CN112908904A - 一种铁环扩膜装置 - Google Patents
一种铁环扩膜装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN112908904A CN112908904A CN202110201686.0A CN202110201686A CN112908904A CN 112908904 A CN112908904 A CN 112908904A CN 202110201686 A CN202110201686 A CN 202110201686A CN 112908904 A CN112908904 A CN 112908904A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- frame
- film expanding
- ring
- membrane
- film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical group [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 64
- 239000012528 membrane Substances 0.000 title claims abstract description 39
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 16
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 6
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 3
- 230000007306 turnover Effects 0.000 claims description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 2
- 238000003892 spreading Methods 0.000 description 5
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 3
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 3
- 241001050985 Disco Species 0.000 description 2
- 239000002313 adhesive film Substances 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67092—Apparatus for mechanical treatment
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
本发明公开一种铁环扩膜装置，包括：上部扩膜架和下部扩膜架；上部扩膜架可开合地设置于下部扩膜架的上方；上部扩膜架上安装有小铁环抓取机械手和压环圈，小铁环抓取机械手上部为第一升降气缸，第一升降气缸设置在上部扩膜架上，小铁环抓取机械手下部为抓取小铁环的机械手，上部扩膜架和压环圈中部均开设有相对应的上开口通道，上开口通道供小铁环抓取机械手升降时通过，压环圈升降在上部扩膜架的顶部。本案通过人工或者上料机械手将大铁环和小铁环分别设置在扩膜装置的小铁环抓取机械手和置环座上。此时大铁环上带有蓝膜，小铁环上未带有蓝膜，经扩膜装置扩膜后，大铁环上的蓝膜扩膜至小铁环上，从而实现扩膜的半自动化操作。
Description
技术领域
本发明涉及晶圆加工技术领域，特别涉及一种铁环扩膜装置。
背景技术
扩膜装置应适用于半导体切割制程后扩张或拉伸工序。
在晶片的生产过程中，晶粒的检测和分选是一道十分重要的工序。为了达到对晶粒的更易于检测和分选，必须对晶圆的载体-胶膜进行扩张，使得贴在胶膜上的切割好的晶粒均匀扩张分离。扩膜装置正是在这样的一个背景条件下出现了。但是如何使得胶膜更易于扩张，并且能够达到对胶膜均匀扩张的目的，无疑成为研制扩膜装置的一个重要课题。现有传统工艺为DISCO铁环扩张于子母环上。
并且扩膜装置的扩膜时间长，如何提高扩膜效率仍是重点问题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种铁环扩膜装置，克服上述缺陷，实现自动化扩膜。
为达成上述目的，本发明的解决方案为：一种铁环扩膜装置，包括：上部扩膜架和下部扩膜架；上部扩膜架可开合地设置于下部扩膜架的上方；
上部扩膜架上安装有小铁环抓取机械手和压环圈，小铁环抓取机械手上部为第一升降气缸，第一升降气缸设置在上部扩膜架上，小铁环抓取机械手下部为抓取小铁环的机械手，上部扩膜架和压环圈中部均开设有相对应的上开口通道，上开口通道供小铁环抓取机械手升降时通过，压环圈升降在上部扩膜架的顶部，压环圈的开口处向下凸起一圈在扩膜加工时用于压住大铁环的凸沿，凸沿套设在上部扩膜架的开口中；
下部扩膜架上安装有置环座、撑膜座和切膜刀；置环座架设在下部扩膜架顶部，置环座供大铁环放置，撑膜座底部为第二升降气缸，第二升降气缸设置在下部扩膜架上，撑膜座顶部为撑开大铁环蓝膜的圆形座，置环座顶部和置环座中部均开设有相对应的下开口通道，下开口通道供撑膜座升降时通过，切膜刀环绕设置在置环座和下部扩膜架之间。
优选的，还包括安装架，下部扩膜架埋设在安装架上，所述的上部扩膜架一侧铰接在安装架上，上部扩膜架另一侧上设置有与安装架扣合的勾扣，
所述安装架后侧设置有开合驱动装置，开合驱动装置与上部扩膜架底部固定连接，开合驱动装置拽动上部扩膜架使上部扩膜架翻折打开。
优选的，所述撑膜座内设置有加热电阻丝。
采用上述方案后，本发明的有益效果在于：本案通过人工或者上料机械手将大铁环和小铁环分别设置在扩膜装置的小铁环抓取机械手和置环座上。此时大铁环上带有蓝膜，小铁环上未带有蓝膜，经扩膜装置扩膜后，大铁环上的蓝膜扩膜至小铁环上，从而实现扩膜的半自动化操作。本案的压环圈集成设置在上部扩膜架上，使得整体的扩膜工序少，扩膜效率高。
附图说明
图1是本发明的立体图；
图2是本发明的侧视图；
图3是本发明的工作状态剖视图一；
图4是本发明的工作状态剖视图二；
图5是本发明的工作状态剖视图三；
图6是本发明切膜刀的俯视图一；
图7是本发明切膜刀的俯视图二；
图8是本发明安装在安装架上的立体图一；
图9是本发明安装在安装架上的立体图二。
标号说明：安装架(3)、上部扩膜架(1)、下部扩膜架(2)、小铁环抓取机械手(11)、压环圈(12)、置环座(21)、撑膜座(22)、切膜刀(23)、勾扣(4)、开合驱动装置(5)。
具体实施方式
以下结合附图及具体实施例对本发明做详细的说明。
如图1-9所示，本发明提供一种铁环扩膜装置，包括：上部扩膜架1和下部扩膜架2；上部扩膜架1可开合地设置于下部扩膜架2的上方；
上部扩膜架1上安装有小铁环抓取机械手11和压环圈12，小铁环抓取机械手11上部为第一升降气缸，第一升降气缸设置在上部扩膜架1上，小铁环抓取机械手11下部为抓取小铁环的机械手，上部扩膜架1和压环圈12中部均开设有相对应的上开口通道，上开口通道供小铁环抓取机械手11升降时通过，压环圈12升降在上部扩膜架1的顶部，压环圈12的开口处向下凸起一圈在扩膜加工时用于压住大铁环的凸沿，凸沿套设在上部扩膜架1的开口中；
下部扩膜架2上安装有置环座21、撑膜座22和切膜刀23；置环座21架设在下部扩膜架2顶部，置环座21供大铁环放置，撑膜座22底部为第二升降气缸，第二升降气缸设置在下部扩膜架2上，撑膜座22顶部为撑开大铁环蓝膜的圆形座，置环座21顶部和置环座21中部均开设有相对应的下开口通道，下开口通道供撑膜座22升降时通过，切膜刀23环绕设置在置环座21和下部扩膜架2之间。
本发明项目工艺为DISCO铁环扩张于小铁环上，本案通过人工或者上料机械手将大铁环和小铁环分别设置在扩膜装置的小铁环抓取机械手和置环座上。此时大铁环上带有蓝膜，小铁环上未带有蓝膜，经扩膜装置扩膜后，大铁环上的蓝膜扩膜至小铁环上。从而是实现扩膜的半自动化操作。
本案的压环圈12集成设置在上部扩膜架1上，使得整体的扩膜工序少，扩膜效率高。
还可以包括安装架3，下部扩膜架2埋设在安装架3上，所述的上部扩膜架1一侧铰接在安装架3上，上部扩膜架1另一侧上设置有与安装架3扣合的勾扣4，
所述安装架3后侧设置有开合驱动装置5，开合驱动装置5与上部扩膜架1底部固定连接，开合驱动装置5拽动上部扩膜架1使上部扩膜架1翻折打开。
除了设置安装架3并将上部扩膜架1一侧铰接在安装架3的方式外，还可以使用架设的方式将上部扩膜架1可开合地设置于下部扩膜架2的上方。
所述撑膜座22内设置有加热电阻丝。
工作原理：
首先，上料：启动机器，驱动装置5工作并翻开上部扩膜架1，将将大铁环和小铁环分别设置在扩膜装置2的小铁环抓取机械手11和置环座21上。放好后，驱动装置5工作并合上上部扩膜架1，扣合上部扩膜架1上的勾扣3，将上部扩膜架1牢牢固定在安装架1上。此时大铁环上带有蓝膜，小铁环上未带有蓝膜。
接着，扩膜装置扩膜：置环座21升温，置环座21向上推动触碰到大铁环的蓝膜后缓慢向上推动，小铁环抓取机械手11带着小铁环向下移动，小铁环与大铁环的蓝膜相触碰后，置环座21切换运动模式并与小铁环抓取机械手11一起向下运动，在置环座21和小铁环抓取机械手11运动至大铁环下方一定距离后，环设在下部扩膜架2上的切膜刀23开始受缩，并将蓝膜切断。
最后，下料：置环座21和小铁环抓取机械手11复位，解锁勾扣4并通过驱动装置5翻开上部扩膜架1后，取下大铁环和小铁环。
以上所述仅为本发明的较佳实施例，并非对本案设计的限制，凡依本案的设计关键所做的等同变化，均落入本案的保护范围。
Claims (3)
1.一种铁环扩膜装置，其特征在于，包括：上部扩膜架(1)和下部扩膜架(2)；上部扩膜架(1)可开合地设置于下部扩膜架(2)的上方；
上部扩膜架(1)上安装有小铁环抓取机械手(11)和压环圈(12)，小铁环抓取机械手(11)上部为第一升降气缸，第一升降气缸设置在上部扩膜架(1)上，小铁环抓取机械手(11)下部为抓取小铁环的机械手，上部扩膜架(1)和压环圈(12)中部均开设有相对应的上开口通道，上开口通道供小铁环抓取机械手(11)升降时通过，压环圈(12)升降在上部扩膜架(1)的顶部，压环圈(12)的开口处向下凸起一圈在扩膜加工时用于压住大铁环的凸沿，凸沿套设在上部扩膜架(1)的开口中；
下部扩膜架(2)上安装有置环座(21)、撑膜座(22)和切膜刀(23)；置环座(21)架设在下部扩膜架(2)顶部，置环座(21)供大铁环放置，撑膜座(22)底部为第二升降气缸，第二升降气缸设置在下部扩膜架(2)上，撑膜座(22)顶部为撑开大铁环蓝膜的圆形座，置环座(21)顶部和置环座(21)中部均开设有相对应的下开口通道，下开口通道供撑膜座(22)升降时通过，切膜刀(23)环绕设置在置环座(21)和下部扩膜架(2)之间。
2.如权利要求1所述一种铁环扩膜装置，其特征在于：还包括安装架(3)，下部扩膜架(2)埋设在安装架(3)上，所述的上部扩膜架(1)一侧铰接在安装架(3)上，上部扩膜架(1)另一侧上设置有与安装架(3)扣合的勾扣(4)，
所述安装架(3)后侧设置有开合驱动装置(5)，开合驱动装置(5)与上部扩膜架(1)底部固定连接，开合驱动装置(5)拽动上部扩膜架(1)使上部扩膜架(1)翻折打开。
3.如权利要求1所述一种铁环扩膜装置，其特征在于：所述撑膜座(22)内设置有加热电阻丝。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202110201686.0A CN112908904A (zh) | 2021-02-23 | 2021-02-23 | 一种铁环扩膜装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202110201686.0A CN112908904A (zh) | 2021-02-23 | 2021-02-23 | 一种铁环扩膜装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN112908904A true CN112908904A (zh) | 2021-06-04 |
Family
ID=76124539
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202110201686.0A Pending CN112908904A (zh) | 2021-02-23 | 2021-02-23 | 一种铁环扩膜装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN112908904A (zh) |
Citations (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20060120367A1 (en) * | 2000-06-20 | 2006-06-08 | Mark Beckmann | Method for transmitting short messages |
| CN204481001U (zh) * | 2015-01-12 | 2015-07-15 | 天津中商美华科技有限公司 | 自动扩膜机 |
| CN106952845A (zh) * | 2017-01-23 | 2017-07-14 | 苏州五方光电材料有限公司 | 一种扩膜机及利用该扩膜机进行激光切割的工艺 |
| CN206584902U (zh) * | 2017-04-02 | 2017-10-24 | 翼龙设备（大连）有限公司 | 半导体封装机支撑环升降机构 |
| CN206913673U (zh) * | 2017-05-02 | 2018-01-23 | 厦门市弘瀚电子科技有限公司 | 滤光片自动扩膜机 |
| CN108807236A (zh) * | 2018-06-23 | 2018-11-13 | 江苏罗化新材料有限公司 | 一种半自动扩膜机及扩膜工艺 |
| CN208368482U (zh) * | 2018-07-23 | 2019-01-11 | 深圳市新晶路电子科技有限公司 | 一种晶圆盘扩膜装置 |
| CN109216243A (zh) * | 2018-09-07 | 2019-01-15 | 先进光电器材（深圳）有限公司 | 自动扩膜装置 |
| CN212084963U (zh) * | 2020-04-16 | 2020-12-04 | 江苏京创先进电子科技有限公司 | 一种安全高效的自动扩膜设备 |
-
2021
- 2021-02-23 CN CN202110201686.0A patent/CN112908904A/zh active Pending
Patent Citations (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20060120367A1 (en) * | 2000-06-20 | 2006-06-08 | Mark Beckmann | Method for transmitting short messages |
| CN204481001U (zh) * | 2015-01-12 | 2015-07-15 | 天津中商美华科技有限公司 | 自动扩膜机 |
| CN106952845A (zh) * | 2017-01-23 | 2017-07-14 | 苏州五方光电材料有限公司 | 一种扩膜机及利用该扩膜机进行激光切割的工艺 |
| CN206584902U (zh) * | 2017-04-02 | 2017-10-24 | 翼龙设备（大连）有限公司 | 半导体封装机支撑环升降机构 |
| CN206913673U (zh) * | 2017-05-02 | 2018-01-23 | 厦门市弘瀚电子科技有限公司 | 滤光片自动扩膜机 |
| CN108807236A (zh) * | 2018-06-23 | 2018-11-13 | 江苏罗化新材料有限公司 | 一种半自动扩膜机及扩膜工艺 |
| CN208368482U (zh) * | 2018-07-23 | 2019-01-11 | 深圳市新晶路电子科技有限公司 | 一种晶圆盘扩膜装置 |
| CN109216243A (zh) * | 2018-09-07 | 2019-01-15 | 先进光电器材（深圳）有限公司 | 自动扩膜装置 |
| CN212084963U (zh) * | 2020-04-16 | 2020-12-04 | 江苏京创先进电子科技有限公司 | 一种安全高效的自动扩膜设备 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| GB1511184A (en) | Nipping and lifting means for fabric sections and the lik | |
| CN112908904A (zh) | 一种铁环扩膜装置 | |
| CN107425207B (zh) | 一种绝缘片上料装置及其电芯组装系统 | |
| CN214175980U (zh) | 一种铁环扩膜机 | |
| US3625506A (en) | Method and apparatus for differentiating the top fibrous workpiece from a stack of fibrous workpieces and for separating the differentiated workpiece from the stack | |
| CN219917074U (zh) | 晶粒扩膜机 | |
| CN112864056A (zh) | 一种全自动扩膜机 | |
| JP2006042748A (ja) | 果実の自動皮剥き装置 | |
| WO2019220473A1 (en) | Folding device and folding procedure for automatic sewing machine | |
| CN105525455A (zh) | 一种拉链无缝安装设备的切料机构 | |
| US6497034B2 (en) | Eyelet and press machine and method for attachment of eyelets and method | |
| EP0841130A1 (en) | Fabric ply mat cutting method for facilitating removal of cut pattern piece stacks and machine for automatically removing the stacks from a cutting table | |
| CN213104002U (zh) | 冲片回收装置 | |
| CN205024434U (zh) | 缝纫机倒缝杆控制结构 | |
| CN212442508U (zh) | 一种光伏组件拆解回收系统 | |
| CN211092069U (zh) | 一种拷钮自动烫衬装置 | |
| CN211689790U (zh) | 一种市政绿化带改造用路牙石拆除设备 | |
| CN209975092U (zh) | 全自动双缝纫头穿扣车缝机 | |
| JP2003189836A (ja) | 果実のヘタ皮剥き回転刃およびこれを用いたヘタ皮剥き装置 | |
| CN207097786U (zh) | 全自动扩膜机 | |
| CN111974867A (zh) | 冲片回收装置 | |
| CN218540030U (zh) | 一种自动化缝边包边设备 | |
| CN104988672A (zh) | 缝纫机倒缝杆控制结构 | |
| CN214123744U (zh) | 一种温控器用触点铆接装置 | |
| US5865231A (en) | Method and apparatus for patching plywood |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication | ||
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Application publication date: 20210604 |