图；
图4为本实用新型的后部结构示意图；
图5为本实用新型底座和掀板的局部连接剖视图；
图6为本实用新型图5的A处放大图；
图7为本实用新型掀板的左视剖视图。
图中：1、底座，101、内腔，2、掀板，3、转轴，4、抽盒，41、圆槽，5、V型固定架，6、薄膜卷，7、薄膜，8、支架，9、卷轴，10、摇把，11、卡槽，12、滑槽，13、转盘，14、切割刀，141、空腔，15、拆卸盘，151、底柱，152、V型缺口，153、空槽，16、滑块，161、卡销，17、滑道，18、弹簧，19、滑柱，20、顶杆，21、固定杆，22、挡杆。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-7，本实用新型提供一种技术方案：一种新型晶圆表面贴膜装置，包括底座1，所述底座1的后侧固定有两个固定杆21，两个固定杆21的上端通过转轴3转动连接有掀板2，所述掀板2的内部转动连接有转盘13，所述转盘13的内部开设有滑槽12，所述滑槽12的内部滑动连接有切割刀14，所述切割刀14的中部固定有两个滑柱19，滑柱19的数量为两个可以保证切割刀14竖直向下，不会倾斜，两个滑柱19的两端分别滑动连接在位于滑槽12两侧壁上的滑道17内，切割刀14可以左右滑动，所述切割刀14的上端开设有空腔141，所述空腔141的腔底连接有弹簧18，所述弹簧18的上端与滑块16固定连接，所述切割刀14的上端滑动插接在滑块16的内部，弹簧18一直处于拉伸状态，滑块16在弹簧18的作用下有向下的挤压力，当卡销161卡在卡槽11内切割刀14会被固定，所述切割刀14的下端和开设在拆卸盘15上端面的V型缺口152活动连接，且切割刀14和V型缺口152之间设有薄膜7，转动转盘13带动切割刀14做圆周运动，切割刀14底部的刀尖便可以切割薄膜7，所述薄膜7的一端为薄膜卷6，薄膜卷6为薄膜7组成的卷状物，所述薄膜卷6转动连接在V型固定架5上，所述V型固定架5固定在底座1的一侧，所述薄膜7远离薄膜卷6的另一端卷在卷轴9上，所述卷轴9转动连接在支架8上，所述支架8固定在底座1远离V型固定架5的一侧，转动卷轴9可以拉动薄膜7滑动，让使用过的薄膜7卷在卷轴9上，薄膜7的宽度大于空槽153的直径，保证薄膜7的连续作业，所述转盘13上且位于滑槽12两侧设有多个对称卡槽11，所述滑块16底面两侧设有卡销161，所述卡销161与卡槽11卡接，实现切割刀14位置固定，一般晶圆的尺寸都是固定的几种，卡槽11的几个规格根据通用晶圆尺寸来设置；
所述拆卸盘15活动连接在位于抽盒4上表面的圆槽41内，所述拆卸盘15底部设有的底柱151和位于圆槽41底部的圆孔活动卡接，所述抽盒4滑动连接在内腔101中，所述内腔101设在底座1的内部，所述拆卸盘15的上表面开设有空槽153，且空槽153位于V型缺口152内侧。
具体而言，所述掀板2和抽盒4的一侧均设有把手，掀板2上的把手可以掀开掀板2，抽盒4前侧的把手可以拉开抽盒4，便于更换晶圆部件，且转盘13的上端一侧也设有把手，转盘13上的把手可以转动转盘13，实现圆周运动。
具体而言，卷轴9的前端贯穿支架8并连接有摇把10，摇把10可以带动卷轴9转动。
具体而言，底座1的上表面前端两侧均设有顶杆20，所述顶杆20和掀板2活动连接，顶杆20用来挡住掀板2。
具体而言，底座1的上端两侧均通过固定块转动连接有挡杆22，且薄膜7绕过两个挡杆22，挡杆22保证了在拉动薄膜7时不会因为遇到棱角而被撕破。
工作原理：将本装置放置在工作台上，然后拉出抽盒4根据晶圆的大小换上合适的拆卸盘15，将晶圆放置在空槽153中，把抽盒4推进内腔101中，从薄膜卷6中拉出薄膜7，绕过两个挡杆22卷在卷轴9上，根据晶圆的大小，选择合适的卡槽11，向上拔出滑块16，滑动切割刀14卡在事先选好的卡槽11内，抓住掀板2上的把手将掀板2盖上，转动转盘13，切割刀14底端的刀刃在V型缺口152上转动一圈切割薄膜7，切割完成之后，掀开掀板2，拉出抽盒4，将贴好薄膜7的晶圆取出，放入没贴膜的晶圆，将抽盒4重新推入内腔101内，盖上掀板2便可以继续工作。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (5)
1.一种新型晶圆表面贴膜装置，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的后侧固定有两个固定杆(21)，两个固定杆(21)的上端通过转轴(3)转动连接有掀板(2)，所述掀板(2)的内部转动连接有转盘(13)，所述转盘(13)的内部开设有滑槽(12)，所述滑槽(12)的内部滑动连接有切割刀(14)，所述切割刀(14)的中部固定有两个滑柱(19)，两个滑柱(19)的两端分别滑动连接在位于滑槽(12)两侧壁上的滑道(17)内，所述切割刀(14)的上端开设有空腔(141)，所述空腔(141)的腔底连接有弹簧(18)，所述弹簧(18)的上端与滑块(16)固定连接，所述切割刀(14)的上端滑动插接在滑块(16)的内部，所述切割刀(14)的下端和开设在拆卸盘(15)上端面的V型缺口(152)活动连接，且切割刀(14)和V型缺口(152)之间设有薄膜(7)，所述薄膜(7)的一端为薄膜卷(6)，薄膜卷(6)为薄膜(7)组成的卷状物，所述薄膜卷(6)转动连接在V型固定架(5)上，所述V型固定架(5)固定在底座(1)的一侧，所述薄膜(7)远离薄膜卷(6)的另一端卷在卷轴(9)上，所述卷轴(9)转动连接在支架(8)上，所述支架(8)固定在底座(1)远离V型固定架(5)的一侧，所述转盘(13)上且位于滑槽(12)两侧设有多个对称卡槽(11)，所述滑块(16)底面两侧设有卡销(161)，所述卡销(161)与卡槽(11)卡接；
所述拆卸盘(15)活动连接在位于抽盒(4)上表面的圆槽(41)内，所述拆卸盘(15)底部设有的底柱(151)和位于圆槽(41)底部的圆孔活动卡接，所述抽盒(4)滑动连接在内腔(101)中，所述内腔(101)设在底座(1)的内部，所述拆卸盘(15)的上表面开设有空槽(153)，且空槽(153)位于V型缺口(152)内侧。
2.根据权利要求1所述的一种新型晶圆表面贴膜装置，其特征在于：所述所述掀板(2)和抽盒(4)的一侧均设有把手，且转盘(13)的上端一侧也设有把手。
3.根据权利要求1所述的一种新型晶圆表面贴膜装置，其特征在于：所述卷轴(9)的前端贯穿支架(8)并连接有摇把(10)。
4.根据权利要求1所述的一种新型晶圆表面贴膜装置，其特征在于：所述底座(1)的上表面前端两侧均设有顶杆(20)，所述顶杆(20)和掀板(2)活动连接。
5.根据权利要求1所述的一种新型晶圆表面贴膜装置，其特征在于：所述底座(1)的上端两侧均通过固定块转动连接有挡杆(22)，且薄膜(7)绕过两个挡杆(22)。
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| CN201721187938.4U CN207199580U (zh) | 2017-09-17 | 2017-09-17 | 一种新型晶圆表面贴膜装置 |
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110744910A (zh) * | 2019-11-22 | 2020-02-04 | 重庆电子工程职业学院 | 一种晶圆覆膜装置 |
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2017
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| CN110744910A (zh) * | 2019-11-22 | 2020-02-04 | 重庆电子工程职业学院 | 一种晶圆覆膜装置 |
| CN110744910B (zh) * | 2019-11-22 | 2021-11-30 | 重庆电子工程职业学院 | 一种晶圆覆膜装置 |
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