CN206593433U - 干燥装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及干燥设备的技术领域公开了一种干燥装置，用于基板去光阻设备，包括：机架和设置于机架上的传送机构；该干燥装置还包括翻转机构，该翻转机构包括固定于机架上的用于翻转基板的转动部，以及设置于转动部上的用于固定基板的固定部；该干燥机构还包括位于由多个第一传送辊直线排列形成的传送路径上的风刀，风刀朝向第一传送辊。上述翻转机构将被固定在翻转机构上的待干燥的基板旋转大于或者等于90°，将基板上的色组之间狭缝当中的一些残留物可以倾倒一部分出来，再经过风刀，使后续镀铟锡氧化物半导体透明导电膜的时候，不会因为在狭缝中存在残留物而导致铟锡氧化物半导体透明导电膜与金属层接触不良，从而提高了产品的合格率。

Description

干燥装置

技术领域

本实用新型涉及干燥设备的技术领域，尤其涉及一种用于液晶面板干燥处理的干燥装置。

背景技术

随着科技的发展，电子产品越来越普及，尤其是电脑电视走进了千家万户。这些各类电子产品上安装了大量的电子显示设备，电子显示设备在各个领域都有广泛的应用。目前，液晶显示屏幕越做越大，而且曲面式显示器的逐渐增多，彩色滤波薄膜晶体管(ColorFilter On TFT，简称COT)技术近年来被广泛的应用于薄膜晶体管液晶显示器(Thin FilmTransistor-Liquid Crystal Display,简称TFT-LCD)电视产品上。

而目前的COT技术应用于基板的生产过程中，钝化蚀刻后除光阻时，只是以倾斜五度的传送方式再经过风刀机构来清除色组之间狭缝中留下的液体，但因为狭缝的高度差有的时候高达2μm以上，造成在去光阻时清除液狭缝中的残留物变得比较困难，经常出现清除不干净的情况，致使后续镀铟锡氧化物半导体透明导电膜(Indium Tin Oxides，简称ITO)的时候，该ITO层在狭缝中与源极接触不佳，从而发生产品不可靠的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种干燥装置及干燥方法，旨在解决现有技术中，基板彩色滤波薄膜晶体管的色组之间的狭缝太深而导致里面的残留物很难清除的问题。

本实用新型提供了一种干燥装置，用于基板去光阻设备，包括：

机架；

传送机构，设置于所述机架上，所述传送机构包括用于传送所述基板且呈直线排列的多个第一传送辊，以及用于驱动所述第一传送辊转动的第一驱动电机，所述第一驱动电机与所述第一传送辊传动连接；

翻转机构，包括固定于所述机架上的用于翻转所述基板的转动部，以及设置于所述转动部上的用于固定所述基板的固定部；

干燥机构，所述干燥机构设置于所述机架上并位于所述翻转机构一侧，所述干燥机构包括位于由所述多个第一传送辊直线排列形成的传送路径上的风刀，所述风刀朝向所述第一传送辊。

进一步地，所述转动部包括设置于所述机架上的转轴、固定于所述转轴上的转动台，以及用于驱动所述转动台翻转的转动驱动件，所述转轴与所述转动驱动件传动连接；

所述固定部包括固定于所述转动台上的用于固定所述基板的夹具，以及用于驱动所述夹具的固定驱动件，所述夹具与所述固定驱动件传动连接。

进一步地，所述转轴呈水平布置，且所述转轴与所述传送路径垂直。

可选地，所述转动台的翻转角度大于或者等于90°。

进一步地，所述转动台还包括多个呈直线排列的用于传送所述基板且位于所述传送路径上的第二传送辊，以及用于驱动所述第二传送辊转动的第二驱动电机，所述第二驱动电机与所述第二传送辊传动连接。

可选地，所述固定驱动件为气缸或液压缸。

进一步地，所述夹具包括相对设置的第一夹具模块和第二夹具模块。

进一步地，所述第一夹具模块包括固定于所述转动台的第一固定件和固定于所述第一固定件上的第一转动件；所述第二夹具模块包括固定于所述转动台的第二固定件和固定于所述第二固定件上的第二转动件。

可选地，所述第一固定件和所述第二固定件呈“一”字型，所述第一转动件和所述第二转动件呈“L”字型。

进一步地，所述第一转动件和所述第二转动件翻转的角度范围为0°至180°。

基于上述技术方案，本实用新型中提出的干燥装置，在机架上设置有翻转机构，上述翻转机构将被固定在翻转机构上的待干燥的基板旋转大于或者等于90°，将基板上的色组之间狭缝当中的一些残留物可以倾倒一部分出来，再经过风刀，则可以将狭缝中的残留物清除的更加干净。使后续镀ITO层的时候，不会因为在狭缝中存在残留物而导致ITO层与金属层接触不良，从而提高了产品的合格率。

附图说明

图1为本实用新型实施例提出的干燥装置示意图；

图2为本实用新型实施例提出的翻转机构剖面示意图；

图3为本实用新型实施例提出的翻转机构旋转示意图；

图4为本实用新型实施例提出的翻转机构夹具松开示意图；

图5为本实用新型实施例提出的翻转机构俯视示意图。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或可能同时存在居中元件。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。

另外，还需要说明的是，本实用新型实施例中的左、右、上、下等方位用语，仅是互为相对概念或是以产品的正常使用状态为参考的，而不应该认为是具有限制性的。以下结合具体实施例对本实用新型的实现进行详细的描述。

如图1至图5所示，本实用新型实施例提出了一种干燥装置，用于基板1去光阻设备，包括：机架2和设置于该机架2上的传送机构(附图未标出)，该传送机构包括用于传送基板1且呈直线排列的多个第一传送辊21，以及用于驱动第一传送辊21转动的第一驱动电机(附图未标出)，第一驱动电机与第一传送辊21传动连接；该干燥装置还包括翻转机构3，该翻转机构3包括固定于上述机架2上的用于翻转基板1的转动部b，以及设置于该转动部b上的用于固定基板1的固定部a；另外，该干燥装置还包括干燥机构(附图未标出)，该干燥机构设置于机架2上并位于翻转机构3一侧，该干燥机构包括位于由多个第一传送辊21直线排列形成的传送路径22上的风刀F，风刀F朝向第一传送辊21。

如上所述，本实用新型实施例提出的干燥装置，通过在机架2上设置翻转机构3，利用翻转机构3将固定在其上的待干燥基板1旋转大于或者等于90°，如此，可将基板1上的色阻(附图未标出)之间狭缝当中的一些残留物倾倒一部分出来，接着再经过风刀F中气流冲击，使得狭缝中的残留物可进一步被清除。使后续镀ITO层(附图未标出)的时候，不会因为在狭缝中存在残留物而导致ITO层与金属层(附图未标出)接触不良，从而提高了产品的合格率。

在本实用新型实施例中，上述机架2可选地呈直线水平布置，当然，在其他实施例当中，该机架2还可为“L”型、“口”型或者其他形状的布置方式，此处不作唯一限定。具体地，设置于该机架2上的第一传送辊21数量可以为多个且呈直线排列，形成了上述基板1的传送路径22，基板1干燥过程中的各道工序都在该传送路径22上进行，节省了空间，方便上一道工序和下一道工序的衔接，压缩了加工所用的时间。当然，在其他实施例中，第一传送辊21还可以为其他方式排列，比如每道工序都独立形成一条传送路径，或者传送路径并非直线而是在中途改变方向，同时，上述第一传送辊21还可以为其他可以让基板1移动的装置，比如机器手臂搬运或者用吸盘吸附然后再移动基板1的其他可以使基板1移动的装置，此处不作唯一限定。

在本实用新型实施例中，上述第一传送辊21与第一驱动电机传动连接，该第一驱动电机驱动第一传送辊21转动，带动位于第一传送辊21上的基板1移动。当然，在其他实施例当中，第一驱动电机还可以采用汽油发动机或者柴油发动机等其他类型的动力装置，只需要能够带动第一传送辊21运动即可，此处不作唯一限定。

在本实用新型实施例中，上述翻转机构3包括有固定于上述机架2上的转动部b，以及设置于该转动部b上的固定部a，该固定部a可以将基板1固定在转动部b上，转动部b可以将基板1旋转一定角度，使得基板1色阻之间狭缝中的残留物被倾倒出来，当然，在其他实施例中，上述翻转机构3不一定设置于所述机架2上，该翻转机构3也可以独立设置，同时，固定部a也可是设置在其他位置或者采用其他的固定方式，只要可以将基板1固定在转动部b上即可，此处不作唯一限定。

在本实用新型实施例中，上述风刀F位于上述翻转机构3的一侧，具体地，该风刀F位于相邻于翻转机构3的一侧，并且该风刀F位于上述传送路径22上，同时，该风刀F朝向上述第一传送辊21，如此，当基板1被传送至风刀F所在区域时，风刀F可将位于第一传送辊21上基板1的色阻件间狭缝中的残留物吹走。当然，在其他实施例中，上述风刀F与上述翻转机构3中间还可以增加其他的部件或者工序，该风刀F也可以放在其他的位置，此处不作唯一限定。另外，风刀F的朝向可以为各种不同的方向，同时，上述干燥机构也可以采用其他装置替换风刀F，只要能够将上述基板1色阻间狭缝中的残留物清除即可，此处不作唯一限定。

进一步地，在本实用新型实施例中，上述转动部b包括设置于上述机架2上的转轴31，固定于该转轴31上的转动台32，以及用于驱动该转动台32翻转的转动驱动件(附图中未标示)，转轴31与转动驱动件传动连接；固定部a包括固定于转动台32上的用于固定基板1的夹具j，以及用于驱动夹具j的固定驱动件，夹具j与固定驱动件传动连接。这里，转动驱动件驱动转轴31转动，转轴31带动固定于其上的转动台32转动，同时，夹具j在固定驱动件的驱动下将基板1固定在转动台32上，转动驱动件驱动转动台32带动位于转动台32上的基板1进行旋转，从而将基板1的色阻间狭缝的残留物倾倒出来。在其他实施例中，上述转轴31还可以设置在非机架2上的其他位置，转动台32也可以设置在转轴31的其他位置上，甚至也可以没有转轴31，只要能够实现转动台32翻转即可，此处不作唯一限定。

在本实用新型实施例中，上述固定驱动件驱动上述夹具j，实现将基板1固定在上述转动台32上，或者将固定在转动台32的基板1松开，如此，可以很方便的将基板1固定在转动台32上，当转动台32翻转的时候，基板1也可以随着转动台32的翻转而翻转，从而将基板1的色阻间狭缝中的残留物倾倒出来。当然，在其他实施例中，也可以用其他方式来驱动夹具j，甚至没有这个驱动而采用人工锁紧的方式，只要能够将基板1固定在转动台32上即可，此处不作唯一限定。在本实用新型实施例中，可选采用夹具j将基板1固定在转动台32上，在其他实施例中，也可以采用其他的方式，比如使用吸盘或者气吸的方式来将基板1固定在转动台32上，此处不作唯一限定。

进一步地，在本实用新型实施例中，上述转轴31呈水平布置，且该转轴31与传送路径22垂直。当基板1为矩形时，其长边平行于上述传送路径22方向，转轴31与传送路径22垂直。基板1旋转时，基板1的窄边平行于转轴31，减少了旋转的难度。当然，在其他实施例中，上述转轴31与上述传送路径22还可以为其他角度夹角，只要能够将上述翻转机构3翻转即可，此处不作唯一限定。

可选地，在本实用新型实施例中，上述转动台32的翻转角度大于或者等于90°，该翻转角度可选为360°，如此可轻易将上述基板1的色阻间狭缝中的残留物倒出。

进一步地，在本实用新型实施例中，上述转动台32还包括多个呈直线排列的用于传送基板1且位于传送路径22上的第二传送辊37，以及用于驱动多个第二传送辊37转动的第二驱动电机(附图中未标出)，第二驱动电机与第二传送辊37传动连接。该第二传送辊37与第一传送辊21衔接，第二驱动电机驱动第二传送辊37将基板1在上述转动台32上移动，如此，使得基板1可以更加顺畅的从其他工序进入到转动台32，以及转动台32处理完后将基板1传送到下一步工序。当然，在其他实施例中，也可以采用其他的方式将基板1传送到转动台32上，也可以采用其他的方式将基板1从转动台32移动到下一步工序，比如采用机器人手臂来移动基板1，此处不作唯一限定。

在本实用新型实施例中，上述固定驱动件可选为气缸或液压缸。气缸或者液压缸价格低廉，控制简单，利于大规模使用。当然，在其他实施例中，还可以采用其他的方式来驱动上述夹具j，比如采用电机，只要能够驱动夹具j将上述基板1固定在上述转动台32上即可，此处不作唯一限定。

进一步地，在本实用新型实施例中，夹具j包括相对设置的第一夹具模块a1和第二夹具模块a2。当然，在其他实施例中，夹具模块的数量也可以为其他数量，此处不作唯一限定。

进一步地，在本实用新型实施例中，上述第一夹具模块a1包括固定于转动台32的第一固定件33和固定于第一固定件33上的第一转动件34；第二夹具模块a2包括固定于转动台32的第二固定件35和固定于第二固定件35上的第二转动件36。通过固定于转动台32上的第一固定件33提供受力支点，旋转固定于第一固定件33上的第一转动件34，就可以将上述基板1的一端固定在转动台32上；同理通过固定于转动台32上的第二固定件35提供受力支点，旋转固定于第二固定件35上的第二转动件36，就可以将基板1的另一端固定在转动台32上。当然，在其他实施例中，上述第一固定件33和第一转动件34，以及第二固定件35和第二传动件，还可包括其他的部件，第一固定件33/第二固定件35还可以固定在其他地方，只要能够将上述基板1固定在上述转动台32上即可，此处不作唯一限定。

在本实用新型实施例中，上述第一固定件33和第二固定件35可选的呈“一”字型，第一转动件34和第二转动件36可选的呈“L”字型，将第一转动件34或者第二转动件36旋转180°，即可将上述基板1固定在上述转动台32上；再将第一转动件34或者第二转动件36反向旋转180°，即可解除夹具对上述基板1的固定。如此，可方便地将上述基板1在上述转动台32上实现固定或者松开。当然，在其他实施例中，上述第一固定件33、第二固定件35、第一转动件34、第二转动件36还可以为其他的形态，只要能够将基板1固定在转动台32即可，此处不作唯一限定。

进一步地，在本实用新型实施例中，上述第一转动件34和第二转动件36翻转的角度范围可选为0°至180°。当第一传动件34、第二传动件36旋转180°时，可以将上述基板1固定在上述转动台32上，当第一传动件34、第二传动件36旋转0°时，则放开了对上述基板1的固定。当然，在其他实施例中，上述第一转动件34和上述第二转动件36的翻转角度还可为其他范围，只要能够实现对上述基板1在上述转动台32上的固定和放开即可，此处不作唯一限制。

以上所述实施例，仅为本实用新型具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到各种等效的修改、替换和改进等等，这些修改、替换和改进都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以权利要求的保护范围为准。

Claims (10)

1.干燥装置，用于基板去光阻设备，其特征在于，包括：

机架；

传送机构，设置于所述机架上，所述传送机构包括用于传送所述基板且呈直线排列的多个第一传送辊，以及用于驱动所述第一传送辊转动的第一驱动电机，所述第一驱动电机与所述第一传送辊传动连接；

翻转机构，包括固定于所述机架上的用于翻转所述基板的转动部，以及设置于所述转动部上的用于固定所述基板的固定部；

干燥机构，所述干燥机构设置于所述机架上并位于所述翻转机构一侧，所述干燥机构包括位于由所述多个第一传送辊直线排列形成的传送路径上的风刀，所述风刀朝向所述第一传送辊。

2.如权利要求1所述的干燥装置，其特征在于，所述转动部包括设置于所述机架上的转轴、固定于所述转轴上的转动台，以及用于驱动所述转动台翻转的转动驱动件，所述转轴与所述转动驱动件传动连接；

所述固定部包括固定于所述转动台上的用于固定所述基板的夹具，以及用于驱动所述夹具的固定驱动件，所述夹具与所述固定驱动件传动连接。

3.如权利要求2所述的干燥装置，其特征在于，所述转轴呈水平布置，且所述转轴与所述传送路径垂直。

4.如权利要求2所述的干燥装置，其特征在于，所述转动台的翻转角度大于或者等于90°。

5.如权利要求2所述的干燥装置，其特征在于，所述转动台还包括多个呈直线排列的用于传送所述基板且位于所述传送路径上的第二传送辊，以及用于驱动所述第二传送辊转动的第二驱动电机，所述第二驱动电机与所述第二传送辊传动连接。

6.如权利要求2至5任一项所述的干燥装置，其特征在于，所述固定驱动件为气缸或液压缸。

7.如权利要求2至5任一项所述的干燥装置，其特征在于，所述夹具包括相对设置的第一夹具模块和第二夹具模块。

8.如权利要求7所述的干燥装置，其特征在于，所述第一夹具模块包括固定于所述转动台的第一固定件和固定于所述第一固定件上的第一转动件；所述第二夹具模块包括固定于所述转动台的第二固定件和固定于所述第二固定件上的第二转动件。

9.如权利要求8所述的干燥装置，其特征在于，所述第一固定件和所述第二固定件呈“一”字型，所述第一转动件和所述第二转动件呈“L”字型。

10.如权利要求8或9所述的干燥装置，其特征在于，所述第一转动件和所述第二转动件翻转的角度范围为0°至180°。