CN206270647U - 掩膜结构 - Google Patents
掩膜结构 Download PDFInfo
- Publication number
- CN206270647U CN206270647U CN201621265539.0U CN201621265539U CN206270647U CN 206270647 U CN206270647 U CN 206270647U CN 201621265539 U CN201621265539 U CN 201621265539U CN 206270647 U CN206270647 U CN 206270647U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- support frame
- framework
- mask plate
- mask
- evaporation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims abstract description 31
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims abstract description 31
- 125000004122 cyclic group Chemical group 0.000 claims description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 9
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 230000008030 elimination Effects 0.000 description 1
- 238000003379 elimination reaction Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 238000010025 steaming Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
一种掩膜结构，包括框架、支撑架及掩膜板。框架具有中空结构，框架上开设有安装口。支撑架的侧边边缘与安装口的内侧壁焊接，支撑架容置于框架内，支撑架上开设有蒸镀避位孔。掩膜板分别贴附在框架及支撑架上，掩膜板设置有蒸镀图案区，蒸镀图案区与蒸镀避位孔对齐。上述掩膜结构的支撑架的侧边边缘与安装口的内侧壁焊接，支撑架容置于框架内，相对于传统的多支撑条和多遮挡条需要反复张拉焊接的支撑架，支撑架的制作工序较为简单，且支撑架的结构强度更高。此外，由于支撑架的侧边边缘与安装口的内侧壁焊接，能够减少甚至消除支撑架与框架连接处的凹凸结构，更利于贴附掩膜板，能够减少掩膜板和支撑架的翘起问题。
Description
技术领域
本实用新型涉及掩膜板技术领域，特别是涉及一种掩膜结构。
背景技术
目前，掩模板的传统制作方式通常首先在框架上面焊接遮挡条，其次在框架上面焊接支撑条，最后将高精度掩模板焊接在框架上，此时支撑条和遮挡条分别起到支撑高精度掩模板和遮挡高精度掩模板之间缝隙的作用。
然而，传统的制作方式通常存在的问题有以下两点：第一，张拉焊接支撑条和张拉遮挡条的制作工序多且工艺比较复杂繁琐，会明显增加生产成本和生产时间；第二，传统制作方法制作的高精度掩模板，因为高精度掩模板与遮挡条之间存在支撑条，会使得高精度掩模板与遮挡条之间存在缝隙，在蒸镀腔体中玻璃下压与高精度掩模板贴合时，会使得高精度掩模板与遮挡条之前存在的缝隙完全贴合，但遮挡条与支撑条交界处因为存在一定厚度支撑条，所以在玻璃下压时会使得遮挡条产生一定翘起，此翘起会最终影响产品良率。
实用新型内容
基于此，有必要提供一种制作工序较简单便捷以及能够减少翘起问题的掩膜结构。
一种掩膜结构，包括：
框架，所述框架具有中空结构，所述框架上开设有安装口；
支撑架，所述支撑架的侧边边缘与所述安装口的内侧壁焊接，所述支撑架容置于所述框架内，所述支撑架上开设有蒸镀避位孔；及
掩膜板，所述掩膜板分别贴附在所述框架及所述支撑架上，所述掩膜板设置有蒸镀图案区，所述蒸镀图案区与所述蒸镀避位孔对齐。
在其中一个实施例中，所述支撑架包括多个支撑片体，各所述支撑片体的端部分别与所述安装口的内侧壁焊接，相邻两个所述支撑片体的侧边边缘紧密接触。
在其中一个实施例中，所述掩膜结构设置有多个所述掩膜板，每一所述掩膜板一一对应设置于一所述支撑片体上；
每一所述支撑片体分别开设有蒸镀避位孔，每一所述掩膜板分别设置有蒸镀图案区，每一所述蒸镀图案区一一对应与一所述蒸镀避位孔对齐。
在其中一个实施例中，相邻两个所述掩膜板之间的距离相等。
在其中一个实施例中，所述支撑片体具有长方体结构。
在其中一个实施例中，所述框架上与所述掩膜板相贴合的一侧面以及所述支撑架上与所述掩膜板相贴合的一侧面平齐设置。
在其中一个实施例中，所述支撑架的厚度为0.03mm-1mm。
在其中一个实施例中，所述框架具有中空方形环状结构。
在其中一个实施例中，所述支撑架具有长方体结构。
在其中一个实施例中，所述掩膜板具有长方体结构。
上述掩膜结构的支撑架的侧边边缘与安装口的内侧壁焊接，支撑架容置于框架内，这样，相对于传统的多支撑条和多遮挡条需要反复张拉焊接的支撑架，支撑架的制作工序较为简单，且支撑架的结构强度更高。此外，由于支撑架的侧边边缘与安装口的内侧壁焊接，能够减少甚至消除支撑架与框架连接处的凹凸结构，即支撑架与框架的连接位置处的结构更加平整，更利于贴附掩膜板，能够减少掩膜板和支撑架的翘起问题。
附图说明
图1为本实用新型一实施方式的掩膜结构的结构示意图；
图2为图1所示的掩膜结构的另一角度的结构示意图；
图3为图1所示的掩膜结构的又一角度的结构示意图；
图4为图3沿A-A线的剖示图；
图5为图4在B处的放大图。
具体实施方式
为了便于理解本实用新型，下面将参照相关附图对本实用新型进行更全面的描述。附图中给出了本实用新型的较佳实施方式。但是，本实用新型可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施方式。相反地，提供这些实施方式的目的是使对本实用新型的公开内容理解的更加透彻全面。
需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。
除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
请参阅图1，掩膜结构10包括框架100、支撑架200及掩膜板300，支撑架200容置于框架100内，掩膜板300分别与框架100及支撑架200连接，框架100及支撑架200用于共同支撑固定掩膜板300。
请参阅图2，框架100具有中空结构，框架100上开设有安装口110，框架100用于起到整体支撑作用。例如，所述框架具有中空方形环状结构。
请一并参阅图3至图5，支撑架200的侧边边缘与安装口110的内侧壁焊接，支撑架200容置于框架100内，也就是说，当需要安装所述支撑架时，直接将所述支撑架张拉整齐，之后将支撑架的边缘焊接在所述框架上的所述安装口的边缘即可，这样，相对于传统的多支撑条和多遮挡条需要反复张拉焊接的支撑架，支撑架200的制作工序较为简单，且支撑架200的结构强度更高。此外，由于支撑架200的侧边边缘与安装口110的内侧壁焊接，能够减少甚至消除所述支撑架与所述框架连接处的凹凸结构，即所述支撑架与所述框架的连接位置处的结构更加平整，更利于贴附所述掩膜板，能够减少所述掩膜板和所述支撑架的翘起问题。
例如，所述支撑架包括多个支撑片体，各所述支撑片体的端部分别与所述安装口的内侧壁焊接，相邻两个所述支撑片体的侧边边缘紧密接触；又如，所述支撑片体具有长方体结构；又如，所述支撑架的厚度为0.03mm-1mm；又如，所述支撑架具有长方体结构，这样，有利于进一步提高整体结构的稳定性。
请参阅图5，支撑架200上开设有蒸镀避位孔210。请一并参阅图1，掩膜板300分别贴附在框架100及支撑架200上，掩膜板300设置有蒸镀图案区310，蒸镀图案区310与蒸镀避位孔210对齐，如此，能够使蒸镀气体顺序地通过所述开口、所述蒸镀避位孔和所述蒸镀图案区，以更好地在基板上形成蒸镀图案。
例如，所述掩膜结构设置有多个所述掩膜板，每一所述掩膜板一一对应设置于一所述支撑片体上；每一所述支撑片体分别开设有蒸镀避位孔，每一所述掩膜板分别设置有蒸镀图案区，每一所述蒸镀图案区一一对应与一所述蒸镀避位孔对齐；又如，相邻两个所述掩膜板之间的距离相等；又如，所述掩膜板具有长方体结构。
需要说明的是，所述框架上与所述掩膜板相贴合的一侧面以及所述支撑架上与所述掩膜板相贴合的一侧面平齐设置，这样，更够消除所述支撑架与所述框架连接过渡位置处的凹凸不平的结构，即能够使所述支撑架与所述框架连接过渡位置处更加平整，当所述掩膜板贴附在所述掩膜板和所述框架上时，能够消除翘起问题。
上述掩膜结构10的支撑架200的侧边边缘与安装口110的内侧壁焊接，支撑架200容置于框架100内，这样，相对于传统的多支撑条和多遮挡条需要反复张拉焊接的支撑架，支撑架200的制作工序较为简单，且支撑架200的结构强度更高。此外，由于支撑架200的侧边边缘与安装口110的内侧壁焊接，能够减少甚至消除所述支撑架与所述框架连接处的凹凸结构，即所述支撑架与所述框架的连接位置处的结构更加平整，更利于贴附所述掩膜板，能够减少所述掩膜板和所述支撑架的翘起问题。
以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。
Claims (10)
1.一种掩膜结构，其特征在于，包括：
框架，所述框架具有中空结构，所述框架上开设有安装口；
支撑架，所述支撑架的侧边边缘与所述安装口的内侧壁焊接，所述支撑架容置于所述框架内，所述支撑架上开设有蒸镀避位孔；及
掩膜板，所述掩膜板分别贴附在所述框架及所述支撑架上，所述掩膜板设置有蒸镀图案区，所述蒸镀图案区与所述蒸镀避位孔对齐。
2.根据权利要求1所述的掩膜结构，其特征在于，所述支撑架包括多个支撑片体，各所述支撑片体的端部分别与所述安装口的内侧壁焊接，相邻两个所述支撑片体的侧边边缘紧密接触。
3.根据权利要求2所述的掩膜结构，其特征在于，所述掩膜结构设置有多个所述掩膜板，每一所述掩膜板一一对应设置于一所述支撑片体上；
每一所述支撑片体分别开设有蒸镀避位孔，每一所述掩膜板分别设置有蒸镀图案区，每一所述蒸镀图案区一一对应与一所述蒸镀避位孔对齐。
4.根据权利要求3所述的掩膜结构，其特征在于，相邻两个所述掩膜板之间的距离相等。
5.根据权利要求2所述的掩膜结构，其特征在于，所述支撑片体具有长方体结构。
6.根据权利要求1所述的掩膜结构，其特征在于，所述框架上与所述掩膜板相贴合的一侧面以及所述支撑架上与所述掩膜板相贴合的一侧面平齐设置。
7.根据权利要求1所述的掩膜结构，其特征在于，所述支撑架的厚度为0.03mm-1mm。
8.根据权利要求1所述的掩膜结构，其特征在于，所述框架具有中空方形环状结构。
9.根据权利要求1所述的掩膜结构，其特征在于，所述支撑架具有长方体结构。
10.根据权利要求1所述的掩膜结构，其特征在于，所述掩膜板具有长方体结构。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201621265539.0U CN206270647U (zh) | 2016-11-23 | 2016-11-23 | 掩膜结构 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201621265539.0U CN206270647U (zh) | 2016-11-23 | 2016-11-23 | 掩膜结构 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN206270647U true CN206270647U (zh) | 2017-06-20 |
Family
ID=59040306
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201621265539.0U Active CN206270647U (zh) | 2016-11-23 | 2016-11-23 | 掩膜结构 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN206270647U (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107815642A (zh) * | 2017-12-13 | 2018-03-20 | 唐军 | 高精密掩膜版 |
| CN108823527A (zh) * | 2018-06-14 | 2018-11-16 | 京东方科技集团股份有限公司 | 掩膜板框架组件和掩膜板模组 |
-
2016
- 2016-11-23 CN CN201621265539.0U patent/CN206270647U/zh active Active
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107815642A (zh) * | 2017-12-13 | 2018-03-20 | 唐军 | 高精密掩膜版 |
| CN108823527A (zh) * | 2018-06-14 | 2018-11-16 | 京东方科技集团股份有限公司 | 掩膜板框架组件和掩膜板模组 |
| CN108823527B (zh) * | 2018-06-14 | 2020-05-08 | 京东方科技集团股份有限公司 | 掩膜板框架组件和掩膜板模组 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN206270647U (zh) | 掩膜结构 | |
| CN103331551B (zh) | 烤箱炉体焊接机器人双工位工作站 | |
| CN208854036U (zh) | 一种防爆接线箱工装夹具 | |
| CN107904553A (zh) | 掩模板结构 | |
| CN205661790U (zh) | 一种用于运输和存放幕墙单元板块的货架 | |
| CN205520246U (zh) | 一种机柜类产品焊接组装防呆治具 | |
| CN206266698U (zh) | 掩膜组件 | |
| CN203418261U (zh) | 煤粉锁斗内锥与法兰盘定位用工装 | |
| CN108504574A (zh) | 培养瓶 | |
| CN206254019U (zh) | 一种弧边抛光机通用夹具 | |
| CN104947060A (zh) | 一种基片架 | |
| CN211136018U (zh) | 一种钢圈自动焊机调节装置 | |
| CN206888265U (zh) | 一种装配式厂房墙板的快速安装结构 | |
| CN202989271U (zh) | 一种制作大面积蒸镀用掩模板的辅助治具 | |
| CN105290688B (zh) | 一种用于社区服务的储物柜的模块化组装固定装置 | |
| CN208896764U (zh) | 一种可折叠的美术设计用写生板 | |
| CN206186054U (zh) | 可调尺寸的花盆模具 | |
| CN207205660U (zh) | 一种焊接固定机构 | |
| CN204657799U (zh) | 桌板框架焊接装置 | |
| CN102974766B (zh) | 非均质阀体型芯芯骨 | |
| CN107082357B (zh) | 多支点悬挂起重机悬挂件组装模具及其应用方法 | |
| CN111128816A (zh) | 一种光刻用多功能石英载体及其加工工艺 | |
| CN204248724U (zh) | 一种大棱镜返修工装 | |
| CN206345793U (zh) | 可调齿条组件及蚀刻篮具 | |
| CN210001917U (zh) | 一种改善光学镀膜行星锅均匀性的器具 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |