CN206477020U - 一种用于圆筒靶材绑定的加工装置 - Google Patents
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Abstract
一种用于圆筒靶材绑定的加工装置;包括底座、沿底座长度方向平行设置的两个辊轮、设置在所述辊轮两端的升降夹具以及电控装置;两个所述辊轮固设在所述底座的中部,且两个所述辊轮之间形成供放置圆筒靶材的放置位;所述辊轮与所述电控装置电连接,所述电控装置驱动所述辊轮旋转;所述升降夹具包括支撑弧块、升降支架及夹持轮;所述支撑弧块的下方还设有滑轮,所述底座上对应所述滑轮设有匹配的滑轨;所述升降夹具也与所述电控装置电连接,所述支撑弧块上还设有注铟口。本实用新型结构简单,安全可靠,省时省力,降低了工人的劳动强度,提高了产品质量。
Description
技术领域
本实用新型属于机械设备技术领域,涉及一种用于圆筒靶材绑定的加工装置。
背景技术
圆筒靶材绑定,是将直径较大的圆筒状靶材套在直径相对较小的背板上,并在两者之间注入融合的金属铟,待冷却后,使得圆筒靶材和背板通过凝固的铟连接成为一体,达到绑定的目的。圆筒靶材与平板靶材的绑定不同,要使铟在一个圆弧形的区域内均匀的、充分的和靶材、背管之间相接触,达到绑定的目的,同时,为保证铟在间隙内是100%存在的,绑定进行到最后需要将套着背管的靶材竖起,铟在重力作用下向下(下端用治具堵死),不足的铟由上端补充进去。通常,都是单纯靠人工操作,不仅费时费力,还不安全,也不能保证产品的质量。
因此,如何解决上述问题,是本领域技术人员要研究的内容。
发明内容
为克服上述现有技术中的不足,本实用新型目的在于提供一种用于圆筒靶材绑定的加工装置。
为实现上述目的及其他相关目的,本实用新型提供一种用于圆筒靶材绑定的加工装置;包括底座、沿底座长度方向平行设置的两个辊轮、设置在所述辊轮两端的升降夹具以及电控装置;两个所述辊轮固设在所述底座的中部,且两个所述辊轮之间形成供放置圆筒靶材的放置位;所述辊轮与所述电控装置电连接,所述电控装置驱动所述辊轮旋转;所述升降夹具包括支撑弧块、升降支架及夹持轮;所述支撑弧块与所述圆筒靶材的弧度匹配;所述升降支架的一端与所述底座固定连接,其另一端与所述支撑弧块固定连接;所述夹持轮设置在所述支撑弧块的两侧;所述支撑弧块的下方还设有滑轮,所述底座上对应所述滑轮设有匹配的滑轨;所述升降夹具也与所述电控装置电连接,所述电控装置驱动所述升降夹具在竖直方向上升降;并经所述滑轮与所述滑轨配合在所述底座上滑动;所述支撑弧块上还设有注铟口。
上述技术方案中,相关内容解释如下:
1、上述方案中,所述辊轮的外缘面上包覆设有耐热橡胶层。
2、上述方案中,所述注铟口设置在所述支撑弧块的一侧上。
3、上述方案中,所述升降夹具为两套,其中一者沿竖直方向升起时,另一者沿底座上的滑轨做水平滑动,以此使得所述圆筒靶材呈锐角倾斜。
4、上述方案中,所述圆筒靶材呈45°倾斜。
本实用新型的工作原理:将辊轮接通电源,辊轮旋转,将圆筒靶材(内有背管)放置在两根辊轮形成的放位置上,圆筒靶材在辊轮的带动下可按照一定的速率旋转,圆筒靶材的两端架设在升降夹具上,升降夹具的支撑弧块将圆筒靶材内部有铟的间隙部堵死,并使得铟不能外流。通过转动同时通过在支撑弧块上开设的注铟口不断的向圆筒靶材内部注入铟,使得铟可以均匀的充满在圆筒靶材和背管之间的间隙里。当铟充满到一定的量时,需要将圆筒靶材竖起来时,此时,电控装置驱动一侧的升降夹具升起,另一侧的升降夹具沿底座上的滑轨滑动,升降夹具可将重达200KG的靶材顶起至45°角倾斜,极大的方便了后续加工,在一侧升降夹具将圆筒靶材一端顶起时,另一侧的升降夹具的支撑弧块则始终将圆筒靶材另一端的底部间隙封死,防止铟的流出。
由于上述技术方案运用,本实用新型与现有技术相比具有的优点是:
本实用新型结构简单,安全可靠,省时省力,降低了工人的劳动强度,提高了产品质量。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图;
图2为本实用新型工作状态示意图一;
图3位本实用新型工作状态示意图二。
具体实施方式
以下由特定的具体实施例说明本实用新型的实施方式,熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点及功效。
请参阅图1至图3。须知,本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等,均仅用以配合说明书所揭示的内容,以供熟悉此技术的人士了解与阅读,并非用以限定本实用新型可实施的限定条件,故不具技术上的实质意义,任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整,在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下,均应仍落在本实用新型所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。同时,本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语,亦仅为便于叙述的明了,而非用以限定本实用新型可实施的范围,其相对关系的改变或调整,在无实质变更技术内容下,当亦视为本实用新型可实施的范畴。
如图1至图3所示,一种用于圆筒靶材绑定的加工装置;包括底座1、沿底座1长度方向平行设置的两个辊轮2、设置在所述辊轮2两端的升降夹具以及电控装置3;两个所述辊轮2固设在所述底座1的中部,且两个所述辊轮2之间形成供放置圆筒靶材4的放置位5;所述辊轮2与所述电控装置3电连接,所述电控装置3驱动所述辊轮2旋转;所述升降夹具包括支撑弧块6、升降支架7及夹持轮8;所述支撑弧块6与所述圆筒靶材4的弧度匹配;所述升降支架7的一端与所述底座1固定连接,其另一端与所述支撑弧块6固定连接;所述夹持轮8设置在所述支撑弧块6的两侧;所述支撑弧块6的下方还设有滑轮9,所述底座1上对应所述滑轮9设有匹配的滑轨10;所述升降夹具也与所述电控装置3电连接,所述电控装置3驱动所述升降夹具在竖直方向上升降;并经所述滑轮9与所述滑轨10配合在所述底座1上滑动;所述支撑弧块6上还设有注铟口(图中未示出)。所述注铟口设置在所述支撑弧块6的一侧上。
所述辊轮2的外缘面上包覆设有耐热橡胶层(图中未示出)。
所述升降夹具为两套,其中一者沿竖直方向升起时,另一者沿底座1上的滑轨10做水平滑动,以此使得所述圆筒靶材4呈锐角倾斜。所述圆筒靶材4可呈45°倾斜。
工作时,将辊轮接通电源,辊轮旋转,将圆筒靶材(内有背管)放置在两根辊轮形成的放位置上,圆筒靶材在辊轮的带动下可按照一定的速率旋转,圆筒靶材的两端架设在升降夹具上,升降夹具的支撑弧块将圆筒靶材内部有铟的间隙部堵死,并使得铟不能外流。通过转动同时通过在支撑弧块上开设的注铟口不断的向圆筒靶材内部注入铟,使得铟可以均匀的充满在圆筒靶材和背管之间的间隙里。当铟充满到一定的量时,需要将圆筒靶材竖起来时,此时,电控装置驱动一侧的升降夹具升起,另一侧的升降夹具沿底座上的滑轨滑动,升降夹具可将重达200KG的靶材顶起至45°角倾斜,极大的方便了后续加工,在一侧升降夹具将圆筒靶材一端顶起时,另一侧的升降夹具的支撑弧块则始终将圆筒靶材另一端的底部间隙封死,防止铟的流出。
本方案结构简单,安全可靠,省时省力,降低了工人的劳动强度,提高了产品质量。
上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效,而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下,对上述实施例进行修饰或改变。因此,举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变,仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。
Claims (5)
1.一种用于圆筒靶材绑定的加工装置;其特征在于:包括底座、沿底座长度方向平行设置的两个辊轮、设置在所述辊轮两端的升降夹具以及电控装置;两个所述辊轮固设在所述底座的中部,且两个所述辊轮之间形成供放置圆筒靶材的放置位;所述辊轮与所述电控装置电连接,所述电控装置驱动所述辊轮旋转;所述升降夹具包括支撑弧块、升降支架及夹持轮;所述支撑弧块与所述圆筒靶材的弧度匹配;所述升降支架的一端与所述底座固定连接,其另一端与所述支撑弧块固定连接;所述夹持轮设置在所述支撑弧块的两侧;所述支撑弧块的下方还设有滑轮,所述底座上对应所述滑轮设有匹配的滑轨;所述升降夹具也与所述电控装置电连接,所述电控装置驱动所述升降夹具在竖直方向上升降;并经所述滑轮与所述滑轨配合在所述底座上滑动;所述支撑弧块上还设有注铟口。
2.根据权利要求 1所述的用于圆筒靶材绑定的加工装置,其特征在于:所述辊轮的外缘面上包覆设有耐热橡胶层。
3.根据权利要求 1所述的用于圆筒靶材绑定的加工装置,其特征在于:所述注铟口设置在所述支撑弧块的一侧上。
4.根据权利要求 1所述的用于圆筒靶材绑定的加工装置,其特征在于:所述升降夹具为两套,其中一者沿竖直方向升起时,另一者沿底座上的滑轨做水平滑动,以此使得所述圆筒靶材呈锐角倾斜。
5.根据权利要求4所述的用于圆筒靶材绑定的加工装置,其特征在于:所述圆筒靶材呈45°倾斜。
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CN201720086514.2U CN206477020U (zh) | 2017-01-19 | 2017-01-19 | 一种用于圆筒靶材绑定的加工装置 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN107892014A (zh) * | 2017-09-28 | 2018-04-10 | 柳州煜华科技有限公司 | 一种旋转靶材的包装方法及包装组件 |
CN113135529A (zh) * | 2021-04-30 | 2021-07-20 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 靶材冷却水排空装置 |
CN113278936A (zh) * | 2021-05-12 | 2021-08-20 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 一种磁控溅镀设备 |
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