CN206116363U - 一种晶舟 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种晶舟，包括：一晶舟本体，于所述晶舟本体上设置有多个平行排列的卡槽，所述卡槽用于承载晶圆并隔离各个晶圆；以及一安装于所述晶舟本体上的伸缩装置，通过所述伸缩装置的升降带动所述晶舟本体沿卡槽排列方向的一端升降。在本实用新型提供的晶舟中，通过所述伸缩装置可对晶舟的放置方式进行调整，使所述晶舟不仅可水平放置也可倾斜放置，以满足不同的工艺需求。

Description

一种晶舟

技术领域

本实用新型半导体制造技术领域，特别涉及一种晶舟。

背景技术

目前，在对晶圆的加工过程中，通常需要将晶圆放置于晶舟中以实现对晶圆的传送或加工。

图1为现有的一种晶舟的结构示意图，如图1所示，所述晶舟中设置有多个平行排列的卡槽10，其中，各个卡槽10的宽度以及相卡槽10的间距均相同。在晶圆的传输或加工的过程中，承载有晶圆的晶舟通常需水平放置于承载台上。

然而，这种晶圆的存放方式，在晶圆的传送或加工的过程中却常常会引发晶圆的边缘区域产生缺陷的问题。例如，在对晶圆进行清洗的过程中，由于清洗液的冲刷进而会使位于晶舟的晶圆产生晃动，并且，又由于晶舟中的卡槽10宽度较晶圆20的厚度大，因此位于卡槽10中的晶圆20在产生晃动的同时，各个相邻晶圆20之间的距离也会存在差异，其中，间距较小的相邻两个晶圆20之间，其边缘区域极易产生碰撞以及摩擦，进而使晶圆20的边缘区域产生缺陷。同时，由于晶圆20在卡槽10中极易发生晃动，因此在晃动过程中，晶圆20与卡槽10之间也会产生较大的摩擦，进而使晶圆产生更多的缺陷。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶舟，以解决现有的晶舟在承载晶圆以进行晶圆的传送或加工时，极易使晶圆的边缘区域产生缺陷的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种晶舟，包括：一晶舟本体，于所述晶舟本体上设置有多个平行排列的卡槽，所述卡槽用于承载晶圆并隔离各个晶圆；一伸缩装置，所述伸缩装置安装于所述晶舟本体上，通过所述伸缩装置的升降带动所述晶舟本体沿卡槽排列方向的一端升降。

可选的，所述伸缩装置安装于所述晶舟本体沿卡槽排列方向的一端上，所述晶圆以其形成有图形的一面朝向所述伸缩装置放置于所述晶舟中。

可选的，所述伸缩装置包括：一支撑部件以及一控制所述支撑部件上升或下降的驱动部件，当所述支撑部件下降时，所述支撑部件与承载晶舟的台面接触以将所述晶舟本体沿卡槽排列方向的一端抬高。

可选的，所述驱动部件包括：一齿轮以及与所述齿轮固定嵌合的转盘，所述转盘在其旋转的圆周表面上设置有至少一个凹陷，所述支撑部件位于所述转盘的下方并与所述圆周表面接触。

可选的，所述转盘的凹陷与所述转盘的圆周表面为弧形连接。

可选的，所述支撑部件的顶部为圆弧形。

可选的，所述驱动部件包括一齿轮，所述支撑部件上设置有多个凹槽，所述支撑部件上的凹槽与所述齿轮咬合，并通过所述齿轮的转动带动所述支撑部件的升降。

可选的，所述伸缩装置还包括一控制所述驱动部件的控制部件，所述控制部件包括一卡条，所述卡条与所述齿轮咬合，通过移动所述卡条的位置使所述齿轮转动。

可选的，所述卡条为条状结构。

可选的，所述控制部件还包括一按压块，所述按压块的一端延伸至所述卡条的一端，通过按压所述按压块使所卡条上升或下降。

可选的，所述控制部件还包括一弹性组件，所述弹性组件位于所述卡条远离所述按压块的一端，所述弹性组件用于向所述卡条施加一朝向所述按压块方向的作用力。

可选的，所述伸缩装置还包括一控制所述驱动部件的控制部件，所述控制部件包括一旋转杆，所述旋转杆的一端为旋钮，所述旋转杆的另一端为齿状结构，所述齿状结构与所述齿轮咬合，通过转动所述旋钮以使所述齿轮转动。

可选的，苏搜晶舟本体包括：第一挡板、第二挡板、第一承载件和第二承载件，所述第一挡板和所述第二挡板相对设置，所述第一承载件和所述第二承载件相对设置，所述第一挡板和第二挡板分别与所述第一承载件和第二承载件的两端连接。

可选的，所述第一承载件和所述第二承载件上均设置有多个一一对应的凹槽，通过所述第一承载件和所述第二承载件上一一对应的两个凹槽以构成所述卡槽。

可选的，所述伸缩装置设置于所述第一挡板或第二挡板上。

可选的，所述晶舟还包括设置于所述晶舟本体上的抓取部件，通过所述抓取部件以对所述晶舟进行取放。

可选的，所述抓取部件为一块状结构。

可选的，所述抓取部件为一中空的块状结构，部分所述伸缩装置位于所述中空的块状结构中。

在本实用新型提供的晶舟中，由于在晶舟本体沿卡槽的排列方向的一端上设置有一伸缩装置，通过所述伸缩装置可对晶舟的放置方式进行调整，使所述晶舟不仅可水平放置也可倾斜放置。当承载有晶圆的晶舟处于平稳状态时，则可使所述晶舟水平放置；而当承载有晶圆的晶舟处于不平稳的状态时，可使所述晶舟倾斜放置，此时由于卡槽侧壁的辅助支撑，使晶圆的放置更为稳固，有效改善了晶圆发生晃动的问题，并且可使晶舟中的晶圆均为等间距均匀分布，避免了相邻晶圆之间发生碰撞或摩擦，从而可大大减小晶圆的边缘区域产生缺陷的概率。

附图说明

图1为现有的一种晶舟的结构示意图；

图2为本实用新型实施例一中晶舟的结构示意图；

图3为本实用新型实施例一中晶舟倾斜放置的结构示意图；

图4为本实用新型实施例一中晶舟的伸缩装置的结构示意图；

图5为采用本实用新型实施例一中的晶舟承载晶圆以进行清洗的步骤示意图；

图6为本实用新型实施例二中晶舟的结构示意图；

图7为本实用新型实施例二中晶舟的伸缩装置的结构示意图。

具体实施方式

如背景技术所述，采用现有的晶舟承载晶圆以进行传送或加工的过程中，所述晶圆极易发生晃动，从而使相邻的晶圆之间会发生碰撞及摩擦，同时，晶圆与晶舟中的卡槽之间也会存在摩擦，进而导致晶圆的边缘区域产生磨损。尤其是，当晶圆的正面(形成有图形的一面)与卡槽或与相邻的晶圆之间发生摩擦时，其所产生的缺陷将会对后续的晶圆加工产生更大的影响。

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种晶舟，包括：

一晶舟本体，于所述晶舟本体上设置有多个平行排列的卡槽，所述卡槽用于承载晶圆并分隔各个晶圆；

一伸缩装置，所述伸缩装置安装于所述晶舟本体上，通过所述伸缩装置的升降带动所述晶舟本体沿卡槽排列方向的一端升降。

本实用型新提供的晶舟中，由于在晶舟本体上安装有一伸缩装置，通过所述伸缩装置可将所述晶舟本体沿卡槽排列方向的一端抬高，使所述晶舟本体会以一定的角度倾斜放置，从而可使位于晶舟本体中的晶圆均朝向一侧倾斜并倚靠于卡槽的侧壁上，进而可使各个晶圆等间距均匀的排列(即，相邻晶圆的间距与相邻卡槽的间距相同)。如此，一方面使晶舟中晶圆等间距排列，避免相邻晶圆之间发生碰撞及摩擦；另一方面，所述卡槽的侧壁同时还可起到辅助支撑的作用，进而使晶圆的放置更为稳固，改善晶圆发生晃动的问题。即，本实用新型不仅可实现晶舟的水平放置，还可根据实际状况使晶舟倾斜放置，以满足不同的工艺需求，减少晶圆产生缺陷的概率。

以下结合附图和具体实施例对本实用新型提出的晶舟作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。

图2为本实用新型实施例一中的晶舟的结构示意图，如图2所示，所述晶舟包括：

一晶舟本体，于所述晶舟本体上设置有多个平行排列的卡槽110，所述卡槽110用于承载晶圆并分隔各个晶圆；

一伸缩装置200，所述伸缩装置200安装于所述晶舟本体上，通过所述伸缩装置200的升降带动所述晶舟本体沿卡槽排列方向的一端升降。

图3为本实用新型实施例一中晶舟倾斜放置的结构示意图，如图3所示，所述卡槽110通过卡槽侧壁111使相邻两个晶圆20之间相互隔离，当所述晶舟本体的一端被抬高时，从而使所述晶舟本体以一定的角度θ倾斜，其中，倾斜角度θ优选为1°～30°。此时，位于所述晶舟本体中的晶圆20相应的朝同一方向倾斜并倚靠于所述卡槽110的卡槽侧壁111上。即，通过所述伸缩装置200将用于放置晶圆的晶舟本体的一端抬高，从而使各个晶圆20等间距均匀的排列，避免相邻晶圆20之间发生碰撞及摩擦的问题。并且，当所述晶舟本体的一端被抬高之后，所述卡槽侧壁111不仅可使各个晶圆20之间相互隔离，同时还对晶圆20起到辅助支撑的作用，从而使位于晶舟中的晶圆20更为稳固。

本实施例中，所述伸缩装置200安装于所述晶舟本体沿卡槽排列方向的一端上。进一步的，所述晶圆20以其形成有图形的一面(正面)21朝向所述伸缩装置放置于所述晶舟中，即，使晶圆20上无图形的一面(背面)与卡槽110的卡槽侧壁111接触，从而避免了晶圆20的正面21与卡槽侧壁111产生摩擦而损坏晶圆20上所形成的图形，进一步减小对晶圆造成的损伤。

图4为本实用新型实施例一中晶舟的伸缩装置的结构示意图，结合图3和图4所示，所述伸缩装置200包括一支撑部件210以及一控制所述支撑部件210上升或下降的驱动部件220，当所述支撑部件210下降时，所述支撑部件210与承载所述晶舟的台面接触，以将所述晶舟本体沿卡槽排列方向的一端抬高。进一步的，所述伸缩装置200还包括一套件240，所述支撑部件210和所述驱动部件220可均安装于所述套件240上。优选的，所述套件240套设于所述支撑部件210和所述驱动部件220上，从而可对支撑部件210、驱动部件220或其他相关部件进行保护，并进一步可通过所述套件240使所述伸缩装置200安装于所述晶舟本体上。

本实施例中，所述驱动部件220包括一齿轮221以及一与所述齿轮221固定嵌合的转盘222，所述转盘222在其旋转的圆周表面上设置有至少一个凹陷222a，所述支撑部件210的顶部位于所述凹陷222a内或所述支撑部件210与所述圆周表面接触。具体的说，当所述齿轮221发生转动时，带动所述转盘222发生转动，进而会使支撑部件210与所述转盘222的接触位置产生变化。若所述支撑部件210的顶部位于所述凹陷222a中，则所述支撑部件210不与承载晶舟的台面接触，此时所述晶舟为水平放置；若所述支撑部件210的顶部由所述凹陷222a转移至所述转盘222的圆周表面上时，则所述支撑部件210向下移动并与承载晶舟的台面接触，此时所述晶舟的晶舟本体的一端被抬高，所述晶舟以一定的角度倾斜放置。优选的，所述转盘222的凹陷222a与所述转盘222的圆周表面之间弧形连接，即，所述凹陷222a与所述圆周表面的连接更为平滑，以使所述支撑部件210与转盘222之间的相对移动更为顺畅。类似的，所述支撑部件210的顶部优选为圆弧形。

继续参考图4所示，所述伸缩装置200还包括一控制所述驱动部件220运行的控制部件230。进一步的，所述控制部件230包括一卡条231，所述卡条231与所述齿轮221咬合，以通过移动所述卡条231的位置使所述齿轮221转动。更进一步的，所述卡条231为条状结构。本实施例中，所述控制部件230还包括一按压块232，所述按压快232的一端延伸至所述卡条231的一端，从而可通过按压所述按压块232使所述卡条231上升或下降，进而可带动所述齿轮221转动。即，本实施例中，所述伸缩装置200通过按压所述按压块232使所述齿轮221发生转动，进而带动所述转盘222旋转，最终使所述支撑部件210上升或下降，实现晶舟的水平或倾斜放置。

优选的方案中，所述控制部件230还包括一弹性组件233，所述弹性组件233位于所述卡条231远离所述按压块232的一端，从而可通过所述弹性组件233对所述卡条施加一朝向所述按压块方向的作用力。即，在按压所述按压块232使所述卡条231朝一方向移动后，可再通过所述弹性组件233使所述卡条231朝相反反向移动，使卡条231复位。

另外，在本实施例中，所述齿轮221采用单向齿轮，进而在所述卡条231沿特定方向移动而带动齿轮221转动后，所述卡条231再沿相反方向移动时并不能带动所述齿轮221转动。也就是说，当需对所述晶舟的放置方式进行调整时：首先，按压所述按压块232使卡条231沿特定方向移动，从而使所述齿轮221发生转动以带动转盘222发生旋转，进而可改变支撑部件210与所述转盘222的接触位置，实现所述支撑部件210的上升或下降，所述晶舟处于其预定的放置方式；接着，所述弹性组件233对所述卡条231施加一作用力，使所述卡条231往相反方向运动，同时也有助于所述按压块232复位，而在此过程中，所述齿轮221不发生转动，所述晶舟仍保持其预定的放置方式；当需再次改变所述晶舟的放置方式时，则可重复按压所述按压块232以进行调整。由此可见，采用单向齿轮与弹性组件组合的方式，可在所述晶舟达到预定的放置位置后，使所述卡条231和按压块232复位，从而可便于对所述按压块232进行重复按压，有利于对所述晶舟的放置方式进行调整。

本实施例中，所述按压块232设置于所述卡条231的下端。当由下至上按压所述按压块232时，所述卡条231向上移动，同时带动所述齿轮221转动；当松开所述按压块232时，由于受到所述弹性组件233的作用力，所述卡条231向下移动，而此时所述卡条231并不会带动所述齿轮移动，即所述齿轮221保持静止状态，而所述卡条恢复至初始位置。如此，即可通过反复按压所述按压块232，以调整所述支撑部件210与所述转盘222的相对位置。

较佳的，可于所述转盘222上设置多个凹陷222a，多个所述凹陷222a于所述转盘222的圆周表面上间隔排列，从而每按压一次所述按压块232，可交替出现所述支撑部件210的上升和下降，即，仅通过按压一次所述按压块232以对所述晶舟的放置方式进行调整。此外，还可对每按压一次所述按压块232，所述转盘222的旋转距离进行设定，例如，可设定通过按压6次，使所述转盘222旋转一周。

继续参考图4所示，所述晶舟还包括一设置于所述晶舟本体上的抓取部件300，通过所述抓取部件300以对所述晶舟进行取放。所述抓取部件300可以为块状结构。当采用机械手臂对所述晶舟进行抓取时，所述机械手臂可托住所述抓取部件300的下方并施以一向上的作用力，从而可抓取所述晶舟并进行传送。

优选的，所述抓取部件300为一中空的块状结构，从而可将所述伸缩装置200部分设置于所述中空的块状结构中，有效利用空间，缩减所述晶舟的体积。具体参考图4所示，所述伸缩装置200的按压块232设置于所述抓取部件300的下端，并可沿所述抓取部件300的中心方向按压；中空的抓取部件300还与所述伸缩装置200的套件240连通，进而可将所述按压块232的一端延伸至所述卡条231的下方。或者，可以理解为，所述中空的抓取部件300除了用于对所述晶舟进行取放之外，还可充当部分的所述伸缩装置的套件，以对伸缩装置200中的部件进行保护；当然，也可以理解为，将所述伸缩装置的部件套件同时作为所述晶舟的抓取部件。

本实施例中，所述按压块232设置于所述抓取部件300的下方，并与所述卡条231的下端接触。当抓取所述晶舟时，即由下至上抬升所述抓取部件300，与此同时还会对所述按压块232进行按压，从而可在抓取所述晶舟的同时实现晶舟的放置方式的调整。由此可见，通过将所述伸缩装置200和抓取装置300的结构组合设置，不仅可有效利用空间，并且在对晶圆进行加工的过程中，通过这种设置方式还可进一步优化晶圆的加工流程。下面通过一具体的例子进行详细说明。

图5为采用本实用新型提供的晶舟承载晶圆以进行清洗的步骤示意图。当将承载有晶圆的晶舟放置于清洗设备中以对晶圆进行时，所述清洗设备中设置有多个清洗槽，以4个清洗槽为例，在清洗的过程中，通过机械手臂将晶圆依次在4个清洗槽进行传送以进行清洗。此时，可对所采用的晶舟的转盘222进行相应的设置，使在对按压块232进行5次的按压后，所述转盘222旋转一周，所述支撑部件210与所述转盘222的接触位置回到初始位置。例如，可于所述转盘222上设置一个凹陷222a，在初始位置时，所述支撑部件210的顶部位于所述凹陷222a中，所述晶舟为水平放置；接着在第1次按压至第4次按压之后，所述支撑部件210均与所述转盘222的圆周表面接触，所述晶舟倾斜放置；通过第5次按压之后，所述转盘222旋转一周，所述支撑部件210的顶部回到所述凹陷222a中，所述晶舟恢复水平放置。即，通过对转盘222进行相应的设定，可使所述晶舟在需进行倾斜放置的区域倾斜放置，而不需进行倾斜放置的区域水平放置。具体的，在对放置于晶舟中的晶圆进行清洗的过程如下：

首先，将待清洗的晶圆放置于所述晶舟中，并将其置于预清洗位置A1，此时，所述晶舟为水平放置；

接着，采用机械手臂抓取位于预清洗位置A1的晶舟，并将其放入第一清洗槽B1；在此抓取的过程中，所述机械手臂第一次按压所述按压块，所述支撑部件下降，因此位于所述第一清洗槽B1中的晶舟为倾斜放置，从而在进行清洗的过程中，可改善由于清洗液的冲刷而导致晶圆发生晃动的问题，并且，此时所述晶圆等间距均匀的排列，避免相邻晶圆之间发生碰撞及摩擦的问题；

接着，再次采用机械手臂抓取位于第一清洗槽B1中的晶舟，并将其放入第二清洗槽B2中以进行第二次清洗；在此过程中，所述机械手臂第二次按压所述按压块，此时，所述支撑部件仍与转盘的圆周表面接触，因此位于所述第二清洗槽B2中的晶舟也为倾斜放置；

接着，再采用机械手臂抓取位于第二清洗槽B2中的晶舟，并将其放入第三清洗槽B3中以进行第三次清洗，以及，在完成第三次清洗时，再将所述晶舟放入第四清洗槽B4中以进行第四次清洗；而在机械手臂的这两次的抓取过程中，对所述按压块执行了两次按压，并在这两次按压后，支撑部件仍与转盘的圆周表面接触，确保在清洗过程中所述晶舟均为倾斜放置；

最后，利用所述机械手臂将位于第四清洗槽B4中的晶舟取出，并放置于接收台A2上，至此即完成了晶圆的清洗过程中；而在所述机械手臂的第5次抓取过程中，对所述按压块执行了第5次按压，此时所述转盘222旋转一周，所述支撑部件的顶部位于转盘上的凹陷中，所述支撑部件上升，从而使所述晶舟可水平放置于接收台A2上。

即，通过机械手臂在抓取晶舟的同时按压所述按压块，从而实现自动调整晶舟的放置方式；以及，通过对转盘222上凹陷222a的个数及位置进行相应的设置，可使所述晶舟在相应的位置倾斜放置。自动化的调整方式，可简化操作过程，有效改善晶圆的加工效率。

继续参考图2所示，所述晶舟本体包括第一挡板120a、第二挡板120b、第一承载件130a和第二承载件130b，所述第一挡板120a和第二挡板120b相对设置，所述第一承载件130a和所述第二承载件130b相对设置，所述第一挡板120a和所述第二挡板120b分别与所述第一承载件130a和第二承载件130b的两端连接。

进一步的，所述第一承载件130a和所述第二承载件130b上均设置有多个一一对应的凹槽，通过所述第一承载件130a和所述第二承载件130b上一一对应的两个凹槽以构成所述卡槽111。

优选的，所述伸缩装置200设置于所述第一挡板120a或第二挡板120b上，从而通过所述伸缩装置200可将所述晶舟本体在卡槽排列方向的一端抬高，并使所述晶圆20向一侧倾斜放置并倚靠于所述凹槽的侧壁上。

<实施例二>

图6为本实用新型实施例二中晶舟的结构示意图，图7为本实用新型实施例二中晶舟的伸缩装置的结构示意图。本实施例与实施例例一的区别在于伸缩装置的结构不同。实施例一中，所述支撑部件是通过齿轮上的转盘以及转盘上的凹陷，以实现支撑部件的上升和下降。而本实施例中，所支撑部件直接与所述齿轮咬合，进而可通过所述齿轮直接控制所述支撑部件的上升和下降。

具体参考图6和图7所示，所述支撑部件210’上设置有多个凹槽；所述驱动部件包括一齿轮220’；所述支撑部件210’上的凹槽与所述齿轮220’咬合，从而当所述齿轮220’转动时，即可直接带动所述支撑部件210’上升或下降。进一步的，在本实施例中，所述控制部件包括一旋转杆，所述旋转杆的一端为旋钮230a’，所述旋转杆的另一端为一齿状结构230b’，所述旋转杆的齿状结构230b’与所述齿轮220’咬合，当旋动所述旋钮230a’时，相应的带动所述齿轮220’转动，进而可控制所述支撑部件210’的上升和下降。

与实施例一类似的，本实施例中的抓取部件300’也可以为中空的块状结构，此时，所述旋钮230a’可于所述抓取部件300’中延伸出。

本实施例中，所述支撑部件210’的上升和下降直接通过齿轮220’带动，从而可根据具体的状况，以对所述支撑部件的下降距离进行调节。

当然，以上实施例中，所述支撑部件、驱动部件以及控制部件之间可根据实际状况排列组合。例如，当所述支撑部件采用其与转盘的相对移动而实现所述支撑部件的上升和下降时，可通过旋钮直接控制齿轮的转动；或者，当所述支撑部件通过其与齿轮的咬合实现所述支撑部件的上升和下降时，则也可采用按压块和卡条的带动实现所述齿轮转动。

综上所述，本实用新型提供的晶舟中，本实用型新提供的晶舟中，由于在晶舟本体沿卡槽的排列方向上的一端上安装有一伸缩装置，通过所述伸缩装置可对晶舟的放置方式进行调整，使所述晶舟不仅可水平放置也可倾斜放置，以满足不同的工艺需求，减少晶圆产生缺陷的概率。当承载有晶圆的晶舟处于平稳状态时，则可使所述晶舟水平放置；而当承载有晶圆的晶舟处于不平稳的状态时，可使所述晶舟倾斜放置，如此，一方面使晶舟中晶圆等间距排列，避免相邻晶圆之间发生碰撞及摩擦，另一方面，所述卡槽的侧壁同时还可起到辅助支撑的作用，进而使晶圆的放置更为稳固，改善晶圆发生晃动的问题。

本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。

上述描述仅是对本实用新型较佳实施例的描述，并非对本实用新型范围的任何限定，本实用新型领域的普通技术人员根据上述揭示内容做的任何变更、修饰，均属于权利要求书的保护范围。

Claims (20)

1.一种晶舟，包括一晶舟本体，于所述晶舟本体上设置有多个平行排列的卡槽，所述卡槽用于承载晶圆并隔离各个晶圆；其特征在于，所述晶舟还包括一伸缩装置，所述伸缩装置安装于所述晶舟本体上，通过所述伸缩装置的升降带动所述晶舟本体沿卡槽排列方向的一端升降。

2.如权利要求1所述的晶舟，其特征在于，所述伸缩装置安装于所述晶舟本体沿卡槽排列方向的一端上，所述晶圆以其形成有图形的一面朝向所述伸缩装置放置于所述晶舟中。

3.如权利要求1所述的晶舟，其特征在于，所述伸缩装置包括：一支撑部件以及一控制所述支撑部件上升或下降的驱动部件，当所述支撑部件下降时，所述支撑部件与承载晶舟的台面接触，以将所述晶舟本体沿卡槽排列方向的一端抬高。

4.如权利要求3所述的晶舟，其特征在于，所述驱动部件包括：一齿轮以及一与所述齿轮固定嵌合的转盘，所述转盘在其旋转的圆周表面上设置有至少一个凹陷，所述支撑部件位于所述转盘的下方，所述支撑部件的顶部位于所述凹陷内或所述支撑部件的顶部与所述圆周表面接触。

5.如权利要求4所述的晶舟，其特征在于，所述转盘的凹陷与所述转盘的圆周表面为弧形连接。

6.如权利要求4所述的晶舟，其特征在于，所述支撑部件的顶部为圆弧形。

7.如权利要求4所述的晶舟，其特征在于，所述齿轮为单向齿轮。

8.如权利要求3所述的晶舟，其特征在于，所述驱动部件包括一齿轮，所述支撑部件上设置有多个凹槽，所述支撑部件上的凹槽与所述齿轮咬合并通过所述齿轮的转动直接带动所述支撑部件的升降。

9.如权利要求4或8所述的晶舟，其特征在于，所述伸缩装置还包括一控制所述驱动部件的控制部件，所述控制部件包括一卡条，所述卡条与所述齿轮咬合，通过移动所述卡条的位置以使所述齿轮转动。

10.如权利要求9所述的晶舟，其特征在于，所述卡条为条状结构。

11.如权利要求9所述的晶舟，其特征在于，所述控制部件还包括一按压块，所述按压块的一端延伸至所述卡条的一端，通过按压所述按压块使所述卡条上升或下降。

12.如权利要求11所述的晶舟，其特征在于，所述控制部件还包括一弹性组件，所述弹性组件位于所述卡条远离所述按压块的一端，所述弹性组件用于向所述卡条施加一朝向所述按压块方向的作用力。

13.如权利要求4或8所述的晶舟，其特征在于，所述伸缩装置还包括一控制所述驱动部件的控制部件，所述控制部件包括一旋转杆，所述旋转杆的一端为旋钮，所述旋转杆的另一端为齿状结构，所述齿状结构与所述齿轮咬合，通过转动所述旋钮以使所述齿轮转动。

14.如权利要求1所述的晶舟，其特征在于，所述晶舟本体在其倾斜放置时的倾斜角度为1°～30°。

15.如权利要求1所述的晶舟，其特征在于，所述晶舟本体包括：第一挡板、第二挡板、第一承载件和第二承载件，所述第一挡板和所述第二挡板相对设置，所述第一承载件和所述第二承载件相对设置，所述第一挡板和所述第二挡板分别与所述第一承载件和第二承载件的两端连接。

16.如权利要求15所述的晶舟，其特征在于，所述第一承载件和所述第二承载件上均设置有多个一一对应的凹槽，通过所述第一承载件和所述第二承载件上一一对应的两个凹槽以构成所述卡槽。

17.如权利要求15所述的晶舟，其特征在于，所述伸缩装置设置于所述第一挡板或第二挡板上。

18.如权利要求1所述的晶舟，其特征在于，所述晶舟还包括设置于所述晶舟本体上的抓取部件，通过所述抓取部件以对所述晶舟进行取放。

19.如权利要求18所述的晶舟，其特征在于，所述抓取部件为一块状结构。

20.如权利要求19所述的晶舟，其特征在于，所述抓取部件为一中空的块状结构，部分所述伸缩装置位于所述中空的块状结构中。