CN206066724U - 一种线切机切割硅片后的废弃切削液的回收系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种线切机切割硅片后的废弃切削液的回收系统，其包括储液箱、线切机、切削液收集箱、压滤机、清液收集箱、精滤器、RO水存储箱、切削液存储箱和回用液存储箱，储液箱的侧壁底部设置有溢流口，溢流口与切削液收集箱进液口通过出液管连通，切削液收集箱、压滤机、清液收集箱、精滤器和回用液存储箱依次连通；出液管为直管，出液管上连通有h形溢流管，溢流管的底端两侧管口分别与出液管垂直连通，溢流管的顶端管口处设置有滤网，溢流管两底端之间的出液管上设置有开关阀。本实用新型储液箱溢流口位于储液箱侧壁底部，使得废弃切削液自储液箱底部流出，利于储液箱内固相置换外排，防止储液箱内因固体累积过多导致储液箱出液口堵塞。

Description

一种线切机切割硅片后的废弃切削液的回收系统

技术领域：

本实用新型涉及切削液的回收系统，具体涉及一种线切机切割硅片后的废弃切削液的回收系统。

背景技术：

固结磨料金刚石线锯切割技术使用方案是，将金刚石微粉固结到切割线上，钢丝线往复移动对硅晶体进行切割。在利用固结磨料金刚石线锯技术切割硅片时，切割过程中，需要切削液对切割线润滑降温，为了切割效果好，切削液需要不断更换，使用过的切削液就需要不断排出，废弃切削液如果直接排走就会造成切削液的大量浪费。

经过处理切削液可以回收再利用，在回收利用过程中，经过处理的废切削液在回用液存储箱中经过调配以后直接回到线切机自带的储液箱中，同时储液箱中有装有清切削液，储液箱中的清切削液和回收的经过处理的废切削液泵入线切机中,为线切机的切割提供切削液，线切机切割后的废弃切削液再泵回到储液箱中，储液箱与线切机中的切削液形成循环，因为储液箱中废弃切削液的堆积，逐渐会影响线切机的切割效果，所以通过储液箱上的溢流口将储液箱中的废弃切削液逐步置换入切削液收集箱中，如图1所示，目前的储液箱7侧壁设置有溢流口701和排出口702，其中溢流口701设置在其侧壁顶部，排出口702设置在其侧壁底部，溢流口701用于将废弃切削液逐渐置换到切削液收集箱中，而排出口702用于完成切割后废弃切削液中固 相的最终排出；溢流口701上连接有倒L形的溢流管11，排出口702上连接有出液管10，溢流管11的一端与溢流口701连通，另一端与出液管10垂直连通，且在出液管10与溢流管11上均设置开关阀9，在切割过程中出液管10上的开关阀9关闭，溢流管11上的开关阀9开启，切割完后，将出液管10上的开关阀9开启，这样设计储液箱7内沉在底部的废弃切削液中的固体不能快速置换外排，累积太多可能会导致排出口702甚至溢流口701的堵塞。

另外在回收利用废弃切削液过程中，目前线切机切割后的废弃切削液进入切削液收集箱中，切削液收集箱中的切削液直接在离心泵的作用下抽至过滤设备中，此种设计会使切削液过滤设备供液管路压力过大进而会对过滤效果产生不良的影响；又目前经过压滤处理的切削液进入清液收集箱中，然后清液收集箱中的切削液直接排入到回用液存储箱中，回用液存储箱中的切削液经过调配直接循环利用到线切机切割硅片中，此种系统设计对清液收集箱中的切削液中可能存在的杂质无法有效隔离，调配后直接回用到切割硅片中，可能造成切割硅片的不良率提高。

实用新型内容：

本实用新型的目的在于提供一种线切机切割硅片后的废弃切削液的回收系统，解决目前废弃切削液直接排走造成浪费、切削液回收系统中储液箱内固体不易置换，且切削液杂质无法有效隔离造成硅片不良率提高的问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了其包括储液箱、线切 机、切削液收集箱、压滤机、清液收集箱、精滤器、RO水存储箱、切削液存储箱和回用液存储箱，所述储液箱的侧壁底部设置有溢流口，所述线切机的进液口与所述储液箱的出液口通过管路连接，所述线切机的出液口与所述储液箱的进液口通过管路连接，所述溢流口与所述切削液收集箱的进液口通过出液管连通，所述切削液收集箱的出液口与所述压滤机的进液口通过供液管路连通，所述压滤机的清液出口与所述清液收集箱的进液口通过管路连通，所述清液收集箱的出液口与所述精滤器的进液口通过管路连通，所述精滤器的出液口与所述回用液存储箱的进液口通过管路连通，所述RO水存储箱的出液口和所述切削液存储箱的出液口分别和所述回用液存储箱的进液口通过管路连通，所述回用液存储箱的出液口与所述储液箱的进液口通过管路连通，所述压滤机的浊液出口与所述压滤机的进液口通过管路连通；所述出液管为直管，所述出液管上连通有h形的溢流管，所述溢流管的底端两侧管口分别与所述出液管垂直连通，所述溢流管的顶端管口处设置有滤网，所述溢流管的两底端之间的所述出液管上设置有开关阀。

可选地，所述供液管路上设置有离心泵和压力表，所述离心泵和所述压力表之间的所述供液管路上连通有一回流管路，所述回流管路的出液口与所述切削液收集箱的进液口连通，所述回流管路上设置有一调节阀。

可选地，所述压滤机的浊液出口与所述压滤机的进液口之间还连通有助滤剂存储罐，所述压滤机的浊液出口与所述助滤剂存储罐进液 口通过管路连通，所述助滤剂存储罐出液口与所述压滤机的进液口通过管路连通。

可选地，所述精滤器为50um的过滤袋。

本实用新型的优点：本实用新型提供的一种线切机切割硅片后的废弃切削液的回收系统将废弃切削液处理后直接回用到线切机切割中，充分利用废弃切削液；另本实用新型直接将储液箱侧壁底部的排出口作为溢流口，不需要在储液箱上另开孔，且使得溢流出的废弃切削液自储液箱底部流出，利于储液箱内固相置换外排，且在储液箱的溢流口与线切机的进液口之间的溢流管顶端管口处设置过滤网，防止外界杂物掉入溢流管中，堵塞溢流管。同时本实用新型通过将经过压滤机处理后流出的清液继续经过精滤器去除可能存在的杂质，最终降低回用切削液中的杂质含量，保证切削液品质，进而保证切割硅片的良率。另外本实用新型提供的一种线切机用切削液回收系统在压滤机的供液管路上增加了回流管路，且在回流管路上设置调节阀，根据供液管路上压力表的压力值控制调节阀的开度，进而实现控制供液管路上的压力，提高压滤效果。

附图说明：

图1为背景技术中储液箱的结构示意图；

图2为实施例1的结构示意图；

图3为实施例2的结构示意图；

图4为实施例1和实施例2提供的储液箱的结构示意图。

附图说明如下：1、切削液收集箱；2、压滤机；3、清液收集箱； 4、RO水存储箱；5、切削液存储箱；6、回用液存储箱；7、储液箱；701、溢流口；702、排出口；8、线切机；9、开关阀；10、出液管；11、溢流管；12、助滤剂存储罐；13、精滤器；14、供液管路；15、回流管路；16、离心泵；17、压力表；18、调节阀；19、滤网。

具体实施方式：

为使本实用新型要解决的技术问题、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图及具体实施例进行详细描述。

实施例1：如图2和图4所示，在本实用新型的实施例中，提供了一种线切机切割硅片后的废弃切削液的回收系统，其包括储液箱7、线切机8、切削液收集箱1、压滤机2、清液收集箱3、精滤器13、RO水存储箱4、切削液存储箱5和回用液存储箱6，储液箱7的侧壁底部设置有溢流口701，线切机8的进液口与储液箱7的出液口通过管路连接，线切机8的出液口与储液箱7的进液口通过管路连接，溢流口701与切削液收集箱1的进液口通过出液管10连通，切削液收集箱1的出液口与压滤机2的进液口通过供液管路14连通，压滤机2的清液出口与清液收集箱3的进液口通过管路连通，清液收集箱3的出液口与精滤器13的进液口通过管路连通，精滤器13的出液口与回用液存储箱6的进液口通过管路连通，RO水存储箱4的出液口和切削液存储箱5的出液口分别和回用液存储箱6进液口通过管路连通，回用液存储箱6出液口与储液箱7进液口通过管路连通，压滤机2的浊液出口与助滤剂存储罐12进液口通过管路连通，助滤剂存储罐12出液口与压滤机2的进液口通过管路连通；出液管10为直管， 出液管10上连通有h形的溢流管11，溢流管11的底端两侧管口分别与出液管10垂直连通，溢流管11的顶端管口处设置有滤网19，溢流管11的两底端之间的出液管10上设置有开关阀9。在本实用新型的具体实施例中，精滤器13为50um的过滤袋。

本实用新型的具体工作流程中，储液箱7中废弃切削液进入到切削液收集箱1中，然后经过压滤机2压滤处理后，清液进行调配，通过RO水及切割液的补充后形成最终产品回收利用，重新利用到线切机切割硅片中。

本实施例通过将经过压滤机2处理后流出的清液继续经过精滤器13去除可能存在的杂质，最终降低回用切削液中的杂质含量，保证切削液品质，进而保证切割硅片的良率。另本实施例直接将储液箱7侧壁底部的出液口作为溢流口701，不需要在储液箱7上另开孔，且使得溢流出的废弃切削液自储液箱7底部流出，利于储液箱7内固相置换外排，且在储液箱7的溢流口701与线切机8的进液口之间的溢流管11顶端管口处设置过滤网19，防止外界杂物掉入溢流管11中，堵塞溢流管11。

本实施例废弃切削液回收过程：在整个系统切割一开始，开关阀9关闭，储液箱7一直为线切机8提供切削液，线切机8中切割后的废弃切削液再泵入储液箱7中，因为储液箱7中一直有清切削液不断注入，所以储液箱7中废弃切削液就会不断排出，储液箱7中的废弃切削液不断经溢流管11排入到切削液收集箱1中，然后经过压滤机2实现固液分离，一开始从压滤机2中流出的浊液继续回到压滤机2 中继续过滤，而压滤机2工作一段时间后流出的清液经过补充RO水和切削液调配以后回流到储液箱7中继续循环利用；当整个系统切割结束时，打开开关阀9让储液箱7底部切削液完全排出。

实施例2：如图3所示，本实施例与实施例1的区别在于，在供液管路14上还设置有离心泵16和压力表17，离心泵16和压力表17之间的供液管路14上连接有一回流管路15，回流管路15的出液口与切削液收集箱1的进液口连通，回流管路15上设置有一调节阀18。

本实施例供液管路14上增加了回流管路15和压力表17，且在回流管路15上设置调节阀18，根据供液管路14上压力表17的压力值控制调节阀18的开度，进而实现控制供液管路14上的压力，提高压滤效果。

以上是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (4)

1.一种线切机切割硅片后的废弃切削液的回收系统，其特征在于，其包括储液箱、线切机、切削液收集箱、压滤机、清液收集箱、精滤器、RO水存储箱、切削液存储箱和回用液存储箱，所述储液箱的侧壁底部设置有溢流口，所述线切机的进液口与所述储液箱的出液口通过管路连接，所述线切机的出液口与所述储液箱的进液口通过管路连接，所述溢流口与所述切削液收集箱的进液口通过出液管连通，所述切削液收集箱的出液口与所述压滤机的进液口通过供液管路连通，所述压滤机的清液出口与所述清液收集箱的进液口通过管路连通，所述清液收集箱的出液口与所述精滤器的进液口通过管路连通，所述精滤器的出液口与所述回用液存储箱进液口通过管路连通，所述RO水存储箱出液口和所述切削液存储箱出液口分别和所述回用液存储箱进液口通过管路连通，所述回用液存储箱出液口与所述储液箱进液口通过管路连通，所述压滤机的浊液出口与所述压滤机的进液口通过管路连通；

所述出液管为直管，所述出液管上连通有h形的溢流管，所述溢流管的底端两侧管口分别与所述出液管垂直连通，所述溢流管的顶端管口处设置有滤网，所述溢流管的两底端之间的所述出液管上设置有开关阀。

2.根据权利要求1所述的一种线切机切割硅片后的废弃切削液的回收系统，其特征在于，所述供液管路上设置有离心泵和压力表，所述离心泵和所述压力表之间的所述供液管路上连通有一回流管路，所述回流管路的出液口与所述切削液收集箱的进液口连通，所述回流管路上设置有一调节阀。

3.根据权利要求1或2所述的一种线切机切割硅片后的废弃切削液的回收系统，其特征在于，所述压滤机的浊液出口与所述压滤机的进液口之间还连通有助滤剂存储罐，所述压滤机的浊液出口与所述助滤剂存储罐进液口通过管路连通，所述助滤剂存储罐出液口与所述压滤机的进液口通过管路连通。

4.根据权利要求3所述的一种线切机切割硅片后的废弃切削液的回收系统，其特征在于，所述精滤器为50um的过滤袋。