CN206848313U - 检查夹具及具备该检查夹具的检查装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及检查夹具及具备该检查夹具的检查装置。检查夹具包括夹具头部以及电极安装部，夹具头部包括：具有检查侧贯通孔的检查侧支承体；具有电极侧贯通孔的电极侧支承体；将检查侧支承体与电极侧支承体连接在一起的连接构件；以及贯穿检查侧贯通孔和电极侧贯通孔的多根探针。电极侧支承体由分别形成有贯通孔的多块电极侧支承板层叠而成，贯通孔包括小径部和直径大于小径部的大径部，多块电极侧支承板的多个贯通孔构成电极侧贯通孔。多块电极侧支承板中，靠连接构件一侧的第一电极侧支承板的贯通孔的小径部比大径部靠连接构件一侧，该小径部在靠连接构件一侧具有扩口部，该扩口部的直径随着靠近连接构件而逐渐变大。

Description

检查夹具及具备该检查夹具的检查装置

技术领域

本实用新型涉及检查夹具及具备该检查夹具的检查装置，上述检查夹具用于对电路基板等进行电检查。

背景技术

一直以来，在对电路基板的配线图案的短路、断路等进行电检查时，使用一种具备与电路基板的端子导电接触的多根直线状的探针的检查夹具。这种检查夹具具备：多根探针，多根该探针的一端能够与所述检查对象接触，另一端与电极接触；检查侧支承体，该检查侧支承体形成有供所述探针插通的检查侧贯通孔；电极侧支承体，该电极侧支承体以与所述检查侧支承体隔开规定间隔的方式，相对于所述检查侧支承体配置于与所述探针的一端相反的一侧，并形成有供所述探针插通的电极侧贯通孔；以及多个连接构件，多个该连接构件将所述电极侧支承体与所述检查侧支承体连接。在上述检查夹具中，使探针倾斜地贯穿检查侧支承体和电极侧支承体的贯通孔。

然而，在上述检查夹具中，上述电极侧支承体中的电极侧贯通孔通常通过钻孔加工而成，因此，在进行钻孔加工时，往往容易在电极侧贯通孔的钻孔加工后方侧的边缘产生毛刺，该毛刺会使电极侧贯通孔的截面积变小甚至导致电极侧贯通孔堵塞，在这种情况下，就很难将探针贯穿电极侧支承体，影响检查夹具的组装效率。此外，当电极侧贯通孔处存在毛刺时，探针容易与毛刺发生摩擦，从而无法稳定地进行电检查。

实用新型内容

因此，本实用新型是鉴于上述技术问题而完成的，其目的在于提供检查夹具及具备该检查夹具的检查装置，上述检查夹具能避免因毛刺的干扰而导致组装效率降低，同时能避免探针与毛刺发生摩擦，从而能稳定地进行电检查。

为了实现上述目的，本实用新型的第一方面提供一种检查夹具，安装在用于对检查对象进行检查的检查装置中，包括：夹具头部；以及以能装卸的方式与所述夹具头部连接，并设置在所述夹具头部的同所述检查对象相反的一侧，且安装有电极的电极安装部，其中，所述夹具头部包括：具有检查侧贯通孔的检查侧支承体；与所述检查侧支承体隔开间隔配置，且具有电极侧贯通孔的电极侧支承体；将所述检查侧支承体与所述电极侧支承体连接在一起的连接构件；以及贯穿所述检查侧贯通孔和所述电极侧贯通孔、前端从所述检查侧支承体突出而能够与所述检查对象接触、后端从所述电极侧支承体突出而与所述电极接触的多根探针，所述电极侧支承体由分别形成有贯通孔的多块电极侧支承板层叠而成，所述贯通孔包括小径部和直径大于所述小径部的大径部，多块所述电极侧支承板的多个所述贯通孔构成所述电极侧贯通孔，多块所述电极侧支承板中，靠所述连接构件一侧的第一电极侧支承板的贯通孔的小径部比大径部靠所述连接构件一侧，该小径部在靠所述连接构件一侧具有扩口部，该扩口部的直径随着靠近所述连接构件而逐渐变大。

根据上述结构，通过在第一电极侧支承板的贯通孔所包括的小径部的靠连接构件一侧(钻孔加工的后方侧)设置扩口部，能清除因钻孔加工而残留在小径部的靠连接构件一侧的毛刺，从而能避免因毛刺的干扰而导致检查夹具的组装效率降低，同时能避免探针与毛刺发生摩擦，从而能稳定地进行电检查。

此外，通过将贯通孔的小径部设置在第一电极侧支承板的靠连接构件一侧，从而便于对探针在水平方向上进行定位，由此即使在对电路基板进行电检查而使探针弯曲的情况下，也能避免相邻的探针间接触的可能性，从而提高电检查的检查精度。

本实用新型的第二方面的检查夹具是在本实用新型的第一方面的检查夹具的基础上，多块所述电极侧支承板中，与所述第一电极侧支承板抵接的第二电极侧支承板的贯通孔的小径部比大径部靠所述电极安装部一侧，该小径部在靠所述电极安装部一侧具有扩口部，该扩口部的直径随着靠近所述电极安装部而逐渐变大。

根据上述结构，与上述第一电极侧支承板相同，通过在第二电极侧支承板的贯通孔的小径部的靠电极安装部一侧(钻孔加工的后方侧)设置扩口部，能清除因钻孔加工而残留在小径部的靠电极安装部一侧的毛刺，从而能避免因毛刺的干扰而导致检查夹具的组装效率降低，同时能避免探针与毛刺发生摩擦，从而能稳定地进行电检查。

此外，通过将第二电极侧支承板的贯通孔的大径部设置在靠第一电极侧支承板一侧，将小径部设置在靠电极安装部一侧，从而能使第一电极侧支承板的大径部与第二电极侧支承板的大径部相接，以保证探针在电极侧支承体的贯通孔中具有充分的空间，由此即使在对电路基板进行电检查而使探针弯曲的情况下，也能避免探针与上述贯通孔的壁面接触的可能性，从而提高电检查的检查精度。

本实用新型的第三方面的检查夹具是在本实用新型的第二方面的检查夹具的基础上，所述扩口部的最小直径等于所述小径部的直径，所述扩口部的最大直径小于所述大径部的直径。

根据上述结构，通过将上述扩口部的最小直径设为等于上述小径部的直径，将上述扩口部的最大直径设为小于上述大径部的直径，能在保证去除小径部周围的毛刺的同时避免因扩口部过大而使探针在贯通孔中较大幅度地晃动，从而降低电检查的检查精度。

本实用新型的第四方面的检查夹具是在本实用新型的第二方面的检查夹具的基础上，多块所述电极侧支承板中，与所述电极安装部抵接的第三电极侧支承板的贯通孔的小径部比大径部靠所述电极安装部一侧，该小径部不具有扩口部。

根据上述结构，通过增加电极侧支承体中的电极侧支承板的数量，能够提高电检查的检查精度。

此外，通过将贯通孔的小径部设置在第三电极侧支承板的靠电极安装部一侧，便于对探针在水平方向上进行定位，能够提高从所述电极侧支承体突出的多根探针后端与所述电极的接触精度，从而提高电检查的检查精度。

本实用新型的第五方面的检查夹具是在本实用新型的第四方面的检查夹具的基础上，所述电极侧贯通孔是由分别形成于多块所述电极侧支承板的各所述贯通孔以沿水平方向逐一偏斜的方式层叠而成的倾斜贯通孔。

根据上述结构，通过将电极侧支承板的各贯通孔以沿水平方向逐一偏斜的方式层叠形成倾斜贯通孔，从而使探针在该倾斜贯通孔中倾斜放置，从而提高电检查的检查精度。

本实用新型的第六方面的检查夹具是在本实用新型的第一方面的检查夹具的基础上，所述检查侧支承体由多块检查侧支承板层叠而成。

根据上述结构，通过使检查侧支承体由多块检查侧支承板层叠而成，能够提高电检查的检查精度。

本实用新型的第七方面的检查夹具是在本实用新型的第六方面的检查夹具的基础上，所述检查侧贯通孔是倾斜贯通孔。

根据上述结构，由于检查侧支承体的贯通孔也形成为倾斜贯通孔，因此该检查侧支承体与电极侧支承体的贯通孔均倾斜，能将探针倾斜放置，从而提高电检查的检查精度。

本实用新型的第八方面的检查夹具是在本实用新型的第一方面的检查夹具的基础上，所述检查对象是电路基板。

根据上述结构，能够使用检查夹具对电路基板进行检查。

本实用新型的第九方面的检查夹具是在本实用新型的第一方面至第八方面中的任一方面的检查夹具的基础上，所述检查侧支承体与所述电极侧支承体平行配置，多根所述探针以相对于所述检查侧支承体和所述电极侧支承体倾斜的方式平行配置。

根据上述结构，通过将检查侧支承体和电极侧支承体平行配置，从而能使各支承板的贯通孔层叠而形成沿竖直方向连续的贯通孔。通过使多根探针相对于检查侧支承体和电极侧支承体倾斜且平行地放置，能使多根探针的一端的露出量相同，从而能使多根探针的一端更可靠地与检查对象接触，并能提高电检查的检查精度。

本实用新型的第十方面提供一种检查夹具，包括：所述第一方面至第九方面中的任一方面所述的检查夹具；移动机构，该移动机构用于使所述检查夹具移动；搬运机构，该搬运机构用于搬运所述检查对象；夹持机构，该夹持机构对所述检查对象进行夹持，以使所述检查对象处于能够被检查的状态；控制部，该控制部对所述移动机构、所述搬运机构和所述夹持机构进行控制；以及显示部，该显示部显示对所述检查对象进行检查的结果。

根据上述结构，通过设置包括检查夹具、移动机构、搬运机构、夹持机构、控制部和显示部的检查装置，能利用检查夹具对检查对象进行电检查。此外，由于在检查夹具的电极侧支承体的贯通孔的小径部设置有扩口部，因此能去除因钻孔加工而残留在小径部周围的毛刺，避免探针与毛刺发生摩擦，从而能稳定地进行电检查。

实用新型的效果

根据本实用新型，能避免因毛刺的干扰而导致组装效率降低，同时能避免探针与毛刺发生摩擦，从而能稳定地进行电检查。

附图说明

图1是表示本实用新型实施方式的检查夹具的夹具头部的侧视图。

图2是表示图1中的夹具头部的检查侧支承体的贯通孔的局部放大图。

图3是表示图1中的夹具头部的电极侧支承体的贯通孔的局部放大图。

图4是表示本实用新型实施方式的检查夹具的夹具头部的立体图。

图5是表示安装有实施方式的检查夹具的检查装置的示意图。

(符号说明)

1 检查装置；

10 夹具头部；

11 检查侧支承体；

12 连接构件；

13 电极侧支承体；

14 探针；

20 控制部；

30 夹持机构；

40 移动机构；

50 电极安装部；

60 显示部；

70 电极；

100 电路基板(检查对象)

111 第一检查侧支承板；

112 第二检查侧支承板；

113 第三检查侧支承板；

131 第一电极侧支承板；

132 第二电极侧支承板；

133 第三电极侧支承板；

114 检查侧贯通孔；

134 电极侧贯通孔；

111a、112a、113a、131a、132a、133a 贯通孔；

131b、132b、133b 大径部；

131c、132c、133c 小径部；

131c₁、132c₁ 扩口部；

14a 导电线；

14b 绝缘层。

具体实施方式

以下，根据附图来对本实用新型的实施方式进行说明。

首先，在本实用新型中，如图5所示，电路基板100位于两个检查夹具之间，因此，以该电路基板为基准，将靠近电路基板100一侧设为“检查侧”，将远离电路基板100一侧设为“电极侧”。而且，将图1中的连接构件12的轴向设为“竖直方向”，将连接构件12的径向设为“水平方向”。

(检查夹具的结构)

图1是表示本实用新型实施方式的检查夹具的夹具头部的侧视图。图2是表示图1中的夹具头部的检查侧支承体的贯通孔的局部放大图。图3是表示图1中的夹具头部的电极侧支承体的贯通孔的局部放大图。图4是表示本实用新型实施方式的检查夹具的夹具头部的立体图。图5是表示安装有实施方式的检查夹具的检查装置的示意图。

如图5所示，检查夹具安装于检查装置1而对电路基板100(例如印刷电路配线基板或半导体集成基板)等检查对象进行电检查。如图1～3所示，该检查夹具包括：夹具头部10；以及以能装卸的方式与夹具头部10连接，并设置在夹具头部的同检查对象相反的一侧，且安装有电极70的电极安装部50，其中，夹具头部包括：具有检查侧贯通孔114的检查侧支承体11；与检查侧支承体11隔开间隔配置，且具有电极侧贯通孔134的电极侧支承体13；将检查侧支承体11与电极侧支承体连接在一起的连接构件12；以及贯穿检查侧贯通孔114和电极侧贯通孔134、前端(图1中的上端)从检查侧支承体11突出而能够与检查对象100接触、后端(图1中的下端)从电极侧支承体13突出而与电极70接触的多根探针14。如图2和图4所示，检查侧支承体11呈扁平的立方体形状(矩形的板状)并位于电路基板100的电极侧，在该检查侧支承体11中贯通形成有从左下方向右上方偏斜的供探针14插通的检查侧贯通孔114。如图3和图4所示，电极侧支承体13呈扁平的立方体形状(矩形的板状)并以与检查侧支承体11隔开规定的间隔的方式，相对于检查侧支承体11配置于与探针14的前端相反的一侧，并形成有供探针14插通的电极侧贯通孔134。多根探针14以相对于检查侧支承体11和电极侧支承体13倾斜的方式平行配置。连接构件12具有四个，四个连接构件12配置于检查侧支承体11的四个角落处。

此处，如图1所示，检查侧支承体11与电极侧支承体13平行配置。

如图2所示，检查侧支承体11由从检查侧起沿竖直方向依次层叠的第一检查侧支承板111、第二检查侧支承板112和第三检查侧支承板113构成。上述检查侧支承板111～113相互之间通过螺栓等固定单元而相互固定。并且，检查侧贯通孔114是倾斜贯通孔，在各检查侧支承板分别对应形成有贯通孔111a、112a、113a，且各贯通孔111a～113a逐一偏斜(从左下方向右上方偏斜)地层叠而形成供探针14插通的检查侧贯通孔114。在检查侧贯通孔114中插通有探针14，探针14的前端从检查侧支承体11的第一检查侧支承板111露出。探针14由钨、高速钢、铍铜等金属或其它导电材料形成，并且形成为能弯曲的线状。另外，如图2、3所示，本实施方式中的探针14包括由导电体构成的导电线14a和将导电体的外周面包围的绝缘层14b，该绝缘层由树脂等绝缘材料形成。而且，探针14的前端和后端如图2、3所示那样呈球面状。检查侧贯通孔114的直径稍大于探针14的直径。

如图3所示，电极侧支承体13从检查侧起沿竖直方向依次由大小相同且呈扁平的板状的第一电极侧支承板131、第二电极侧支承板132、第三电极侧支承板133层叠而构成。各电极侧支承板131～133形成有贯通孔131a、132a、133a，且各贯通孔131a～133a彼此间从电极侧向检查侧以沿水平方向逐一偏斜(从左下方向右上方偏斜)的方式层叠而形成供探针14插通的电极侧贯通孔134。即，电极侧贯通孔134是倾斜的贯通孔。由此，探针14在电极侧贯通孔134中倾斜放置。

此外，在第一电极侧支承板131、第二电极侧支承板132、第三电极侧支承板133这三个电极侧支承板中，第一电极侧支承板131最靠检查侧，且与连接构件12连接，并形成有贯通孔131a。贯通孔131a包括大径部131b和小径部131c，小径部131c位于检查侧，大径部131b位于电极侧，且在小径部131c的检查侧端部具有扩口部131c₁，扩口部131c₁在侧视观察时朝检查侧开口且其直径随着靠近检查侧而逐渐变大，在至第一电极侧支承板131的检查侧表面处达到最大值。扩口部131c₁的最小直径等于小径部131c的直径，且最大直径小于大径部131b的直径。由此，在对第一电极侧支承板131进行钻孔加工形成贯通孔时，能通过形成扩口部131c₁去除因钻孔加工而残留在小径部131c周围的毛刺，从而能避免因毛刺的干扰而导致检查夹具的组装效率降低，同时能避免探针与毛刺发生摩擦，从而能稳定地进行电检查。

此外，第二电极侧支承板132与第一电极侧支承板131抵接，且比第一电极侧支承板131靠电极侧。在电极侧支承板132形成有贯通孔132a，贯通孔132a包括大径部132b和小径部132c，且大径部132b位于检查侧，小径部132c位于电极侧，在小径部132c的电极侧端部形成有扩口部132c₁，扩口部132c₁在侧视观察时朝电极侧开口且其直径随着靠近电极侧而逐渐变大，在第二电极侧支承板132的电极侧表面处达到最大值。扩口部132c₁的最小直径等于小径部132c的直径，且最大直径小于大径部132b的直径。由此，在对第二电极侧支承板132进行钻孔加工形成贯通孔时，能通过形成扩口部132c₁去除因钻孔加工而残留在小径部132c周围的毛刺，从而能避免因毛刺的干扰而导致检查夹具的组装效率降低，同时能避免探针与毛刺发生摩擦，从而能稳定地进行电检查。

此外，第三电极侧支承板133最靠电极侧，与电极安装部50抵接。在电极侧支承板133中形成有贯通孔133a，贯通孔133a包括大径部133b和小径部133c。小径部133c比大径部133b靠电极侧，小径部133c不具有扩口部。小径部133c的直径比探针14的直径大。此外，在第三电极侧支承板133的电极侧安装有电极安装部50，在电极安装部50的与探针14对应的位置设置有电极70。电极安装部50从电极侧对检查夹具进行支承。探针14的电极侧端部与电极70接触，从而电极70与探针14一起构成导电回路的一部分。

(检查装置1的结构)

图5是表示安装有实施方式的检查夹具的检查装置1的示意图。本实施方式的检查装置1包括：检查夹具；夹持机构30，夹持机构30对电路基板100的两端进行夹持，以使电路基板100处于能够被检查的状态；移动机构40，移动机构40设于电极安装部50的电极侧并对电极安装部50进行支承，并通过驱动部(未图示)带动检查夹具沿水平方向以及竖直方向移动，以使检查夹具靠近或远离电路基板100；搬运机构(未图示)，该搬运机构用于搬运电路基板100；控制部20，控制部20对搬运机构、夹持机构30和移动机构40的动作进行控制；以及显示部60，显示部60显示对电路基板100进行检查的结果。

(检查装置1对电路基板100的检查动作)

以下，参照图5对检查装置1检查电路基板100时的动作进行说明。如图5所示，检查夹具通过移动机构40搭载于检查装置1上。此外，在电路基板100上设有在电检查时与探针14的前端接触的端子(未图示)。而且，在对电路基板100进行电检查之后，通过引线键合将IC等电气元件与上述端子接合。

在对电路基板100进行电检查时，控制部20向驱动部发送控制信号，驱动部接受该信号驱动搬运机构和夹持机构30，从而将基板100夹持并固定，同时驱动移动机构40来使检查夹具从竖直方向两侧向基板100靠近，直至探针14的前端与电路基板100的上述端子接触，从而探针14与端子电导通。在该状态下，控制部20通过向检查夹具供给规定信号或接受通过检查夹具检查出的电位，从而对电路基板100进行电检查。并且，在电检查完成后，控制部20向驱动部发送信号，驱动部接受该信号使移动机构40动作，带动检查夹具离开电路基板100，并返回至原始位置，由此，一次电检查结束。在检查夹具10对基板进行电检查的过程中，移动机构40不仅能使检查夹具10沿轴向移动，还能使检查夹具10沿水平方向移动，从而能保证检查夹具10的探针能在水平面上与电路基板充分地接触，对电路基板进行全面的电检查。

(本实用新型的效果)

根据上述结构，通过在贯通孔所包括的小径部的钻孔加工后方侧设置扩口部，能清除因钻孔加工而残留在小径部的钻孔加工后方侧的毛刺，从而能避免因毛刺的干扰而导致检查夹具的组装效率降低，同时能避免探针与毛刺发生摩擦，从而能稳定地进行电检查。

以上对本实用新型的实施方式进行了说明，但本实用新型并不限定于此，能在不脱离本实用新型的宗旨的范围内进行各种变形。

在上述实施方式中，电极侧支承板13仅由第一电极侧支承板131、第二电极侧支承板132和第三电极侧支承板133形成，但本实用新型并不局限于此，电极侧支承板13也可以由四枚以上的电极侧支承板133形成。

在上述实施方式中，第一电极侧支承板131的贯通孔131a的扩口部设于检查侧，第二电极侧支承板132的贯通孔132a的扩口部设于电极侧，但本实用新型并不局限于此，只要在第一电极侧支承板131的检查侧表面和第二电极侧支承板132的电极侧表面设有扩口部即可，在第一电极侧支承板131与第二电极侧支承板132之间也可以设置其他电极侧支承板，在其他电极侧支承板的贯通孔处可以设置扩口部也可以不设置扩口部。

在本实施方式中，在检查侧支承板11与电极侧支承板13之间设置有多个连接构件12，但本实用新型并不局限于此，也可以子设置一个连接构件12而将检查侧支承板11与电极侧支承板13连接，只要能够稳定连接即可。

在上述实施方式中，探针的绝缘层由树脂等绝缘材料形成，但并不限定于此，也可以在导电体的表面涂覆绝缘性涂料而形成。

Claims (10)

1.一种检查夹具，安装在用于对检查对象进行检查的检查装置中，包括：

夹具头部；以及

以能装卸的方式与所述夹具头部连接，并设置在所述夹具头部的同所述检查对象相反的一侧，且安装有电极的电极安装部，

其中，所述夹具头部包括：

具有检查侧贯通孔的检查侧支承体；

与所述检查侧支承体隔开间隔配置，且具有电极侧贯通孔的电极侧支承体；

将所述检查侧支承体与所述电极侧支承体连接在一起的连接构件；以及

贯穿所述检查侧贯通孔和所述电极侧贯通孔、前端从所述检查侧支承体突出而能够与所述检查对象接触、后端从所述电极侧支承体突出而与所述电极接触的多根探针，

所述检查夹具的特征在于，

所述电极侧支承体由分别形成有贯通孔的多块电极侧支承板层叠而成，所述贯通孔包括小径部和直径大于所述小径部的大径部，多块所述电极侧支承板的多个所述贯通孔构成所述电极侧贯通孔，

多块所述电极侧支承板中，靠所述连接构件一侧的第一电极侧支承板的贯通孔的小径部比大径部靠所述连接构件一侧，该小径部在靠所述连接构件一侧具有扩口部，该扩口部的直径随着靠近所述连接构件而逐渐变大。

2.如权利要求1所述的检查夹具，其特征在于，

多块所述电极侧支承板中，与所述第一电极侧支承板抵接的第二电极侧支承板的贯通孔的小径部比大径部靠所述电极安装部一侧，该小径部在靠所述电极安装部一侧具有扩口部，该扩口部的直径随着靠近所述电极安装部而逐渐变大。

3.如权利要求2所述的检查夹具，其特征在于，

所述扩口部的最小直径等于所述小径部的直径，

所述扩口部的最大直径小于所述大径部的直径。

4.如权利要求2所述的检查夹具，其特征在于，

多块所述电极侧支承板中，与所述电极安装部抵接的第三电极侧支承板的贯通孔的小径部比大径部靠所述电极安装部一侧，该小径部不具有扩口部。

5.如权利要求4所述的检查夹具，其特征在于，

所述电极侧贯通孔是由分别形成于多块所述电极侧支承板的各所述贯通孔彼此间以沿水平方向逐一偏斜的方式层叠而成的倾斜贯通孔。

6.如权利要求1所述的检查夹具，其特征在于，

所述检查侧支承体由多块检查侧支承板层叠而成。

7.如权利要求6所述的检查夹具，其特征在于，

所述检查侧贯通孔是倾斜贯通孔。

8.如权利要求1所述的检查夹具，其特征在于，

所述检查对象是电路基板。

9.如权利要求1至8中任一项所述的检查夹具，其特征在于，

所述检查侧支承体与所述电极侧支承体平行配置，

多根所述探针以相对于所述检查侧支承体和所述电极侧支承体倾斜的方式平行配置。

10.一种检查装置，其特征在于，包括：

权利要求1至9中任一项所述的检查夹具；

移动机构，该移动机构用于使所述检查夹具移动；

搬运机构，该搬运机构用于搬运所述检查对象；

夹持机构，该夹持机构对所述检查对象进行夹持，以使所述检查对象处于能够被检查的状态；

控制部，该控制部对所述移动机构、所述搬运机构和所述夹持机构进行控制；以及

显示部，该显示部显示对所述检查对象进行检查的结果。