CN206089798U - 夹持组件及真空镀膜设备 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种夹持组件及真空镀膜设备，属于真空镀膜领域。所述夹持组件包括：夹具和底座；夹具包括柱状结构和位于柱状结构一端的夹持结构，柱状结构的另一端与底座可拆卸连接；柱状结构的一端还设置有遮挡结构，遮挡结构向柱状结构的至少一侧延伸，遮挡结构的延伸方向包括与夹持结构的延伸方向相反的方向。本实用新型能够提高衬底基板上形成的金属膜层质量。
Description
技术领域
本实用新型涉及真空镀膜领域，特别涉及一种夹持组件及真空镀膜设备。
背景技术
目前，在衬底基板上进行物理气相沉积(英文：Physical Vapor Deposition；简称：PVD)真空镀膜时，一般需要将衬底基板固定在载台，如石英板，上，然后放置在PVD镀膜设备中进行镀膜。
现有技术中，石英板上设置有固定衬底基板用的通孔，利用夹持组件通过石英板上的通孔将衬底基板固定在石英板上，保证真空镀膜工作顺利进行。
现有技术所用的夹持组件，在使用的过程中，会与石英板上的通孔之间留有空隙，导致夹持组件的底座部分裸露在外面，在真空镀膜的过程中，金属粒子会通过空隙沉积在夹持组件的底座上边，导致夹持组件短路，使得衬底基板上形成的金属膜层上有电流通过，产生雪花放电现象，影响膜层质量。
实用新型内容
为了解决膜层质量较低的问题，本实用新型实施例提供了一种夹持组件及真空镀膜设备。所述技术方案如下：
第一方面，提供了一种夹持组件，所述夹持组件包括：
夹具和底座；
所述夹具包括柱状结构和位于所述柱状结构一端的夹持结构，所述柱状结构的另一端与所述底座可拆卸连接；
所述柱状结构的一端还设置有遮挡结构，所述遮挡结构向所述柱状结构的至少一侧延伸，所述遮挡结构的延伸方向包括与所述夹持结构的延伸方向相反的方向。
可选的，所述遮挡结构为翼型板状结构，所述翼型板状结构和所述夹持结构分别向所述柱状结构的两侧延伸。
可选的，所述翼型板状结构的边缘设置有朝向所述底座弯折的弯折结构。
可选的，所述遮挡结构为保护罩，所述保护罩扣置在所述夹持结构上方，且以所述柱状结构一端为中心，向所述柱状结构的周围延伸。
可选的，所述柱状结构的另一端设置有内螺纹孔；
所述底座上设置有支撑柱，所述支撑柱上端设置有外螺纹，所述柱状结构与所述支撑柱通过所述内螺纹孔和所述外螺纹螺纹连接。
可选的，所述柱状结构的另一端设置有外螺纹；
所述底座上设置有支撑柱，所述支撑柱上端设置有内螺纹孔，所述柱状结构与所述支撑柱通过所述外螺纹和所述内螺纹孔螺纹连接。
可选的，所述保护罩的材质为橡胶。
第二方面，提供了一种真空镀膜设备，所述设备包括：
载台和多个第一方面所述的夹持组件；
所述载台上设置有多个通孔，每个所述夹持组件的夹具的柱状结构穿过一个通孔，所述柱状结构一端的夹持结构与所述载台配合将衬底基板夹持。
可选的，所述遮挡结构在所述载台上的正投影的面积大于所述通孔的面积。
可选的，所述载台为石英板。
本实用新型实施例提供的技术方案带来的有益效果是：
本实用新型提供的夹持组件及真空镀膜设备，通过设置遮挡结构，在进行真空镀膜时，能够阻挡金属粒子沉积在夹持组件的底座上，避免夹持组件短路，进而保证了衬底基板上形成的金属膜层上不会有电流通过，避免了雪花放电现象的产生，从而提高了金属膜层的质量。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本实用新型一示意性实施例提供的一种夹持组件结构示意图；
图2是本实用新型一示意性实施例提供的一种夹具俯视图；
图3是本实用新型一示意性实施例提供的一种夹具的结构示意图；
图4是本实用新型一示意性实施例提供的一种真空镀膜设备结构示意图；
图5是本实用新型一示意性实施例提供的另一种真空镀膜设备结构示意图。
具体实施方式
为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本实用新型实施方式作进一步地详细描述。
本实用新型实施例提供一种夹持组件00，如图1所示，包括：
夹具01和底座02。
夹具01包括柱状结构011和位于柱状结构011一端的夹持结构012，柱状结构011的另一端与底座02可拆卸连接。
柱状结构011的一端还设置有遮挡结构013，遮挡结构013向柱状结构011的至少一侧延伸，遮挡结构013的延伸方向包括与夹持结构012的延伸方向相反的方向。
现有技术中，在使用夹持组件将衬底基板与载台固定的时候，载台上的通孔与夹持组件之间会存在空隙，本实用新型实施例设置遮挡结构对空隙进行遮挡，该遮挡结构的延伸方向可以为与夹持结构的延伸方向相反的方向，也可以为沿着柱状结构的其他方向延伸，只要保证设置的遮挡结构能够将空隙遮挡住即可。
综上所述，本实用新型实施例提供的夹持组件，通过设置遮挡结构，在进行真空镀膜时，能够阻挡金属粒子沉积在夹持组件的底座上，避免夹持组件短路，进而保证了衬底基板上形成的金属膜层上不会有电流通过，避免了雪花放电现象的产生，从而提高了金属膜层的质量。
可选的，图2是本实用新型实施例提供的一种夹具俯视图，如图2所示，遮挡结构013可以为翼型板状结构，翼型板状结构和夹持结构012分别向柱状结构011的两侧延伸，实际应用中，该翼型板状结构的形状可以有多种，例如扇形或矩形等。图3是本实用新型实施例提供的一种夹具的结构示意图，如图3所示，该翼型板状结构的边缘可以设置有朝向底座弯折的弯折结构W，设置的弯折结构能够对空隙实现更好的遮挡。
其中，该弯折结构可以与翼型板状结构垂直，也可以与翼型板状结构成一定的角度，图3所示为弯折结构垂直于翼型板状结构设置的情形。实际应用中，在设置该弯折结构的时候，只要保证该弯折结构朝向底座方向且不影响夹持组件的正常工作即可。
可选的，遮挡结构013也可以为保护罩，保护罩扣置在夹持结构012上方，且以柱状结构011一端为中心，向柱状结构011的周围延伸。其中，该保护罩的材质可以为橡胶。
由于橡胶具有耐热、耐老化、电绝缘性好的特点，采用橡胶材质的保护罩可以在对空隙进行有效遮挡的同时保证真空镀膜工作不受该保护罩的影响。
进一步地，夹具和底座可以螺纹连接，具体的连接结构可以是：柱状结构011的另一端设置有内螺纹孔；底座02上设置有支撑柱021，支撑柱021上端设置有外螺纹，柱状结构011与支撑柱021通过内螺纹孔和外螺纹螺纹连接。也即是支撑柱的上端可以拧入该柱状结构的内螺纹孔中，或者从该内螺纹孔中拧出。该连接结构也可以是：柱状结构011的另一端设置有外螺纹；底座02上设置有支撑柱021，支撑柱021上端设置有内螺纹孔，柱状结构011与支撑柱021通过外螺纹和内螺纹孔螺纹连接。也即是柱状结构的下端可以拧入该支撑柱的内螺纹孔中，或者从该内螺纹孔中拧出。夹具和底座通过螺纹连接，方便拆卸，有利于计划性维护(英文：Plan maintain；简称：PM)清洗工作的进行。
示例的，该柱状结构可以是长方体柱状结构，在该长方体柱状结构的另一端设置有内螺纹孔，在底座上的支撑柱上设置外螺纹，其中，该外螺纹与柱状结构的内螺纹孔中的内螺纹相吻合，设置的螺纹结构的长度可以为1厘米。
综上所述，本实用新型实施例提供的夹持组件，通过设置遮挡结构，在进行真空镀膜时，能够阻挡金属粒子沉积在夹持组件的底座上，避免夹持组件短路，进而保证了衬底基板上形成的金属膜层上不会有电流通过，避免了雪花放电现象的产生，从而提高了金属膜层的质量。
本实用新型实施例提供一种真空镀膜设备11，如图4所示，包括：载台111和多个本实用新型提供的任意一个夹持组件00。
载台111上设置有多个通孔，每个夹持组件00的夹具01(参见图1)的柱状结构011(参见图1)穿过一个通孔，柱状结构011一端的夹持结构012(参见图1)与载台111配合将衬底基板112夹持。
实际应用中，载台上通孔的数量及分布方式，可以根据实际加工情况来设置。例如，可以沿衬底基板的四周采用均匀分布的方式在载台上设置若干通孔，也可以沿衬底基板的四周采用不均匀分布的方式在载台上设置若干通孔。示例的，如图5所示，可以在载台上设置10个通孔，该通孔的形状可以为圆角矩形，该10个通孔在衬底基板的四周不均匀分布。
在使用夹持组件对衬底基板进行夹持的时候，可以先将夹持组件的底座放置在载台下与通孔对应的位置，再将夹持组件的夹具通过通孔放入对应的底座中，然后旋紧夹具，使夹具和底座螺纹连接在一起。将夹具与底座固定在一起之后，调整夹持组件与通孔及衬底基板的相对位置，然后对夹持组件进行动作确认，具体的，可以对夹具和底座进行多次旋松及旋紧的操作，完成动作确认之后，将夹具与底座固定在一起，最后确认夹持组件与通孔及衬底基板的相对位置，完成夹持组件的夹持操作。
可选的，遮挡结构013(参见图1)在载台111上的正投影的面积大于通孔的面积，这样可以保证遮挡结构能够对通孔进行有效的遮挡。其中，该载台可以为石英板。
综上所述，本实用新型实施例提供的真空镀膜设备，通过设置遮挡结构，在进行真空镀膜时，能够阻挡金属粒子沉积在夹持组件的底座上，避免夹持组件短路，进而保证了衬底基板上形成的金属膜层上不会有电流通过，避免了雪花放电现象的产生，从而提高了金属膜层的质量。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种夹持组件，其特征在于，包括：
夹具和底座；
所述夹具包括柱状结构和位于所述柱状结构一端的夹持结构，所述柱状结构的另一端与所述底座可拆卸连接；
所述柱状结构的一端还设置有遮挡结构，所述遮挡结构向所述柱状结构的至少一侧延伸，所述遮挡结构的延伸方向包括与所述夹持结构的延伸方向相反的方向。
2.根据权利要求1所述的夹持组件，其特征在于，
所述遮挡结构为翼型板状结构，所述翼型板状结构和所述夹持结构分别向所述柱状结构的两侧延伸。
3.根据权利要求2所述的夹持组件，其特征在于，
所述翼型板状结构的边缘设置有朝向所述底座弯折的弯折结构。
4.根据权利要求1所述的夹持组件，其特征在于，
所述遮挡结构为保护罩，所述保护罩扣置在所述夹持结构上方，且以所述柱状结构一端为中心，向所述柱状结构的周围延伸。
5.根据权利要求1至4任一所述的夹持组件，其特征在于，
所述柱状结构的另一端设置有内螺纹孔；
所述底座上设置有支撑柱，所述支撑柱上端设置有外螺纹，所述柱状结构与所述支撑柱通过所述内螺纹孔和所述外螺纹螺纹连接。
6.根据权利要求1至4任一所述的夹持组件，其特征在于，
所述柱状结构的另一端设置有外螺纹；
所述底座上设置有支撑柱，所述支撑柱上端设置有内螺纹孔，所述柱状结构与所述支撑柱通过所述外螺纹和所述内螺纹孔螺纹连接。
7.根据权利要求4所述的夹持组件，其特征在于，
所述保护罩的材质为橡胶。
8.一种真空镀膜设备，其特征在于，包括：载台和多个权利要求1至7任一所述的夹持组件；
所述载台上设置有多个通孔，每个所述夹持组件的夹具的柱状结构穿过一个通孔，所述柱状结构一端的夹持结构与所述载台配合将衬底基板夹持。
9.根据权利要求8所述的真空镀膜设备，其特征在于，所述遮挡结构在所述载台上的正投影的面积大于所述通孔的面积。
10.根据权利要求9所述的真空镀膜设备，其特征在于，所述载台为石英板。
Priority Applications (1)
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| CN201621182781.1U CN206089798U (zh) | 2016-10-27 | 2016-10-27 | 夹持组件及真空镀膜设备 |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN201621182781.1U CN206089798U (zh) | 2016-10-27 | 2016-10-27 | 夹持组件及真空镀膜设备 |
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107699890A (zh) * | 2017-09-27 | 2018-02-16 | 武汉华星光电技术有限公司 | 镀膜机夹具及镀膜机 |
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2016
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| CN107699890A (zh) * | 2017-09-27 | 2018-02-16 | 武汉华星光电技术有限公司 | 镀膜机夹具及镀膜机 |
| CN107699890B (zh) * | 2017-09-27 | 2020-01-03 | 武汉华星光电技术有限公司 | 镀膜机夹具及镀膜机 |
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