CN218756028U - 一种立式石墨舟 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种立式石墨舟，包括若干舟片，舟片上至少设有两竖排用于承载硅片的承载槽，舟片上开设有多个通孔，若干舟片的通孔通过杆状结构串接，相邻两块舟片的上下两端均设有舟块，多个舟块形成舟块组，舟块组的两端设有定位块。本实用新型具有产能提升空间更高、强度更高、热膨胀变形小，硅片贴合更可靠等优点。

Description

一种立式石墨舟

技术领域

本实用新型主要涉及PECVD镀膜技术领域，特指一种立式石墨舟。

背景技术

PECVD(等离子增强化学气相沉积)设备主要利用等离子体聚合法在太阳能电池片上沉积形成氮化硅减反射膜，以提高太阳能电池的光电转换效率。该设备利用电热炉体将石英管反应室中的温度保持在500度左右，然后利用高频辉光放电产生等离子体促进气体分子的分解、化合、电离，反应完成后沉积在太阳能电池片上。

石墨舟是太阳能电池片进行PECVD镀膜时用的载体，是通过若干个石墨舟片组合而成的，石墨舟的载片量直接决定了设备的产能。目前，传统的方式是采用卧式布局，即石英管水平放置，石墨舟放置于石英管内支撑机构上，硅片放置于石墨舟硅片卡点处，与舟片贴合。单管的载片量主要取决于沿石英管长度方向上的石墨舟的槽数和沿石英管径向的石墨舟的舟片数。

目前，受限于厂房空间高度和设备运输高度限制，PECVD设备多采用六管布局，石英管内径一般为Φ530mm-Φ540mm，210硅片最大的单管载片量为616片，对应的石墨舟为29片舟叶，11个舟槽，石墨舟舟长达到3米，舟宽超过400mm，舟高270mm，这种石墨舟存在以下问题：

1.为保证石墨舟及推舟支撑机构安全进出，石英管管径需配置为内径Φ540mm左右，相应的六管设备高度超过4米多，已达到设备运输极限，高度上几乎没有提产空间；

2.石墨舟长度达到3米，相应的石英管和陶瓷支撑的长度要超过4米，在高温500-600℃的工况下，石墨舟的热膨胀变形非常大，石墨舟变形大易导致硅片贴合不紧，出现异常高频的情况较多。

因此，如何扩大产能又能解决上述石墨舟存在的问题是本领域技术亟待解决的技术问题。

实用新型内容

针对现有技术存在的技术问题，本实用新型提供一种产能提升空间更高、强度更高、热膨胀变形小，硅片贴合更可靠的立式石墨舟。

为解决上述技术问题，本实用新型采用以下技术方案：

本实用新型提供了一种立式石墨舟，包括若干舟片，所述舟片上至少设有两竖排用于承载硅片的承载槽，所述舟片上开设有多个通孔，若干块舟片的通孔通过杆状结构串接，相邻两块舟片的上下两端均设有舟块，多个舟块形成舟块组，所述舟块组的两端设有定位块。

作为本实用新型的进一步改进：所述承载槽的周侧设有多个硅片卡点。

作为本实用新型的进一步改进：相邻两个承载槽的上方、下方以及中间均设有硅片卡点。

作为本实用新型的进一步改进：所述舟片上沿垂直方向设有至少6个承载槽。

作为本实用新型的进一步改进：所述杆状结构为陶瓷杆，所述陶瓷杆两端通过螺母固定。

作为本实用新型的进一步改进：所述舟块组上还设有电极引入石墨块。

作为本实用新型的进一步改进：所述定位块为陶瓷定位块。

与现有技术相比，本实用新型的优点在于：

本实用新型的立式石墨舟，采用立式双排承载槽设计，能最大化的利用石英管的空间，相比卧式单管石墨舟设计，双排立式石墨舟的产能更大，且利用竖直方向上的空间，占地面积更小，在达到相同产能时，双排立式石墨舟的整体长度更短，石墨舟的强度更高，热膨胀变形概率更小，能确保硅片可靠贴合。

附图说明

图1为本实用新型的在具体实施例中的立体结构图。

图2为本实用新型的石墨舟放置在石英管内的仰视图。

图例说明：

1、舟片；2、承载槽；3、杆状结构；4、舟块；41、第一舟块组；42、第二舟块组；43、第三舟块组；44、第四舟块组；45、第五舟块组；46、第六舟块组；47、第七舟块组；48、第八舟块组；5、定位块；6、硅片卡点；7、螺母；8、电极引入石墨块。

具体实施方式

以下结合说明书附图和具体优选的实施例对本实用新型作进一步描述，但并不因此而限制本实用新型的保护范围。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“侧部”、“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量，由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征，在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

以下将结合说明书附图和具体实施例对本实用新型做进一步详细说明。

如图1和图2所示，本实施例提供了一种立式石墨舟，包括若干舟片1，舟片1上至少设有两竖排用于承载硅片的承载槽2，舟片1上开设有多个通孔，若干块舟片1的通孔通过杆状结构3串接，相邻两块舟片1的上下两端均设有舟块4，多个舟块4形成舟块组，舟块组的两端设有定位块5。

本实施例的立式石墨舟，采用立式双排承载槽设计，能最大化的利用石英管的空间，相比卧式单管石墨舟设计，双排立式石墨舟的产能更大，且利用竖直方向上的空间，占地面积更小，在达到相同产能时，双排立式石墨舟的整体长度更短，石墨舟的强度更高，热胀变形概率更小，能确保硅片可靠贴合。

本实施例中，不同舟片1的导电流通过第一舟块组41，第二舟块组42、第三舟块组43、第四舟块组44、第五舟块组45、第六舟块组46、第七舟块组47、第八舟块组48串联实现，其中舟块组的第一舟块组41、第三舟块组43、第五舟块组45、第七舟块组47为正极时，第二舟块组42、第四舟块组44、第六舟块组46和第八舟块组48为负极；或者第一舟块组41、第三舟块组43、第五舟块组45、第七舟块组47为负极时，第二舟块组42、第四舟块组44、第六舟块组46和第八舟块组48为正极。外部电极引入分别位于第五舟块组45、第六舟块组46、第七舟块组47、第八舟块组48上。

本实施例中，承载槽2的周侧设有多个硅片卡点6。从石墨舟的左右两侧插入硅片，通过硅片卡点6能确保硅片可靠贴合。进一步的，在优选实施例中，相邻两个承载槽2的上方、下方以及中间均设有硅片卡点6，多个硅片卡点设计能有效提升硅片放置的稳定性和可靠性，避免从石墨舟中掉落。

本实施例中，舟片采用两排石墨舟设计，且舟片1上沿垂直方向设有至少6个承载槽2。相比卧式单管石墨舟，本实施例中的立式石墨舟的整体长度仅需一半长度即可达到现有卧式单管石墨舟的产能，因此具有更高的提产空间，且石墨舟长度短，强度更高，不易发生热膨胀变形。

本实施例中，杆状结构3为陶瓷杆，陶瓷杆两端通过螺母7固定。进一步的在优选实施例中，沿水平方向上每层承载槽2的上方和下方均设有多个通孔。通过陶瓷杆穿过舟片1上的通孔能实现多块舟片1牢固稳定的连接，有效防止舟片1松散。

本实施例中，陶瓷杆的外壁靠近两端处设有螺纹，通过螺母7固定，能方便拆装陶瓷杆，从而实现舟片1快捷方便的拆分与组合。

本实施例中，当石墨舟安装在石英管中，其支撑是通过舟块组与炉门固定，通过陶瓷定位块5实现整个立式石墨舟的定位，且舟块组上还设有电极引入石墨块8，用于引入电极。立式石墨舟的电极引入石墨块8布置在靠近炉口的舟块组上，引入电极更加方便可靠。

本实施例中的石墨舟安装到石英管内时，无需多余零部件，且舟块位于硅片高度方向上下两端，工艺气体在管内气流方向上无遮挡，工艺效果好。

以上仅是本实用新型的优选实施方式，本实用新型的保护范围并不仅局限于上述实施例，凡属于本实用新型思路下的技术方案均属于本实用新型的保护范围。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理前提下的若干改进和润饰，应视为本实用新型的保护范围。

Claims (7)

1.一种立式石墨舟，其特征在于，包括若干舟片(1)，所述舟片(1)上至少设有两竖排用于承载硅片的承载槽(2)，所述舟片(1)上开设有多个通孔，若干块舟片(1)的通孔通过杆状结构(3)串接，相邻两块舟片(1)的上下两端均设有舟块(4)，多个舟块(4)形成舟块组，所述舟块组的两端设有定位块(5)。

2.根据权利要求1所述的立式石墨舟，其特征在于，所述承载槽(2)的周侧设有多个硅片卡点(6)。

3.根据权利要求2所述的立式石墨舟，其特征在于，相邻两个承载槽(2)的上方、下方以及中间均设有硅片卡点(6)。

4.根据权利要求2所述的立式石墨舟，其特征在于，所述舟片(1)上沿垂直方向设有至少6个承载槽(2)。

5.根据权利要求1至4任意一项所述的立式石墨舟，其特征在于，所述杆状结构(3)为陶瓷杆，所述陶瓷杆两端通过螺母(7)固定。

6.根据权利要求1至4任意一项所述的立式石墨舟，其特征在于，所述舟块组上还设有电极引入石墨块(8)。

7.根据权利要求1至4任意一项所述的立式石墨舟，其特征在于，所述定位块(5)为陶瓷定位块。

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