CN207172455U - 线切割设备及其导轮 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种线切割设备，包括放线轮、导轮、设置在导轮上的切割线网、收线轮，导轮沿长度方向开设有若干导轮槽，自导轮的一端沿所述长度方向，所述若干导轮槽的导轮槽距均匀减小，且所述若干导轮槽的槽度也均匀减小，其中最大的导轮槽距设置在导轮的进线端。导轮槽距沿导轮自进线端沿长度方向逐渐减小，适应切割线磨损后直径变小的变化趋势，在导轮长度不变的情况下，增加了导轮槽的数量，提升线网密度，从而提升了切片数量；同时导轮槽槽度也逐渐减小，以适应切割线磨损后直径变小的变化趋势，降低跳线几率，也进一步增加了导轮槽的数量，提升切片数量。还提出了一种线切割设备的导轮。
Description
技术领域
本实用新型涉及硅片切割领域，特别是涉及一种线切割设备及其导轮。
背景技术
金刚线切割出片率和片厚主要以金刚线直径和导轮槽距的匹配所决定，同种金刚线线径在不同槽距下切割不同厚度的硅片。
金刚线切割硅棒时，硅片厚度＝导轮槽距-金刚线直径，导轮上开槽参数是导轮槽距。硅片的出片率＝硅棒长度/导轮槽距。传统技术金刚线切割存在的问题是：金刚线切割在硅棒的长度范围内，保证硅片厚度的条件下，出片率是局限性。此外，切割过程中，金刚线跳线也是常见的问题。
实用新型内容
基于此，有必要针对金刚线切割在晶棒长度范围内，保证硅片厚度的条件下出片率存在局限性，及金刚线跳线的问题，提供一种线切割设备。还提供一种线切割设备的导轮。
一种线切割设备，包括放线轮、导轮、设置在导轮上的切割线网、收线轮，导轮沿长度方向开设有若干导轮槽，自导轮的一端沿所述长度方向，所述若干导轮槽的导轮槽距均匀减小，且所述若干导轮槽的槽度也均匀减小，其中最大的导轮槽距设置在导轮的进线端。
导轮槽距沿导轮自进线端沿长度方向逐渐减小，适应切割线磨损后直径变小的变化趋势，在导轮长度不变的情况下，增加了导轮槽的数量，提升线网密度，从而提升了切片数量；同时导轮槽槽度也逐渐减小，以适应切割线磨损后直径变小的变化趋势，降低跳线几率，也进一步增加了导轮槽的数量，提升切片数量。
在其中一个实施例中，第一个导轮槽距为280微米，最后一个导轮槽距a为277微米。
在其中一个实施例中，所述导轮槽为V形槽，所述V形槽的最大宽度不超过15微米。
在其中一个实施例中，还包括减振装置，所述减振装置包括弹性滚筒，所述弹性滚筒与切割线网相抵接。
在其中一个实施例中，所述减振装置还包括支撑轴，所述弹性滚筒可转动地安装在所述支撑轴上。
在其中一个实施例中，所述切割线网为金刚线线网。
还提出了一种线切割设备的导轮，沿长度方向开设有若干导轮槽，自导轮的一端沿所述长度方向，所述若干导轮槽的导轮槽距均匀减小，且所述若干导轮槽的槽度也均匀减小。
上述导轮应用于线切割设备时，适应切割线磨损后直径变小的变化趋势，增加了导轮槽的数量，提升线网密度，从而提升了切片数量，同时还降低了跳线几率。
在其中一个实施例中，第一个导轮槽距为280微米，最后一个导轮槽距a为277微米。
在其中一个实施例中，所述导轮槽为V形槽，所述V形槽的最大宽度不超过15微米。
在其中一个实施例中，槽宽大于8～12微米的导轮槽的部分的深度在10～15微米。
附图说明
图1为本实用新型一个实施例的线切割设备的示意图；
图2为导轮上导轮槽的示意图。
具体实施方式
为了便于理解本实用新型，下面将参照相关附图对本实用新型进行更全面的描述。附图中给出了本实用新型的较佳的实施例。但是，本实用新型可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本实用新型的公开内容的理解更加透彻全面。
需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。相反，当元件被称作“直接在”另一元件“上”时，则不存在中间元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。
除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
下面结合附图，详细说明线切割设备及其使用的导轮的较佳实施方式。
请参考图1，本申请的一个实施例，提供了一种线切割设备，包括放线轮10、导轮20、设置在导轮20上的切割线网30、收线轮40。放线轮10上缠绕有新切割线，用以向导轮20输送新切割线。收线轮40则用以回收切割后的旧线。切割线网30的切割线优选采用金刚线。
参考图2，导轮20沿其长度方向开设有若干导轮槽21。其中，自导轮20的一端沿长度方向，若干导轮槽21的导轮槽距a均匀减小，且若干导轮槽21的槽度b也均匀减小，其中最大的导轮槽距a设置在导轮20的进线端。
当切割线网30布置完毕后，第一根切割线(连接放线轮10)是布置在宽度最大的导轮槽21中。随着切割的进行，金刚线逐渐磨损，磨损后的金刚线对应稍微小的槽距，从而保证相邻的金刚线所切得的硅片的厚度一致。由于导轮槽距a逐渐减小，导轮20尺寸不变的情况下，导轮槽21的数量得以增加，从而增加了切片数量，且切片的厚度可以相对均匀。
更进一步地，导轮槽21槽度b在长度方向上也逐渐减小。如此，磨损后的金刚线是布置在小尺寸的导轮槽21内，降低了磨损后的金刚线跳线的几率。并且，由于导轮槽21槽度b在长度方向上也逐渐减小，导轮20尺寸不变的情况下，导轮槽21的数量进一步得以增加，从而增加了切片数量。
上述实施例中，导轮槽21的导轮槽距a均匀减小，且若干导轮槽21的槽度b也均匀减小，从导轮槽距a和导轮槽21的槽宽b两方面通同时改进以适应金刚线磨损后直径不断变小的趋势。从而在导轮20尺寸不变的情况下，导轮槽21的数量大大增加，同时既保证了切片厚度均匀，又避免跳线。
一个实施例中，第一个导轮槽距a为280微米，最后一个导轮槽距a为277微米。经测试，较导轮槽距a不变的导轮，出片率约提升0.6％。
一个实施例中，导轮槽21为V形槽。V形槽的最大宽度不超过15微米，以适应直径8～12微米的金刚线。
此时，导轮槽21的槽度b指相同深度处导轮槽21的槽宽。
更进一步地，槽宽大于8～12微米的导轮槽21的部分的深度在10～15微米，确保金刚线能够被配置在V形槽内。
一个实施例中，线切割设备还包括减振装置，用以吸收切割线网30的振动，降低金刚线跳线的几率。
优选地，减振装置包括弹性滚筒51。弹性滚筒51与切割线网30相抵接，利用弹性滚筒51自身的吸能性质，吸收切割线网30的振动，降低金刚线跳线的几率。
更进一步地，减振装置还包括支撑轴52。弹性滚筒51可转动地安装在支撑轴52上。弹性滚筒51能够转动，其适应切割线网30的切割张力的能力进一步提升，降低使切割线网30断线的风险。
本申请还提供了一种如图2所示的导轮20。该导轮20可用于组成如图1所示的线切割设备，或其他的线切割设备，如也可以用于形成分线网的线切割设备。
导轮槽21的导轮槽距a均匀减小，且若干导轮槽21的槽度b也均匀减小，从导轮槽距a和导轮槽21的槽宽b两方面通同时改进以适应金刚线磨损后直径不断变小的趋势。从而，在导轮20尺寸不变的情况下，导轮槽21的数量大大增加，既保证了切片厚度均匀，又避免跳线。
以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。
Claims (10)
1.一种线切割设备，包括放线轮、导轮、设置在导轮上的切割线网、收线轮，导轮沿长度方向开设有若干导轮槽，其特征在于，自导轮的一端沿所述长度方向，所述若干导轮槽的导轮槽距均匀减小，且所述若干导轮槽的槽度也均匀减小，其中最大的导轮槽距设置在导轮的进线端。
2.根据权利要求1所述的线切割设备，其特征在于，第一个导轮槽距为280微米，最后一个导轮槽距为277微米。
3.根据权利要求1所述的线切割设备，其特征在于，所述导轮槽为V形槽，所述V形槽的最大宽度不超过15微米。
4.根据权利要求1所述的线切割设备，其特征在于，还包括减振装置，所述减振装置包括弹性滚筒，所述弹性滚筒与切割线网相抵接。
5.根据权利要求4所述的线切割设备，其特征在于，所述减振装置还包括支撑轴，所述弹性滚筒可转动地安装在所述支撑轴上。
6.根据权利要求1所述的线切割设备，其特征在于，所述切割线网为金刚线线网。
7.一种线切割设备的导轮，沿长度方向开设有若干导轮槽，其特征在于，自导轮的一端沿所述长度方向，所述若干导轮槽的导轮槽距均匀减小，且所述若干导轮槽的槽度也均匀减小。
8.根据权利要求7所述的线切割设备的导轮，其特征在于，第一个导轮槽距为280微米，最后一个导轮槽距为277微米。
9.根据权利要求7所述的线切割设备的导轮，其特征在于，所述导轮槽为V形槽，所述V形槽的最大宽度不超过15微米。
10.根据权利要求9所述的线切割设备的导轮，其特征在于，槽宽大于8～12微米的导轮槽的部分的深度在10～15微米。
Priority Applications (1)
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| CN201720889995.0U CN207172455U (zh) | 2017-07-20 | 2017-07-20 | 线切割设备及其导轮 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (1)
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111516160A (zh) * | 2020-05-11 | 2020-08-11 | 福建晶安光电有限公司 | 一种多线切割机 |
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2017
- 2017-07-20 CN CN201720889995.0U patent/CN207172455U/zh active Active
Cited By (2)
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| CN111516160A (zh) * | 2020-05-11 | 2020-08-11 | 福建晶安光电有限公司 | 一种多线切割机 |
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