CN206584902U - 半导体封装机支撑环升降机构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型属于一种半导体封装机支撑环升降机构,包括固定板(1),其特征在于在固定板(1)的四个角上活动地装有四个螺杆(5),螺杆(5)的上端固定有从动同步带轮(9);四个从动同步带轮(9)之间绕缠有同步带二(10);右下角的从动同步带轮(9)用同步带一(6)与主动同步带轮(8)连接传动,升降板(2)上面固定有四个支柱(3),支柱(3)穿过固定板(1)与晶圆扩膜钢圈(4)连接;晶圆扩膜钢圈(4)装在晶圆扩膜板(17)的中心孔中和晶圆环导向条一(12)、晶圆环导向条二(13)上。该实用新型结构紧凑,节省空间,成本低,生产效率高。
Description
技术领域
本实用新型属于半导体封装机的部件,特别涉及一种半导体封装机支撑环升降机构。
背景技术
在半导体的生产中,用于半导体封装后道工序中的晶圆自动扩膜机构,它的晶圆扩膜板是固定的,晶圆扩膜钢圈上下移动。目前应用的主要有半自动扩膜机构和全自动扩膜机构两种。半自动扩膜机构:为单独一台机器,不足之处是生产效率低,并且占地空间大。全自动扩膜机构:晶圆扩膜板是上下移动,晶圆扩膜钢圈是固定的,换晶圆环时,所需要的空间较大,成本高,组装难度大。
发明内容
本发明的目的在于克服上述技术不足,提供一种换晶圆环时所需要的空间小,成本低,生产效率高的半导体封装机支撑环升降机构。
本实用新型解决技术问题所采用的技术方案是:一种半导体封装机支撑环升降机构,包括固定板,在固定板的右下角固定一个电机法兰,在电机法兰下面装有一个变速器,变速器与电机连接传动;其特征在于在固定板的四个角上活动地装有四个螺杆,螺杆装在轴承中,轴承装在固定板上,螺杆下段设螺纹并装有螺母,螺母下面与升降板用螺纹相啮合;螺杆的上端固定有从动同步带轮;四个从动同步带轮之间绕缠有同步带二;右下角的从动同步带轮用同步带一与主动同步带轮连接传动,主动同步带轮固定在变速器的出轴上;升降板上面固定有四个支柱,支柱穿过固定板与晶圆扩膜钢圈连接;晶圆扩膜钢圈装在晶圆扩膜板的中心孔中和晶圆环导向条一、晶圆环导向条二上;晶圆环导向条一和晶圆环导向条二装在固定板上;固定板左侧的两个从动同步带轮之间装有一个随动器,同步带二绕过随动器;在固定板的中心下面装一个张紧块。
本实用新型的有益效果是:该实用新型结构紧凑,节省空间,成本低,生产效率高。
附图说明
以下结合附图,以实施例具体说明。
图1是半导体封装机支撑环升降机构立体图;
图2是图1的主视图;
图3是图1的俯视图;
图4是图1的左侧视图。
图中:1-固定板;2-升降板;3-支柱;4-晶圆扩膜钢圈;5-螺杆;6-同步带一;7-螺母;8-主动同步带轮;9-从动同步带轮;10-同步带二;11-轴承;12-晶圆环导向条一;13-晶圆环导向条二;14-张紧块;15-随动器;16-电机;17-晶圆扩膜板;18-电机法兰;19-变速器。
具体实施方式
实施例,参照附图,一种半导体封装机支撑环升降机构。,包括固定板1,在固定板1的右下角固定一个电机法兰18,在点电机法兰18下面装有一个变速器19,变速器19与电机16连接传动;其特征在于在固定板1的四个角上活动地装有四个螺杆5,螺杆5装在轴承11中,轴承11装在固定板1上,螺杆5下段设螺纹并装有螺母7,螺母7下面与升降板2用螺纹相啮合;螺杆5的上端固定有从动同步带轮9;四个从动同步带轮9之间绕缠有同步带二10;右下角的从动同步带轮9用同步带一6与主动同步带轮8连接传动,主动同步带轮8固定在变速器19的出轴上;升降板2上面固定有四个支柱3,支柱3穿过固定板1与晶圆扩膜钢圈4连接;晶圆扩膜钢圈4装在晶圆扩膜板17的中心孔中和晶圆环导向条一12、晶圆环导向条二13上;晶圆环导向条一12和晶圆环导向条二13装在固定板1上;固定板1左侧的两个从动同步带轮9之间装有一个随动器15,同步带二10绕过随动器15;在固定板1的中心下面装一个张紧块14。
该实用新型的工作过程或操作方法是:启动电机16的正反转动,通过变速器19、主动同步带轮8、同步带一6、从动同步带轮9、同步带二10带动螺杆5的转动,使升降板2上下移动,从而实现扩膜的过程。
Claims (1)
1.一种半导体封装机支撑环升降机构,包括固定板(1),在固定板(1)的右下角固定一个电机法兰(18),在电机法兰(18)下面装有一个变速器(19),变速器(19)与电机(16)连接传动;其特征在于在固定板(1)的四个角上活动地装有四个螺杆(5),螺杆(5)装在轴承(11)中,轴承(11)装在固定板(1)上,螺杆(5)下段设螺纹并装有螺母(7),螺母(7)下面与升降板(2)用螺纹相啮合;螺杆(5)的上端固定有从动同步带轮(9);四个从动同步带轮(9)之间绕缠有同步带二(10);右下角的从动同步带轮(9)用同步带一(6)与主动同步带轮(8)连接传动,主动同步带轮(8)固定在变速器(19)的出轴上;升降板(2)上面固定有四个支柱(3),支柱(3)穿过固定板(1)与晶圆扩膜钢圈(4)连接;晶圆扩膜钢圈(4)装在晶圆扩膜板(17)的中心孔中和晶圆环导向条一(12)、晶圆环导向条二(13)上;晶圆环导向条一(12)和晶圆环导向条二(13)装在固定板(1)上;固定板(1)左侧的两个从动同步带轮(9)之间装有一个随动器(15),同步带二(10)绕过随动器(15);在固定板(1)的中心下面装一个张紧块(14)。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201720343353.0U CN206584902U (zh) | 2017-04-02 | 2017-04-02 | 半导体封装机支撑环升降机构 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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CN201720343353.0U CN206584902U (zh) | 2017-04-02 | 2017-04-02 | 半导体封装机支撑环升降机构 |
Publications (1)
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CN206584902U true CN206584902U (zh) | 2017-10-24 |
Family
ID=60092557
Family Applications (1)
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---|---|---|---|
CN201720343353.0U Expired - Fee Related CN206584902U (zh) | 2017-04-02 | 2017-04-02 | 半导体封装机支撑环升降机构 |
Country Status (1)
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112908904A (zh) * | 2021-02-23 | 2021-06-04 | 厦门市弘瀚电子科技有限公司 | 一种铁环扩膜装置 |
CN113764311A (zh) * | 2021-08-30 | 2021-12-07 | 大连佳峰自动化股份有限公司 | 转角平台机构 |
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CN113764311A (zh) * | 2021-08-30 | 2021-12-07 | 大连佳峰自动化股份有限公司 | 转角平台机构 |
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