CN214175980U - 一种铁环扩膜机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开一种铁环扩膜机，包括：安装架和扩膜装置，扩膜装置设置在安装架上；扩膜装置包括上部扩膜架和下部扩膜架；下部扩膜架埋设在安装架上，上部扩膜架可翻折地设置在安装架上，上部扩膜架位于下部扩膜架的上方；置环座架设在下部扩膜架顶部，置环座供大铁环放置，撑膜座底部为第二升降气缸，第二升降气缸设置在下部扩膜架上，撑膜座顶部为撑开大铁环蓝膜的圆形座，置环座顶部和置环座中部均开设有相对应的下开口通道，下开口通道供撑膜座升降时通过，切膜刀环绕设置在置环座和下部扩膜架之间。

Description

一种铁环扩膜机

技术领域

本实用新型涉及晶圆加工技术领域，特别涉及一种铁环扩膜机。

背景技术

扩膜机应适用于半导体切割制程后扩张或拉伸工序。

在晶片的生产过程中，晶粒的检测和分选是一道十分重要的工序。为了达到对晶粒的更易于检测和分选，必须对晶圆的载体-胶膜进行扩张，使得贴在胶膜上的切割好的晶粒均匀扩张分离。扩膜机正是在这样的一个背景条件下出现了。但是如何使得胶膜更易于扩张，并且能够达到对胶膜均匀扩张的目的，无疑成为研制扩膜机的一个重要课题。现有传统工艺为DISCO铁环扩张于子母环上。

并且扩膜机的扩膜时间长，如何提高扩膜效率仍是重点问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种铁环扩膜机，克服上述缺陷，实现铁环扩膜的半自动化。

为达成上述目的，本实用新型的解决方案为：一种铁环扩膜机，包括：安装架和扩膜装置，扩膜装置设置在安装架上；

扩膜装置包括上部扩膜架和下部扩膜架；下部扩膜架埋设在安装架上，上部扩膜架可翻折地设置在安装架上，上部扩膜架位于下部扩膜架的上方；

上部扩膜架上安装有小铁环抓取机械手和压环圈，小铁环抓取机械手上部为第一升降气缸，第一升降气缸设置在上部扩膜架上，小铁环抓取机械手下部为抓取小铁环的机械手，上部扩膜架和压环圈中部均开设有相对应的上开口通道，上开口通道供小铁环抓取机械手升降时通过，压环圈升降在上部扩膜架的顶部，压环圈的开口处向下凸起一圈在扩膜加工时用于压住大铁环的凸沿，凸沿套设在所述上部扩膜架的开口中；

下部扩膜架上安装有置环座、撑膜座和切膜刀；置环座架设在下部扩膜架顶部，置环座供大铁环放置，撑膜座底部为第二升降气缸，第二升降气缸设置在下部扩膜架上，撑膜座顶部为撑开大铁环蓝膜的圆形座，置环座顶部和置环座中部均开设有相对应的下开口通道，下开口通道供撑膜座升降时通过，切膜刀环绕设置在置环座和下部扩膜架之间。

优选的，所述的上部扩膜架一侧铰接在安装架上，上部扩膜架另一侧上设置有与安装架扣合的勾扣。

优选的，所述安装架上还设置有控制板。

优选的，所述安装架后侧设置有开合驱动装置，开合驱动装置与上部扩膜架底部固定连接，开合驱动装置拽动上部扩膜架使上部扩膜架翻折打开。

采用上述方案后，本实用新型的有益效果在于：本案通过人工或者上料机械手将大铁环和小铁环分别设置在扩膜装置的小铁环抓取机械手和置环座上。此时大铁环上带有蓝膜，小铁环上未带有蓝膜，经扩膜装置扩膜后，大铁环上的蓝膜扩膜至小铁环上。从而实现扩膜的半自动化操作。

附图说明

图1是本实用新型的立体图一；

图2是本实用新型的立体图二；

图3是本实用新型扩膜装置的立体图；

图4是本实用新型扩膜装置的侧视图；

图5是本实用新型扩膜装置的工作状态剖视图一；

图6是本实用新型扩膜装置的工作状态剖视图二；

图7是本实用新型扩膜装置的工作状态剖视图三；

图8是本实用新型切膜刀的俯视图一；

图9是本实用新型切膜刀的俯视图二。

标号说明：安装架(1)、扩膜装置(2)、扩膜架(20)、下部扩膜架(26)、小铁环抓取机械手(21)、压环圈(25)、置环座(23)、撑膜座(24)、切膜刀(27)、勾扣(3)、控制板(4)、开合驱动装置(5)。

具体实施方式

以下结合附图及具体实施例对本实用新型做详细的说明。

本实用新型提供一种铁环扩膜机，包括：安装架1和扩膜装置2，扩膜装置2设置在安装架1上；

扩膜装置2包括上部扩膜架20和下部扩膜架26；下部扩膜架26埋设在安装架1上，上部扩膜架20可翻折地设置在安装架1上，上部扩膜架20位于下部扩膜架26的上方；

上部扩膜架20上安装有小铁环抓取机械手21和压环圈25，小铁环抓取机械手21上部为第一升降气缸，第一升降气缸设置在上部扩膜架20上，小铁环抓取机械手21下部为抓取小铁环的机械手，上部扩膜架20和压环圈25中部均开设有相对应的上开口通道，上开口通道供小铁环抓取机械手21升降时通过，压环圈25升降在上部扩膜架20的顶部，压环圈25的开口处向下凸起一圈在扩膜加工时用于压住大铁环的凸沿，凸沿套设在所述上部扩膜架20的开口中；

下部扩膜架26上安装有置环座23、撑膜座24和切膜刀27；置环座23架设在下部扩膜架26顶部，置环座23供大铁环放置，撑膜座24底部为第二升降气缸，第二升降气缸设置在下部扩膜架26上，撑膜座24顶部为撑开大铁环蓝膜的圆形座，置环座23顶部和置环座23中部均开设有相对应的下开口通道，下开口通道供撑膜座24升降时通过，切膜刀27环绕设置在置环座23和下部扩膜架26之间。本案通过人工或者上料机械手将大铁环和小铁环分别设置在扩膜装置2的小铁环抓取机械手21和置环座23上。此时大铁环上带有蓝膜，小铁环上未带有蓝膜，经扩膜装置2扩膜后，大铁环上的蓝膜扩膜至小铁环上。从而是实现扩膜的半自动化操作。

在本案中，撑膜座24负责加热并推动蓝膜。

所述的上部扩膜架20一侧铰接在安装架1上，上部扩膜架20另一侧上设置有与安装架1扣合的勾扣3。

所述安装架1上还设置有控制板4。控制板4设置有启动按钮、复位按钮、急停按钮、工作显示屏和加热盘温度灯。工作显示屏设置在控制板4前侧，启动按钮、复位按钮、急停按钮和加热盘温度灯环绕设置在工作显示屏旁。

所述安装架1后侧设置有开合驱动装置5，开合驱动装置5与上部扩膜架20底部固定连接，开合驱动装置5拽动上部扩膜架20使上部扩膜架20翻折打开。驱动装置5通过电机驱动或者气缸驱动，其是执行一个水平拽动上部扩膜架20使上部扩膜架20翻折，驱动装置5均涵盖了本领域技术人员常采用的技术手段。

工作原理：

首先，上料：按下控制板4上的启动按钮，驱动装置5工作并翻开上部扩膜架20，将将大铁环和小铁环分别设置在扩膜装置2的小铁环抓取机械手21和置环座23上。放好后，驱动装置5工作并合上上部扩膜架20，扣合上部扩膜架20上的勾扣3，将上部扩膜架20牢牢固定在安装架1上。此时大铁环上带有蓝膜，小铁环上未带有蓝膜。

接着，扩膜装置扩膜：置环座23升温，置环座23向上推动触碰到大铁环的蓝膜后缓慢向上推动，小铁环抓取机械手21带着小铁环向下移动，小铁环与大铁环的蓝膜相触碰后，置环座23切换运动模式并与小铁环抓取机械手21一起向下运动，在置环座23和小铁环抓取机械手21运动至大铁环下方一定距离后，环设在下部扩膜架26上的切膜刀27开始受缩，并将蓝膜切断。

最后，下料：置环座23和小铁环抓取机械手21复位，解锁勾扣3并通过驱动装置5翻开上部扩膜架20后，取下大铁环和小铁环。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，并非对本案设计的限制，凡依本案的设计关键所做的等同变化，均落入本案的保护范围。

Claims (4)

1.一种铁环扩膜机，其特征在于，包括：安装架(1)和扩膜装置(2)，扩膜装置(2)设置在安装架(1)上；

扩膜装置(2)包括上部扩膜架(20)和下部扩膜架(26)；下部扩膜架(26)埋设在安装架(1)上，上部扩膜架(20)可翻折地设置在安装架(1)上，上部扩膜架(20)位于下部扩膜架(26)的上方；

上部扩膜架(20)上安装有小铁环抓取机械手(21)和压环圈(25)，小铁环抓取机械手(21)上部为第一升降气缸，第一升降气缸设置在上部扩膜架(20)上，小铁环抓取机械手(21)下部为抓取小铁环的机械手，上部扩膜架(20)和压环圈(25)中部均开设有相对应的上开口通道，上开口通道供小铁环抓取机械手(21)升降时通过，压环圈(25)升降在上部扩膜架(20)的顶部，压环圈(25)的开口处向下凸起一圈在扩膜加工时用于压住大铁环的凸沿，凸沿套设在所述上部扩膜架(20)的开口中；

下部扩膜架(26)上安装有置环座(23)、撑膜座(24)和切膜刀(27)；置环座(23)架设在下部扩膜架(26)顶部，置环座(23)供大铁环放置，撑膜座(24)底部为第二升降气缸，第二升降气缸设置在下部扩膜架(26)上，撑膜座(24)顶部为撑开大铁环蓝膜的圆形座，置环座(23)顶部和置环座(23)中部均开设有相对应的下开口通道，下开口通道供撑膜座(24)升降时通过，切膜刀(27)环绕设置在置环座(23)和下部扩膜架(26)之间。

2.如权利要求1所述一种铁环扩膜机，其特征在于：所述的上部扩膜架(20)一侧铰接在安装架(1)上，上部扩膜架(20)另一侧上设置有与安装架(1)扣合的勾扣(3)。

3.如权利要求1所述一种铁环扩膜机，其特征在于：所述安装架(1)上还设置有控制板(4)。

4.如权利要求1所述一种铁环扩膜机，其特征在于：所述安装架(1)后侧设置有开合驱动装置(5)，开合驱动装置(5)与上部扩膜架(20)底部固定连接，开合驱动装置(5)拽动上部扩膜架(20)使上部扩膜架(20)翻折打开。

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