CN206849819U - 刚玉晶片输送装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种刚玉晶片输送装置,包括机架,还包括自上而下安装在机架上的分料管、分料活动板、第一转轴、第一回转气缸以及两个摆动输送机构,所述分料管包括主管以及两个支管,主管与支管之间呈倒Y形设置,其中主管的上端为进料口,其下端为两个出料口,每个出料口对应一个摆动输送机构;分料活动板则通过第一转轴转动连接在主管与支管交汇处,转轴由第一回转气缸驱动,摆动输送机构包括摆动臂、与摆动臂固定的第二转轴以及驱动第二转轴转动的第二回转气缸,第二转轴与机架之间为转动连接,所述摆动臂呈扇形且其外缘上设有容纳刚玉晶片的凹槽。本实用新型结构简单,方便实用。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种刚玉晶片输送装置。
背景技术
俗称刚玉,又称蓝宝石,是一种简单配位型氧化物晶体。刚玉晶体具有优异的光学性能、机械性能和化学稳定性,强度高、硬度大、耐冲刷,可在接近2000℃高温的恶劣条件下工作,因而被广泛的应用于红外军事装置、卫星空间技术、高强度激光的窗口材料。其独特的晶格结构、优异的力学性能、良好的热学性能使刚玉晶体成为实际应用的半导体GaN/Al2O3发光二极管(LED)、大规模集成电路SOI和SOS及超导纳米结构薄膜等最为理想的衬底材料。
近年来,随着现代科学技术的发展,对刚玉晶体材料的尺寸、质量不断提出新的要求。为了得到杂质极少的刚玉晶片,需要在无尘土环境内对刚玉晶片进行吸附和冲洗等步骤,但吸附和冲洗都是由加工人员分步骤完成。
而不论吸附还是冲洗都需要先进行逐个送料的处理,这就需要事前进行处理,现在都是人工进行处理通过手动进行分离,不仅效率低下而且很容易将指纹等粘在刚玉晶片上,导致刚玉晶片被污染。
实用新型内容
本实用新型意在提供一种刚玉晶片输送装置,以解决刚玉晶片加工过程中,需要人工手动分离而导致效率低下的问题。
基础方案:本方案中的刚玉晶片输送装置,包括机架,还包括自上而下安装在机架上的分料管、分料活动板、第一转轴、第一回转气缸以及两个摆动输送机构,所述分料管包括主管以及两个支管,主管与支管之间呈倒Y形设置,其中主管的上端为进料口,其下端为两个出料口,每个出料口对应一个摆动输送机构;分料活动板则通过第一转轴转动连接在主管与支管交汇处,转轴由第一回转气缸驱动,摆动输送机构包括摆动臂、与摆动臂固定的第二转轴以及驱动第二转轴转动的第二回转气缸,第二转轴与机架之间为转动连接,所述摆动臂呈扇形且其外缘上设有容纳刚玉晶片的凹槽。
与现有技术相比,本实用新型的优点在于:1、通过设置Y形的分料管,将刚玉晶片从两个出口导出从而隔成一个个的进行输送;2、摆动输送机构则能够将刚玉晶片从分料管处输送至水平,此时可通过工业吸盘或者人工用一般吸盘将其取下;3、通过第一回转气缸以及第二回转气缸来驱动第一转轴、第二转轴的转动,能够在转动到位置持续施力并保持静止;4、整个操作过程快捷高效,而且不需人工触及刚玉晶片,保证了输送过程中刚玉晶片不受污染。
本实用新型解决了刚玉晶片加工过程中,需要人工手动分离而导致效率低下的问题。
进一步,所述凹槽外端设有防脱板,防脱板外端铰接在凹槽外端,防脱板中部与凹槽外端之间设置有弹簧,防脱板内端则朝向凹槽内;该防脱板的设置能够防止刚玉晶片脱出凹槽。
进一步,防脱板内端设有橡胶垫;防止防脱板将刚玉晶片损坏,同时防止刚玉晶片打滑。
进一步,第一转轴、第二转轴为空心设置的;减少动能损失,提高能源利用率。
进一步,第一转轴、第二转轴均与固定架之间设置有轴承;减小第一转轴、第二转轴与固定架之间的摩擦。
进一步,摆动臂两侧均设有限位销;防止摆动臂摆动距离过大而导致刚玉晶片因失去阻挡而从支管脱出掉落。
附图说明
图1为本实用新型实施例的示意图;
图2为图1中防脱板的结构示意图。
具体实施方式
下面通过具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明:
说明书附图中的附图标记包括:主管7、摆动臂8、防脱板9、弹簧10、分料活动板11。
实施例基本如图1所示:刚玉晶片输送装置,包括机架,还包括自上而下安装在机架上的分料管、分料活动板、第一转轴、第一回转气缸以及两个摆动输送机构,所述分料管包括主管以及两个支管,主管与支管之间呈倒Y形设置,其中主管的上端为进料口,其下端为两个出料口,每个出料口对应一个摆动输送机构;分料活动板则通过第一转轴转动连接在主管与支管交汇处,转轴由第一回转气缸驱动,摆动输送机构包括摆动臂、与摆动臂固定的第二转轴以及驱动第二转轴转动的第二回转气缸,第二转轴与机架之间为转动连接,摆动臂呈扇形且其外缘上设有容纳刚玉晶片的凹槽。
如图2所示,凹槽外端设有防脱板,防脱板外端铰接在凹槽外端,防脱板中部与凹槽外端之间设置有弹簧,防脱板内端则朝向凹槽内;该防脱板的设置能够防止刚玉晶片脱出凹槽。防脱板内端设有橡胶垫;防止防脱板将刚玉晶片损坏,同时防止刚玉晶片打滑。第一转轴、第二转轴为空心设置的;减少动能损失,提高能源利用率。第一转轴、第二转轴均与固定架之间设置有轴承;减小第一转轴、第二转轴与固定架之间的摩擦。摆动臂两侧均设有限位销;防止摆动臂摆动距离过大而导致刚玉晶片因失去阻挡而从支管脱出掉落。
与现有技术相比,本实用新型的优点在于:1、通过设置Y形的分料管,将刚玉晶片从两个出口导出从而隔成一个个的进行输送;2、摆动输送机构则能够将刚玉晶片从分料管处输送至水平,此时可通过工业吸盘或者人工用一般吸盘将其取下;3、通过第一回转气缸以及第二回转气缸来驱动第一转轴、第二转轴的转动,能够在转动到位置持续施力并保持静止;4、整个操作过程快捷高效,而且不需人工触及刚玉晶片,保证了输送过程中刚玉晶片不受污染。
本实用新型解决了刚玉晶片加工过程中,需要人工手动分离而导致效率低下的问题。
以上所述的仅是本实用新型的实施例,方案中公知的具体结构及特性等常识在此未作过多描述。应当指出,对于本领域的技术人员来说,在不脱离本实用新型结构的前提下,还可以作出若干变形和改进,这些也应该视为本实用新型的保护范围,这些都不会影响本实用新型实施的效果和专利的实用性。本申请要求的保护范围应当以其权利要求的内容为准,说明书中的具体实施方式等记载可以用于解释权利要求的内容。
Claims (6)
1.刚玉晶片输送装置,其特征在于,包括机架,还包括自上而下安装在机架上的分料管、分料活动板、第一转轴、第一回转气缸以及两个摆动输送机构,所述分料管包括主管以及两个支管,主管与支管之间呈倒Y形设置,其中主管的上端为进料口,其下端为两个出料口,每个出料口对应一个摆动输送机构;分料活动板则通过第一转轴转动连接在主管与支管交汇处,转轴由第一回转气缸驱动,摆动输送机构包括摆动臂、与摆动臂固定的第二转轴以及驱动第二转轴转动的第二回转气缸,第二转轴与机架之间为转动连接,所述摆动臂呈扇形且其外缘上设有容纳刚玉晶片的凹槽。
2.根据权利要求1所述的刚玉晶片输送装置,其特征在于,所述凹槽外端设有防脱板,防脱板外端铰接在凹槽外端,防脱板中部与凹槽外端之间设置有弹簧,防脱板内端则朝向凹槽内。
3.根据权利要求2所述的刚玉晶片输送装置,其特征在于,防脱板内端设有橡胶垫。
4.根据权利要求1所述的刚玉晶片输送装置,其特征在于,第一转轴、第二转轴为空心设置的。
5.根据权利要求1所述的刚玉晶片输送装置,其特征在于,第一转轴、第二转轴均与机架之间设置有轴承。
6.根据权利要求1所述的刚玉晶片输送装置,其特征在于,摆动臂两侧均设有限位销。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201720832617.9U CN206849819U (zh) | 2017-07-11 | 2017-07-11 | 刚玉晶片输送装置 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201720832617.9U CN206849819U (zh) | 2017-07-11 | 2017-07-11 | 刚玉晶片输送装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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Family
ID=60803959
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
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