CN206056574U - 用于机械手臂水平和位置的检测及调整的装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供了一种用于机械手臂水平和位置的检测及调整的装置，包括：布置在主体的台面上的第一水平仪、第二水平仪、第三水平仪和第四水平仪，其中第一水平仪和第三水平仪平行布置，第二水平仪和第四水平仪平行布置，而且第一水平仪和第三水平仪的布置方向与第二水平仪和第四水平仪的布置方向垂直。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体制造领域，更具体地说，本实用新型涉及一种用于机械手臂水平和位置的检测及调整的装置。
背景技术
在集成电路生产过程中，尤其是针对通过OHT(Overhead hoist transport，高架提升传输或天车)传送到机台上的自动传输系统，对OHT机械手臂的位置和水平要求非常高。如果OHT机械手臂的位置和水平不好，OHT就会报警，影响制造部产能，严重的情况下甚至会导致产品的报废。
然而，目前还没有检测OHT机械手臂位置的工具，在实际作业中，只能靠目测来检测OHT机械手臂位置。另一方面，目前检查OHT机械手臂水平需要在X/Y轴各放一次水平仪，测量精度存在误差；现有的技术在检查OHT机械手臂水平需要把水平仪放置在机械手臂上端，而不是直接测量机械手臂水平，其精度存在误差。而且，在移动部件上放置水平仪，需要把机械手臂下降到负载端口高度抓取晶圆传送盒(FOUP)并抬起，移动部件上放置水平仪，存在安全隐患。
因此，希望能够提供提供一种能够用于机械手臂水平和位置的检测及调整的装置。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是针对现有技术中存在上述缺陷，提供一种能够用于机械手臂水平和位置的检测及调整的装置。
为了实现上述技术目的，根据本实用新型，提供了一种用于机械手臂水平和位置的检测及调整的装置，包括：布置在主体的台面上的第一水平仪、第二水平仪、第三水平仪和第四水平仪，其中第一水平仪和第三水平仪平行布置，第二水平仪和第四水平仪平行布置，而且第一水平仪和第三水平仪的布置方向与第二水平仪和第四水平仪的布置方向垂直。
优选地，在所述用于机械手臂水平和位置的检测及调整的装置中，主体的台面上形成有第一刻度标记和第二刻度标记，其中第一刻度标记对应于自动传输设备机械手臂的打开位置，第二刻度标记对应于自动传输设备机械手臂的闭合位置。
优选地，在所述用于机械手臂水平和位置的检测及调整的装置中，第一刻度标记包括位于主体的台面两侧的两个部分刻度标记。
优选地，在所述用于机械手臂水平和位置的检测及调整的装置中，第二刻度标记包括位于主体的台面两侧的两个部分刻度标记。
优选地，在所述用于机械手臂水平和位置的检测及调整的装置中，第一水平仪和第三水平仪之间的距离不小于晶圆传送盒的第一尺寸。
优选地，在所述用于机械手臂水平和位置的检测及调整的装置中，晶圆传送盒的第一尺寸为晶圆传送盒的长度。
优选地，在所述用于机械手臂水平和位置的检测及调整的装置中，第二水平仪和第四水平仪之间的距离不小于晶圆传送盒的第二尺寸。
优选地，在所述用于机械手臂水平和位置的检测及调整的装置中，晶圆传送盒的第二尺寸为晶圆传送盒的宽度。
优选地，在所述用于机械手臂水平和位置的检测及调整的装置中，所述用于机械手臂水平和位置的检测及调整的装置用于半导体自动传输设备。
优选地，在所述用于机械手臂水平和位置的检测及调整的装置中，第一水平仪和第三水平仪之间的距离等于第二水平仪和第四水平仪之间的距离。
本实用新型设计的工具可以快速有效地完成对OHT机械手臂位置检查及调整的动作，对于OHT来说，即节省了调整时间，又节省了人力。本实用新型设计的工具即可以作为检查又可以作为调整的工具，起到了事半功倍的效果。
由此，本实用新型可以对OHT机械手臂的位置和水平进行快速检测和调整，可以大大降低OHT报警机率，进而减少对产品报废的风险。同时对工程师来说起到事半功倍的效果。本实用新型可以减少安全隐患及减小水平方向的误差，从而降低对晶圆传送盒中晶圆损伤的风险。同时方便工程师快速有效地完成对OHT位置的检查及调整。
附图说明
结合附图，并通过参考下面的详细描述，将会更容易地对本实用新型有更完整的理解并且更容易地理解其伴随的优点和特征，其中：
图1示意性地示出了根据本实用新型优选实施例的用于机械手臂水平和位置的检测及调整的装置的立体示图。
图2示意性地示出了根据本实用新型优选实施例的用于机械手臂水平和位置的检测及调整的装置的俯视图。
需要说明的是，附图用于说明本实用新型，而非限制本实用新型。注意，表示结构的附图可能并非按比例绘制。并且，附图中，相同或者类似的元件标有相同或者类似的标号。
具体实施方式
为了使本实用新型的内容更加清楚和易懂，下面结合具体实施例和附图对本实用新型的内容进行详细描述。
本实用新型按照晶圆传送盒尺寸设计一种装置，此装置带有刻线和四个水平仪。当对OHT机械手臂位置检测及调整时只需把机械手臂按照打开/闭合处刻线调整即可。如果对机械手臂水平进行检测和调整，只需机械手臂把模型抓起来即可对其水平进行检测和调整。
图1示意性地示出了根据本实用新型优选实施例的用于机械手臂水平和位置的检测及调整的装置的立体示图，图2示意性地示出了根据本实用新型优选实施例的用于机械手臂水平和位置的检测及调整的装置的俯视图。具体地，所述用于机械手臂水平和位置的检测及调整的装置用于半导体自动传输设备。
如图1、图2所示，根据本实用新型优选实施例的用于机械手臂水平和位置的检测及调整的装置包括：布置在主体100的台面上的第一水平仪11、第二水平仪12、第三水平仪13和第四水平仪14，其中第一水平仪11和第三水平仪13平行布置，第二水平仪12和第四水平仪14平行布置，而且第一水平仪11和第三水平仪13的布置方向与第二水平仪12和第四水平仪14的布置方向垂直。
优选地，第一水平仪11和第三水平仪13之间的距离等于第二水平仪12和第四水平仪14之间的距离。当然，第一水平仪11和第三水平仪13之间的距离可以不同于第二水平仪12和第四水平仪14之间的距离。
而且，优选地，第一水平仪11和第三水平仪13之间的距离不小于晶圆传送盒的第一尺寸(例如，晶圆传送盒的第一尺寸为晶圆传送盒的长度)。优选地，第二水平仪12和第四水平仪14之间的距离不小于晶圆传送盒的第二尺寸(例如，晶圆传送盒的第二尺寸为晶圆传送盒的宽度)。
而且，主体100的台面上形成有第一刻度标记21和第二刻度标记22，其中第一刻度标记21对应于自动传输设备机械手臂的打开位置，第二刻度标记22对应于自动传输设备机械手臂的闭合位置。
而且，如图1和图2所示，第一刻度标记21包括位于主体100的台面两侧的两个部分刻度标记。同样的，如图1和图2所示，第二刻度标记22包括位于主体100的台面两侧的两个部分刻度标记。
本实用新型设计的工具可以快速有效地完成对OHT机械手臂位置检查及调整的动作，对于OHT来说，即节省了调整时间，又节省了人力。本实用新型设计的工具即可以作为检查又可以作为调整的工具，起到了事半功倍的效果。
由此，本实用新型可以对OHT机械手臂的位置和水平进行快速检测和调整，可以大大降低OHT报警机率，进而减少对产品报废的风险。同时对工程师来说起到事半功倍的效果。本实用新型可以减少安全隐患及减小水平方向的误差，从而降低对晶圆传送盒中晶圆损伤的风险。同时方便工程师快速有效地完成对OHT位置的检查及调整。
此外，需要说明的是，除非特别说明或者指出，否则说明书中的术语“第一”、“第二”、“第三”等描述仅仅用于区分说明书中的各个组件、元素、步骤等，而不是用于表示各个组件、元素、步骤之间的逻辑关系或者顺序关系等。
可以理解的是，虽然本实用新型已以较佳实施例披露如上，然而上述实施例并非用以限定本实用新型。对于任何熟悉本领域的技术人员而言，在不脱离本实用新型技术方案范围情况下，都可利用上述揭示的技术内容对本实用新型技术方案作出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例。因此，凡是未脱离本实用新型技术方案的内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰，均仍属于本实用新型技术方案保护的范围内。
而且还应该理解的是，本实用新型并不限于此处描述的特定的方法、化合物、材料、制造技术、用法和应用，它们可以变化。还应该理解的是，此处描述的术语仅仅用来描述特定实施例，而不是用来限制本实用新型的范围。必须注意的是，此处的以及所附权利要求中使用的单数形式“一个”、“一种”以及“该”包括复数基准，除非上下文明确表示相反意思。因此，例如，对“一个元素”的引述意味着对一个或多个元素的引述，并且包括本领域技术人员已知的它的等价物。类似地，作为另一示例，对“一个步骤”或“一个装置”的引述意味着对一个或多个步骤或装置的引述，并且可能包括次级步骤以及次级装置。应该以最广义的含义来理解使用的所有连词。因此，词语“或”应该被理解为具有逻辑“或”的定义，而不是逻辑“异或”的定义，除非上下文明确表示相反意思。此处描述的结构将被理解为还引述该结构的功能等效物。可被解释为近似的语言应该被那样理解，除非上下文明确表示相反意思。
Claims (10)
1.一种用于机械手臂水平和位置的检测及调整的装置，其特征在于包括：布置在主体的台面上的第一水平仪、第二水平仪、第三水平仪和第四水平仪，其中第一水平仪和第三水平仪平行布置，第二水平仪和第四水平仪平行布置，而且第一水平仪和第三水平仪的布置方向与第二水平仪和第四水平仪的布置方向垂直。
2.根据权利要求1所述的用于机械手臂水平和位置的检测及调整的装置，其特征在于，主体的台面上形成有第一刻度标记和第二刻度标记，其中第一刻度标记对应于自动传输设备机械手臂的打开位置，第二刻度标记对应于自动传输设备机械手臂的闭合位置。
3.根据权利要求2所述的用于机械手臂水平和位置的检测及调整的装置，其特征在于，第一刻度标记包括位于主体的台面两侧的两个部分刻度标记。
4.根据权利要求2所述的用于机械手臂水平和位置的检测及调整的装置，其特征在于，第二刻度标记包括位于主体的台面两侧的两个部分刻度标记。
5.根据权利要求1至4之一所述的用于机械手臂水平和位置的检测及调整的装置，其特征在于，第一水平仪和第三水平仪之间的距离不小于晶圆传送盒的第一尺寸。
6.根据权利要求5所述的用于机械手臂水平和位置的检测及调整的装置，其特征在于，晶圆传送盒的第一尺寸为晶圆传送盒的长度。
7.根据权利要求1至4之一所述的用于机械手臂水平和位置的检测及调整的装置，其特征在于，第二水平仪和第四水平仪之间的距离不小于晶圆传送盒的第二尺寸。
8.根据权利要求7所述的用于机械手臂水平和位置的检测及调整的装置，其特征在于，晶圆传送盒的第二尺寸为晶圆传送盒的宽度。
9.根据权利要求1或2所述的用于机械手臂水平和位置的检测及调整的装置，其特征在于，所述用于机械手臂水平和位置的检测及调整的装置用于半导体自动传输设备。
10.根据权利要求1或2所述的用于机械手臂水平和位置的检测及调整的装置，其特征在于，第一水平仪和第三水平仪之间的距离等于第二水平仪和第四水平仪之间的距离。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN201621102068.1U CN206056574U (zh) | 2016-09-30 | 2016-09-30 | 用于机械手臂水平和位置的检测及调整的装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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| CN201621102068.1U CN206056574U (zh) | 2016-09-30 | 2016-09-30 | 用于机械手臂水平和位置的检测及调整的装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN206056574U true CN206056574U (zh) | 2017-03-29 |
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ID=58363373
Family Applications (1)
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Country Status (1)
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2016
- 2016-09-30 CN CN201621102068.1U patent/CN206056574U/zh active Active
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