CN108074997A - 管式perc双面太阳电池及其制备方法和专用电镀设备 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种管式PERC双面太阳电池，包括背银主栅、背铝栅线、背面复合膜、P型硅、N型发射极、正面钝化膜和正电极，所述正电极采用电镀设备制备而得，管式PERC双面太阳电池的正面朝下且与电镀槽的电镀液接触，所述LED灯照射管式PERC双面太阳电池的背面；所述电镀槽内设有阳极板和电刷，所述电源的正极与阳极板连接，电源的负极与电刷连接，电刷与管式PERC双面太阳电池背面的背银主栅连接。相应的，本发明还公开了一种管式PERC双面太阳电池的制备方法及专用电镀设备。采用本发明，增加电池背面电极的导电均匀性，提高正面电镀电极的均匀性，且保持电池的外观良率。

Description

管式PERC双面太阳电池及其制备方法和专用电镀设备
技术领域
本发明涉及太阳电池领域，尤其涉及一种管式PERC双面太阳电池、管式PERC双面太阳电池的正电极的制备方法、以及管式PERC双面太阳电池的制备方法和专用电镀设备。
背景技术
晶硅太阳电池是一种有效吸收太阳辐射能，利用光生伏打效应把光能转换成电能的器件，当太阳光照在半导体P-N结上，形成新的空穴-电子对，在P-N结电场的作用下，空穴由N区流向P区，电子由P区流向N区，接通电路后就形成电流。
传统晶硅太阳电池基本上只采用正面钝化技术，在硅片正面用PECVD的方式沉积一层氮化硅，降低少子在前表面的复合速率，可以大幅度提升晶硅电池的开路电压和短路电流，从而提升晶硅太阳电池的光电转换效率。
随着对晶硅电池的光电转换效率的要求越来越高，人们开始研究背钝化太阳电池技术。目前主流的做法是采用板式PECVD来对背面镀膜，板式PECVD由不同的腔室组成，每个腔室镀一层膜，一旦设备固定，复合膜的层数就已经固定，因此板式PECVD的缺点是不能灵活调节复合膜的组合，不能更好的优化背面膜的钝化效果，从而限制电池的光电转换效率。同时，板式PECVD使用的是间接等离子法，膜层的钝化效果不太理想。板式PECVD还具有uptime低，维护时间长的缺点，影响产能和产量。
本发明采用管式PECVD技术在硅片背面沉积复合膜，制作双面PERC高效太阳电池。由于管式PECVD技术采用的是直接等离子法，又可以灵活调节复合膜的组合和成分，膜层的钝化效果好，能大幅提升PERC太阳电池的光电转换效率。管式PECVD技术的优秀钝化性能和工艺的灵活性还可以相对降低三氧化二铝膜层的厚度，减少TMA的耗量，同时，管式PERC技术容易维护，uptime高。综合以上多种因素，与板式PECVD技术相比，管式PECVD技术制作高效PERC电池有显著的综合成本优势。
业内一般是采用丝网印刷银浆料技术制造双面太阳能电池的正电极，银浆料耗量大，成本高，银电极的线宽也比较大，遮光面积大，电极的导电均匀性差，影响电池的光电转换效率。此外，管式PECVD技术由于存在绕镀和划伤这一对互相制约的难题，外观良率和EL良率一直比较低。
发明内容
本发明所要解决的技术问题在于，提供一种管式PERC双面太阳电池，增加电池背面电极的导电均匀性，提高正面电镀电极的均匀性，且保持电池的外观良率。
本发明所要解决的技术问题还在于，提供一种上述管式PERC双面太阳电池的正电极的制备方法以及上述管式PERC双面太阳电池的制备方法，工艺简单，可大规模量产，与目前生产线兼容性好。
本发明所要解决的技术问题还在于，提供一种上述管式PERC双面太阳电池的专用电镀设备，设备结构简单，成本较低，产量大，成品率高。
为了解决上述技术问题，本发明提供了一种管式PERC双面太阳电池，包括背银主栅、背铝栅线、背面复合膜、P型硅、N型发射极、正面钝化膜和正电极；所述背面复合膜、P型硅、N型发射极、正面钝化膜和正电极从下至上依次层叠连接；
所述背面复合膜包括三氧化二铝膜、二氧化硅膜、氮氧化硅膜和氮化硅膜中的一种或多种，且采用管式PECVD设备在硅片背面沉积而成；
所述背面复合膜再经过激光开槽后形成30-500个平行设置的激光开槽区，每个激光开槽区内设置至少1组激光开槽单元，所述背铝栅线通过激光开槽区与P型硅相连，所述背铝栅线与背银主栅垂直连接；
所述正电极采用电镀设备制备而得，所述电镀设备包括电镀槽、LED灯和电源，管式PERC双面太阳电池的正面朝下且与电镀槽的电镀液接触，管式PERC双面太阳电池的背面朝上且不与电镀槽的电镀液接触，所述LED灯照射管式PERC双面太阳电池的背面；
所述电镀槽内设有阳极板和电刷，所述电源的正极与阳极板连接，电源的负极与电刷连接，电刷与管式PERC双面太阳电池背面的背银主栅连接。
作为上述技术方案的改进，所述电刷上设有凹槽，所述凹槽包裹所述背银主栅，所述电刷的材质为石墨。
作为上述技术方案的改进，所述LED灯产生LED绿光。
作为上述技术方案的改进，所述LED灯照射背银主栅、背铝栅线和背面复合膜。
相应的，本发明还提供一种管式PERC双面太阳电池的正电极的制备方法，包括：
(1)将管式PERC双面太阳电池半成品置于电镀设备中，正面朝下，背面朝上，LED灯照射管式PERC双面太阳电池半成品的背面，并使得电池背面的背银主栅与电镀设备的电刷相连接；
(2)管式PERC双面太阳电池半成品的正面与电镀槽的电镀液接触，形成正电极，而管式PERC双面太阳电池半成品的背面不与电镀槽的电镀液接触。
作为上述技术方案的改进，所述电刷上设有凹槽，所述凹槽包裹所述背银主栅，所述电刷的材质为石墨。
相应的，本发明还提供一种管式PERC双面太阳电池的制备方法，包括：
(1)在硅片正面形成绒面，所述硅片为P型硅；
(2)在硅片正面进行扩散，形成N型发射极；
(3)去除扩散过程形成的磷硅玻璃和周边PN结，并对硅片背面进行抛光；
(4)对硅片进行退火；
(5)采用管式PECVD设备在硅片背面沉积背面复合膜：
(6)在硅片正面沉积钝化膜；
(7)对硅片背面复合膜上进行激光开槽；
(8)对硅片正面钝化膜上进行激光开槽；
(9)在硅片背面印刷背银主栅；
(10)在激光开槽区上印刷铝浆，使之与背银主栅连接；
(11)对背面印刷电极进行烧结，得到管式PERC双面太阳电池半成品；
(12)将管式PERC双面太阳电池半成品置于电镀设备中，正面朝下，背面朝上，LED灯照射管式PERC双面太阳电池半成品的背面，并使得电池背面的背银主栅与电镀设备的电刷相连接，管式PERC双面太阳电池半成品的正面与电镀槽的电镀液接触，形成正电极，而管式PERC双面太阳电池半成品的背面不与电镀槽的电镀液接触；
(13)对硅片进行抗LID退火，制得管式PERC双面太阳电池成品。
相应地，本发明还提供一种管式PERC双面太阳电池的专用电镀设备，包括水平设置的电镀槽，设于电镀槽上部、并用于承载管式PERC双面太阳电池的承载轴，设于电镀槽上方的LED灯，以及电源；
所述电镀槽内设有阳极板和电刷，所述电源的正极与阳极板连接，电源的负极与电刷连接，电刷与管式PERC双面太阳电池背面的背银主栅连接，所述LED灯照射管式PERC双面太阳电池的背面。
作为上述技术方案的改进，所述电刷上设有凹槽，所述凹槽包裹所述背银主栅，所述电刷的材质为石墨；所述LED灯为LED绿灯。
实施本发明，具有如下有益效果：
本发明采用专用电镀设备，采用电镀技术制造双面电池的正电极，双面电池背面的背银主栅连接电镀设备的电刷，增加电池背面电极的导电均匀性。同时利用双面电池背面受光的特性，用LED绿光照射电池背面，使得硅片正面的激光槽内产生电子，从而使硅片在电镀液中沉积正面栅线电极，而良好的背面电极均匀性能提高激光槽内正面电子的均匀性，进而提高正面电镀电极的均匀性。双面电池正面朝下接触电镀液，背面朝上不与电镀液接触，避免背面电极受到电镀液的腐蚀，从而不影响电池的外观良率。
附图说明
图1是本发明管式PERC双面太阳电池的剖视图；
图2是图1所示管式PERC双面太阳电池的背面结构的示意图；
图3是图1所示背面复合膜第一实施例的示意图；
图4是图1所示背面复合膜第二实施例的示意图；
图5是图1所示背面复合膜第三实施例的示意图；
图6是图1所示背面复合膜第四实施例的示意图；
图7是图1所示背面复合膜第五实施例的示意图；
图8是图1所示背面复合膜第六实施例的示意图；
图9是本发明管式PERC双面太阳电池的专用电镀设备的示意图；
图10是电镀设备的电刷的截面图。
具体实施方式
为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本发明作进一步地详细描述。
如图1所示，本发明提供一种管式PERC双面太阳电池100，包括背银主栅1、背铝栅线2、背面复合膜3、P型硅5、N型发射极6、正面钝化膜7和正电极8；所述背面复合膜3、P型硅5、N型发射极6、正面钝化膜7和正电极8从下至上依次层叠连接；
所述背面复合膜3经过激光开槽后形成30-500组平行设置的激光开槽区，每个激光开槽区内设置至少1组激光开槽单元9，所述背铝栅线2通过激光开槽区与P型硅5相连；所述背铝栅线2与背银主栅1垂直连接。
本发明对现有的单面PERC太阳电池进行改进，不再设有全铝背电场，而是将其变成许多的背铝栅线2，采用激光开槽技术在背面复合膜3上开设激光开槽区，而背铝栅线2印刷在这些平行设置的激光开槽区上，从而能与P型硅5形成局部接触，密集平行排布的背铝栅线2不仅能起到提高开路电压Voc和短路电流Jsc，降低少数载流子复合率，提高电池光电转换效率的作用，可替代现有单面电池结构的全铝背电场，而且背铝栅线2并未全面遮盖硅片的背面，太阳光可从背铝栅线2之间投射至硅片内，从而实现硅片背面吸收光能，大幅提高电池的光电转换效率。
优选地，所述背铝栅线2的根数与激光开槽区的个数对应，皆为30-500条，更佳地，所述背铝栅线2的根数为80-220条。
如图2所示为硅片背面，背铝栅线2与背银主栅1呈垂直连接，其中背银主栅1为连续直栅，由于背面复合膜3设有激光开槽区，印刷铝浆形成背铝栅线2时，铝浆填充至激光开槽区，使得背铝栅线2与P型硅5形成局部接触，可将电子传输至背铝栅线2，与背铝栅线2相交的背银主栅1则汇集背铝栅线2上的电子，由此可知，本发明所述背铝栅线2起到提高开路电压Voc和短路电流Jsc，降低少数载流子复合率，以及传输电子的作用，可替代现有单面太阳电池中全铝背电场以及背银电极中的副栅结构，不仅减少银浆和铝浆的用量，降低生产成本，而且实现双面吸收光能，显著扩大太阳电池的应用范围和提高光电转换效率。
本发明所述背银主栅1除了如图2所示为连续直栅的设置外，还可以呈间隔分段设置。也可以呈间隔分段设置，且各相邻分段间通过连通线连接。所述背银主栅1的宽度为0.5-5mm；所述背银主栅1的根数为2-8条。
需要说明的是，当每个激光开槽区内设置2组或2组以上激光开槽单元9时，各组激光开槽单元9平行设置，相邻两组激光开槽单元9之间的间距为5-480μm。
每组激光开槽单元9包括至少1个激光开槽单元9，激光开槽单元9的图案为圆形、椭圆形、三角形、四边形、五边形、六边形、十字形或星形。
本发明所述激光开槽区的宽度为10-500μm；位于激光开槽区下方的背铝栅线2的宽度大于激光开槽区的宽度，背铝栅线2的宽度为30-550μm。在上述背铝栅线2宽度选择较大数值如500μm，而激光开槽区宽度选择较小数值如40μm，可将多组激光开槽区并排设在同一背铝栅线2之上，保证背铝栅线2与P型硅5有足够的接触面积。
需要说明的是,所述激光开槽区内设置的激光开槽单元，其与背铝栅线可以是平行的，也可以是垂直的。
业内一般是采用丝网印刷银浆料技术制造双面太阳能电池的正电极，银浆料耗量大，成本高，银电极的线宽也比较大，遮光面积大，影响电池的光电转换效率。为此,本发明的正电极8采用电镀设备制备而得，所述电镀设备包括电镀槽、LED灯和电源，管式PERC双面太阳电池的正面朝下且与电镀槽的电镀液接触，管式PERC双面太阳电池的背面朝上且不与电镀槽的电镀液接触，所述LED灯照射管式PERC双面太阳电池的背面。所述电镀槽内设有阳极板和电刷，所述电源的正极与阳极板连接，电源的负极与电刷连接，电刷与管式PERC双面太阳电池背面的背银主栅连接。
优选的，所述电刷为设有凹槽的长条状，在使用过程中，电刷的凹槽包裹住背银主栅。所述电刷的材质为石墨，不容易损伤背银栅线。
本发明采用专用电镀设备，采用电镀技术制造双面电池的正电极，采用多点接触电刷，增加电池背面电极的导电均匀性，同时利用双面电池背面受光的特性，用LED灯照射电池背面，提高正面电镀电极的均匀性。双面电池正面朝下接触电镀液，背面朝上不与电镀液接触，避免背面电极受到电镀液的腐蚀，从而不影响电池的外观良率。
本发明采用光诱导电镀技术，光照晶硅电池产生载流子(电子和空穴)，在内建电场的作用下，电子将聚集在电池片的前表面，而空穴聚集在后表面，而电镀液中金属离子，将会在电池片聚集电子处发生还原反应，并沉积在该处。光诱导电镀沉积速度快，适合量产化。本发明电镀材料是纯金属，相对丝网印刷的浆料而言，电阻率将更低，电阻功率损耗将越小。
具体的，所述LED灯产生LED绿光，所述LED灯照射背银主栅、背铝栅线和背面复合膜，提高正面电镀电极的均匀性。电刷与管式PERC双面太阳电池背面的背银主栅连接，增加电池背面电极的导电均匀性。
现在也有应用电镀技术制备单面晶硅太阳电池的电极，但是，通过电镀工艺所形成的太阳电池电极高宽比差，即正电极的高度低、宽度大，不利于光生电子的搜集，光电转换效率低。
但是，本发明采用光诱导技术制备双面晶硅电池的正面电极，通过将电池的正面朝下且与电镀槽的电镀液接触，且保证背面朝上且不与电镀槽的电镀液接触，同时将LED灯照射电池的背面，LED灯产生LED绿光。另外，采用多点接触电刷与双面电池的背银主栅连接，可以解决电镀工艺形成正电极的均匀性较差的问题。本发明电镀工艺，可以在一定程度上提高正电极的均匀性和高宽比，。
本发明的正电极可以是银电极，也可以是铜电极和镍电极。
优选的，制备上述正电极，采用下述方法：首先，利用激光化学掺杂，在切割正面钝化膜的同步，实现宽度为10um-35um，方块电阻为20Ω/□的重掺杂区域；然后在重掺杂区镀厚度约为200nm的镍，为种子层；再在种子层上镀银或铜，增加电极的高度，整个电极的宽度为20um-60um，高度为8um-20um，达到较好的高宽比。
另一方面，为了配合上述设有背铝栅线的PERC双面太阳电池，本发明采用管式PECVD设备在硅片背面沉积背面复合膜，管式PERC设备采用直接等离子法，等离子直接对硅片表面进行轰击，膜层的钝化效果显著。如图4-9所示，所述背面复合膜3包括三氧化二铝膜、二氧化硅膜、氮氧化硅膜和氮化硅膜中的一种或多种，且采用管式PECVD设备在硅片背面沉积而成。所述管式PECVD设备设有硅烷、氨气、三甲基铝、笑气四条气体管路，所述四条气体管路单独或组合作用，用于形成所述三氧化二铝膜、二氧化硅膜、氮氧化硅膜、氮化硅膜，通过调节气体流量比，可以得到不同成分比例和折射率的氮氧化硅膜或氮化硅膜，所述三氧化二铝膜、二氧化硅膜、氮氧化硅膜、氮化硅膜的成型顺序、厚度可调，所述氮氧化硅膜、氮化硅膜的成分和折射率可调。
硅烷、氨气、三甲基铝、笑气四条气体管路可以通过采用不同的气体组合、不同的气体流量比，以及不同的沉积时间形成不同的膜层，对于氮化硅膜或氮氧化硅膜，通过调节气体流量比，可以得到不同成分比例和折射率的氮化硅膜或氮氧化硅膜。复合膜的组合顺序、厚度和膜的成分可以灵活调节，因此，本发明的生产过程灵活可控，成本较低，产量大。而且，通过优化背面复合膜，使其与背面的背铝栅线相适配，产生最佳的钝化效果，大幅提升PERC电池的光电转换效率。
所述背面复合膜3有多种实施方式，参见图4、5和6，所述背面复合膜的底层为三氧化二铝膜，外层由二氧化硅膜、氮氧化硅膜和氮化硅膜的一种或多种组成。
如图3所示的背面复合膜的第一实施例，所述背面复合膜3的底层31为三氧化二铝膜，外层32由氮氧化硅膜、氮化硅膜组成。
如图4所示的背面复合膜的第二实施例，所述背面复合膜的底层31为三氧化二铝膜，外层32由氮化硅膜组成。
如图5所示的背面复合膜的第三实施例，所述背面复合膜的底层31为三氧化二铝膜，外层32由二氧化硅膜、氮氧化硅膜A、氮氧化硅膜B和氮化硅膜组成。
参见图6、7和8，所述背面复合膜的底层31为二氧化硅膜，第二层32为三氧化二铝膜，外层33由二氧化硅膜、氮氧化硅膜和氮化硅膜的一种或多种组成。
如图6所示的背面复合膜的第四实施例，所述背面复合膜的底层31为二氧化硅膜，第二层32为三氧化二铝膜，外层33由氮化硅膜组成。
如图7所示的背面复合膜的第五实施例，所述背面复合膜的底层31为二氧化硅膜，第二层32为三氧化二铝膜，外层33由二氧化硅膜、氮氧化硅膜A、氮氧化硅膜B、氮化硅膜组成。
如图8所示的背面复合膜的第六实施例，所述背面复合膜的底层31为二氧化硅膜，第二层32为三氧化二铝膜，外层33由二氧化硅膜、氮氧化硅膜和氮化硅膜A、氮化硅膜B组成。
具体的，所述三氧化二铝膜的厚度为5-15nm，所述氮化硅膜的厚度为50-150nm，所述氮氧化硅膜的厚度为5-20nm，所述二氧化硅膜的厚度为1-10nm。所述三氧化二铝膜、氮化硅膜、氮氧化硅膜和二氧化硅膜的实际厚度可以根据实际需要进行调整，其实施方式并不局限于本发明所举实施例。
相应的，本发明还提供一种管式PERC双面太阳电池的正电极的制备方法，包括：
(1)将管式PERC双面太阳电池半成品置于电镀设备中，正面朝下，背面朝上，LED灯照射管式PERC双面太阳电池半成品的背面，并使得电池背面的背银主栅与电镀设备的电刷相连接；
(2)管式PERC双面太阳电池半成品的正面与电镀槽的电镀液接触，形成正电极，而管式PERC双面太阳电池半成品的背面不与电镀槽的电镀液接触。
下面结合管式PERC双面太阳电池的完整制备方法来进一步阐述本发明，所述制备方法包括：
(1)在硅片正面形成绒面，所述硅片为P型硅；
(2)在硅片正面进行扩散，形成N型发射极；
(3)去除扩散过程形成的磷硅玻璃和周边PN结，并对硅片背面进行抛光；
(4)对硅片进行退火；
(5)采用管式PECVD设备在硅片背面沉积背面复合膜：
(6)在硅片正面沉积钝化膜；
(7)对硅片背面复合膜上进行激光开槽；
(8)对硅片正面钝化膜上进行激光开槽；
(9)在硅片背面印刷背银主栅；
(10)在激光开槽区上印刷铝浆，使之与背银主栅连接；
(11)对背面印刷电极进行烧结，得到管式PERC双面太阳电池半成品；
(12)将管式PERC双面太阳电池半成品置于电镀设备中，正面朝下，背面朝上，LED灯照射管式PERC双面太阳电池半成品的背面，并使得电池背面的背银主栅与电镀设备的电刷相连接，管式PERC双面太阳电池半成品的正面与电镀槽的电镀液接触，形成正电极，而管式PERC双面太阳电池半成品的背面不与电镀槽的电镀液接触；
(13)对硅片进行抗LID退火，制得管式PERC双面太阳电池成品。
本发明制备方法工艺简单，可大规模量产，与目前生产线兼容性好。
如图9、10所示，本发明还提供一种管式PERC双面太阳电池的专用电镀设备，包括水平设置的电镀槽10，设于电镀槽10上部、并用于承载管式PERC双面太阳电池的承载轴20，设于电镀槽10上方的LED灯30，以及电源40；
所述电镀槽10内设有阳极板50和电刷60，所述电源40的正极与阳极板50连接，电源40的负极与电刷60连接，电刷60与管式PERC双面太阳电池背面的背银主栅连接，所述LED灯30照射管式PERC双面太阳电池100的背面。
所述LED灯优选为LED绿灯，LED绿灯照射背银主栅、背铝栅线和背面复合膜，提高正面电镀电极的均匀性。
上述设备结构简单，成本较低，产量大，成品率高。
需要说明的是，所述专用电镀设备的工作原理和电极的制作过程，其技术细节同上所述，具体内容参见电池和电池的制备方法部分，在此不再赘述。
最后所应当说明的是，以上实施例仅用以说明本发明的技术方案而非对本发明保护范围的限制，尽管参照较佳实施例对本发明作了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本发明的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本发明技术方案的实质和范围。

Claims (10)

1.一种管式PERC双面太阳电池，其特征在于，包括背银主栅、背铝栅线、背面复合膜、P型硅、N型发射极、正面钝化膜和正电极；所述背面复合膜、P型硅、N型发射极、正面钝化膜和正电极从下至上依次层叠连接；
所述背面复合膜包括三氧化二铝膜、二氧化硅膜、氮氧化硅膜和氮化硅膜中的一种或多种，且采用管式PECVD设备在硅片背面沉积而成；
所述背面复合膜再经过激光开槽后形成30-500个平行设置的激光开槽区，每个激光开槽区内设置至少1组激光开槽单元，所述背铝栅线通过激光开槽区与P型硅相连，所述背铝栅线与背银主栅垂直连接；
所述正电极采用电镀设备制备而得，所述电镀设备包括电镀槽、LED灯和电源，管式PERC双面太阳电池的正面朝下且与电镀槽的电镀液接触，管式PERC双面太阳电池的背面朝上且不与电镀槽的电镀液接触，所述LED灯照射管式PERC双面太阳电池的背面；
所述电镀槽内设有阳极板和电刷，所述电源的正极与阳极板连接，电源的负极与电刷连接，电刷与管式PERC双面太阳电池背面的背银主栅连接。
2.如权利要求1所述管式PERC双面太阳电池，其特征在于，所述电刷上设有凹槽，所述凹槽包裹所述背银主栅，所述电刷的材质为石墨。
3.如权利要求1所述管式PERC双面太阳电池，其特征在于，所述LED灯产生LED绿光。
4.如权利要求3所述管式PERC双面太阳电池，其特征在于，所述LED灯照射背银主栅、背铝栅线和背面复合膜。
5.一种管式PERC双面太阳电池的正电极的制备方法，其特征在于，包括：
(1)将管式PERC双面太阳电池半成品置于电镀设备中，正面朝下，背面朝上，LED灯照射管式PERC双面太阳电池半成品的背面，并使得电池背面的背银主栅与电镀设备的电刷相连接；
(2)管式PERC双面太阳电池半成品的正面与电镀槽的电镀液接触，形成正电极，而管式PERC双面太阳电池半成品的背面不与电镀槽的电镀液接触。
6.如权利要求5所述管式PERC双面太阳电池的正电极的制备方法，其特征在于，所述电刷上设有凹槽，所述凹槽包裹所述背银主栅，所述电刷的材质为石墨。
7.一种管式PERC双面太阳电池的制备方法，其特征在于，包括：
(1)在硅片正面形成绒面，所述硅片为P型硅；
(2)在硅片正面进行扩散，形成N型发射极；
(3)去除扩散过程形成的磷硅玻璃和周边PN结，并对硅片背面进行抛光；
(4)对硅片进行退火；
(5)采用管式PECVD设备在硅片背面沉积背面复合膜：
(6)在硅片正面沉积钝化膜；
(7)对硅片背面复合膜上进行激光开槽；
(8)对硅片正面钝化膜上进行激光开槽；
(9)在硅片背面印刷背银主栅；
(10)在激光开槽区上印刷铝浆，使之与背银主栅连接；
(11)对背面印刷电极进行烧结，得到管式PERC双面太阳电池半成品；
(12)将管式PERC双面太阳电池半成品置于电镀设备中，正面朝下，背面朝上，LED灯照射管式PERC双面太阳电池半成品的背面，并使得电池背面的背银主栅与电镀设备的电刷相连接，管式PERC双面太阳电池半成品的正面与电镀槽的电镀液接触，形成正电极，而管式PERC双面太阳电池半成品的背面不与电镀槽的电镀液接触；
(13)对硅片进行抗LID退火，制得管式PERC双面太阳电池成品。
8.一种管式PERC双面太阳电池的专用电镀设备，其特征在于，包括水平设置的电镀槽，设于电镀槽上部、并用于承载管式PERC双面太阳电池的承载轴，设于电镀槽上方的LED灯，以及电源；
所述电镀槽内设有阳极板和电刷，所述电源的正极与阳极板连接，电源的负极与电刷连接，电刷与管式PERC双面太阳电池背面的背银主栅连接，所述LED灯照射管式PERC双面太阳电池的背面。
9.如权利要求8所述的专用电镀设备，其特征在于，所述电刷上设有凹槽，所述凹槽包裹所述背银主栅，所述电刷的材质为石墨。
10.如权利要求9所述的专用电镀设备，其特征在于，所述LED灯为LED绿灯。
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