CN206098364U - 一种新型的石墨舟 - Google Patents
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Abstract
一种新型的石墨舟，包括数个第一舟片和数个第二舟片，所述数个第一舟片的两端分别插设于两上石墨块组上，所述数个第二舟片的两端分别插设于两下石墨块组上，所述上、下石墨块组均插设有第一石墨杆，该第一石墨杆的两端均设有将第一石墨杆锁紧的第一石墨螺帽，所述数个第一舟片和数个第二舟片穿设有数根第二石墨杆，该第二石墨杆的两端均设有将第二石墨杆锁紧的第二石墨螺帽，每根第二石墨杆上套设有多个陶瓷圈，每个陶瓷圈位于相邻的第一舟片和第二舟片之间，每个第一舟片和第二舟片均设有多个第一支撑卡部和多组第二支撑卡部，相邻的第一舟片和第二舟片之间的距离为10mm，所述两下模块组的底面均设有两前、后布置的舟脚，该舟脚的高度为100.5mm。
Description
技术领域
本实用新型涉及太阳能生产设备领域，具体的说是指一种新型的石墨舟。
背景技术
传统太阳能电池的生产过程为：制绒、扩散、刻蚀、pecvd、丝网印刷、烧结测试，其中pecvd（等离子增强型化学气相沉积）是指通入的特气（硅烷和氨气）在高温和微波源的激发下电离，形成等离子态，并沉积在硅片的表面，形成所需要的薄膜（氮化硅膜）。石墨舟作为镀膜过程中承载硅片装置，其载片数量将直接影响到产量。
目前，在太阳能电池生产过程中的pecvd工序，大部分是使用德国的cemtrotherm（烧结炉）设备，此设备采用管径380mm，长度2m的炉管，因为设备整体的构造限制，改变炉管口径大小及炉管长度比较难实现。目前市面上和这种老式炉管匹配的石墨舟的舟片的数量较少，同时石墨舟的舟片间距较大，对应的产能分别为216片/舟或240片/舟两种，这两种石墨舟设计未能最大限度利用pecvd设备的产能。
实用新型内容
本实用新型提供的是一种新型的石墨舟，其主要目的在于克服现有的石墨舟存在的上述问题。
本实用新型采用如下的技术方案予以实现：
一种新型的石墨舟，包括数个第一舟片和数个第二舟片，所述数个第一舟片和数个第二舟片按第一舟片、第二舟片的重复顺序由前至后依次间隔地布置，所述数个第一舟片的两端分别插设于两上石墨块组上，所述数个第二舟片的两端分别插设于两下石墨块组上，所述上、下石墨块组均插设有用于固定第一舟片、第二舟片的第一石墨杆，该第一石墨杆的两端均设有将第一石墨杆锁紧于对应石墨块组的第一石墨螺帽，所述数个第一舟片和数个第二舟片穿设有数根从左至右依次间隔布置的第二石墨杆，该第二石墨杆的两端均设有将第二石墨杆锁紧于第一舟片或第二舟片上的第二石墨螺帽，每根第二石墨杆上套设有多个陶瓷圈，每个陶瓷圈位于相邻的第一舟片和第二舟片之间，每个第一舟片和第二舟片均设有多个第一支撑卡部和多组第二支撑卡部，该多个第一支撑卡部和多组第二支撑卡部按第一支撑卡部、第二支撑卡部的顺序由前至后依次间隔地布置，相邻的第一舟片和第二舟片之间的距离为10mm，所述两下模块组的底面均设有两前、后布置的舟脚，该舟脚的高度为100.5mm。
进一步的，所述第一舟片和第二舟片均设有12片。
进一步的，所述每组第二支撑卡部由上、下间隔布置的两第二支撑卡部组成。
进一步的，所述一上石墨块组的中部和对应的下石墨块组的中部均设有电极孔。
由上述对本实用新型的描述可知，和现有技术相比，本实用新型具有如下优点：本实用新型通过缩短第一舟片和第二舟片之间的距离以及将舟脚的高度增加至100.5mm，在烧结炉的炉管直径不变的情况下从而增加第一舟片和第二舟片的数量，同时舟脚高度的增加使得石墨舟在炉管内的整体高度增加，最终达到石墨舟最大程度上的优化，产量实现最大化。
附图说明
图1为本实用新型的主视图。
图2为本实用新型的俯视图。
图3为本实用新型的左视图。
具体实施方式
参照图1、图2和图3。一种新型的石墨舟，包括十二个第一舟片1和十二个第二舟片2，所述十二个第一舟片1和十二个第二舟片2按第一舟片1、第二舟片2的重复顺序由前至后依次间隔地布置。所述十二第一舟片1的两端分别插设于两上石墨块组3上，所述十二个第二舟片2的两端分别插设于两下石墨块组4上。所述上石墨块组3、下石墨块组4均插设有用于固定第一舟片1、第二舟片2的第一石墨杆5，该第一石墨杆5的两端均设有将第一石墨杆5锁紧于对应石墨块组的第一石墨螺帽6。
参照图1、图2和图3。所述十二个个第一舟片1和十二个第二舟片穿设有数根从左至右依次间隔布置的第二石墨杆7，该第二石墨杆7的两端均设有将第二石墨杆7锁紧于第一舟片1或第二舟片2上的第二石墨螺帽8，每根第二石墨杆7上套设有多个陶瓷圈9，每个陶瓷圈9位于相邻的第一舟片1和第二舟片2之间。每个第一舟片1和第二舟片2均设有多个第一支撑卡部10和多组第二支撑卡部11，该多个第一支撑卡部10和多组第二支撑卡部11按第一支撑卡部10、第二支撑卡部11的顺序由前至后依次间隔地布置。相邻的第一舟片1和第二舟片2之间的距离为10mm，所述两下模块组4的底面均设有两前、后布置的舟脚41，该舟脚41的高度为100.5mm。
参照图1、图2和图3。所述每组第二支撑卡部11由上、下间隔布置的两第二支撑卡部11组成，所述第一支撑卡部10和第二支撑卡部11用于支撑硅片。所述一上石墨块组3的中部和对应的下石墨块组4的中部均设有用于连接电源的电极孔31。
参照图1、图2和图3。本实用新型通过缩短第一舟片1和第二舟片2之间的距离以及将舟脚41的高度增加至100.5mm，在烧结炉的炉管直径不变的情况下从而增加第一舟片1和第二舟片2的数量，同时舟脚41高度的增加使得石墨舟在炉管内的整体高度增加，最终达到石墨舟最大程度上的优化，产量实现最大化。采用本实用新型，其产量从原有的240片/舟增加至276/舟，每天将增加产量10000片左右，返工片将从原有的1440片/天左右降至600片左右，大大提升了产品质量。
上述仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的设计构思并不局限于此，凡利用此构思对本实用新型进行非实质性的改动，均应属于侵犯本实用新型保护范围的行为。
Claims (4)
1.一种新型的石墨舟，其特征在于：包括数个第一舟片和数个第二舟片，所述数个第一舟片和数个第二舟片按第一舟片、第二舟片的重复顺序由前至后依次间隔地布置，所述数个第一舟片的两端分别插设于两上石墨块组上，所述数个第二舟片的两端分别插设于两下石墨块组上，所述上、下石墨块组均插设有用于固定第一舟片、第二舟片的第一石墨杆，该第一石墨杆的两端均设有将第一石墨杆锁紧于对应石墨块组的第一石墨螺帽，所述数个第一舟片和数个第二舟片穿设有数根从左至右依次间隔布置的第二石墨杆，该第二石墨杆的两端均设有将第二石墨杆锁紧于第一舟片或第二舟片上的第二石墨螺帽，每根第二石墨杆上套设有多个陶瓷圈，每个陶瓷圈位于相邻的第一舟片和第二舟片之间，每个第一舟片和第二舟片均设有多个第一支撑卡部和多组第二支撑卡部，该多个第一支撑卡部和多组第二支撑卡部按第一支撑卡部、第二支撑卡部的顺序由前至后依次间隔地布置，相邻的第一舟片和第二舟片之间的距离为10mm，所述两下模块组的底面均设有两前、后布置的舟脚，该舟脚的高度为100.5mm。
2.如权利要求1所述的一种新型的石墨舟，其特征在于：所述第一舟片和第二舟片均设有12片。
3.如权利要求1所述的一种新型的石墨舟，其特征在于：所述每组第二支撑卡部由上、下间隔布置的两第二支撑卡部组成。
4.如权利要求1所述的一种新型的石墨舟，其特征在于：所述一上石墨块组的中部和对应的下石墨块组的中部均设有电极孔。
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Cited By (1)
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|---|---|---|---|---|
| CN111188029A (zh) * | 2020-03-11 | 2020-05-22 | 上海弘枫实业有限公司 | 一种多框石墨舟 |
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