CN206362660U - 一种材料辐射致放气的在线测试装置 - Google Patents
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CN201621345502.9U CN206362660U (zh) | 2016-12-08 | 2016-12-08 | 一种材料辐射致放气的在线测试装置 |
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CN108279277A (zh) * | 2018-02-11 | 2018-07-13 | 西北大学 | 一种检测辐射气体产物的取样装置及其检测方法 |
CN111665292A (zh) * | 2020-05-13 | 2020-09-15 | 中国科学院微电子研究所 | 高压气体采样试验装置及采样试验方法 |
CN113607519A (zh) * | 2021-08-02 | 2021-11-05 | 合肥工业大学 | 一种基于激光破坏样品的残余气体分析装置及方法 |
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