CN205949399U - 一种水平旋转式高效硅片超声波清洗槽 - Google Patents
一种水平旋转式高效硅片超声波清洗槽 Download PDFInfo
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Abstract
本实用新型涉及一种水平旋转式高效硅片超声波清洗槽。当前，企业在对硅片进行超声波清洗时所采用的清洗槽均没有旋转功能，因此在对于一些死角位置的污物不能够充分清洗，导致硅片清洗不彻底，影响硅片的纯度，降低硅片的发电效率，存在不足。本实用新型涉及一种水平旋转式高效硅片超声波清洗槽，其中：底座与立柱固定连接，立柱顶部与槽体固定连接，电机与主动带轮同轴连接，主动带轮通过传动带与从动带轮连接，从动带轮与转盘固定连接，转盘与壳体固定连接。本装置采用水平旋转的方式，可以实现全方位无死角的清洗，对死角位置的污物能够充分的清洗，提高硅片的发电效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及硅片超声波清洗设备技术领域，尤其是一种水平旋转式高效硅片超声波清洗槽。
背景技术
当前，企业在对硅片进行超声波清洗时所采用的清洗槽均没有旋转功能，因此在对于一些死角位置的污物不能够充分清洗，导致硅片清洗不彻底，影响硅片的纯度，降低硅片的发电效率，存在不足。
发明内容
本实用新型的目的是提供一种水平旋转式高效硅片超声波清洗槽，为克服上述的不足，采用水平旋转的方式，可以实现全方位无死角的清洗，对死角位置的污物能够充分的清洗，提高硅片的发电效率。
本实用新型的技术方案：
一种水平旋转式高效硅片超声波清洗槽，包括底座、电机、主动带轮、传动带、立柱、从动带轮、转盘、壳体、槽体；其中：底座与立柱固定连接，立柱顶部与槽体固定连接，电机与主动带轮同轴连接，主动带轮通过传动带与从动带轮连接，从动带轮与转盘固定连接，转盘与壳体固定连接。
一种水平旋转式高效硅片超声波清洗槽，其中：壳体内壁设有超声波振子。
本实用新型的优点在于：本装置采用水平旋转的方式，可以实现全方位无死角的清洗，对死角位置的污物能够充分的清洗，提高硅片的发电效率。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意简图。
附图标记：底座1、电机2、主动带轮3、传动带4、立柱5、从动带轮6、转盘7、壳体8、槽体9、超声波振子10。
具体实施方式
实施例1、一种水平旋转式高效硅片超声波清洗槽，包括底座1、电机2、主动带轮3、传动带4、立柱5、从动带轮6、转盘7、壳体8、槽体9；其中：底座1与立柱5固定连接，立柱5顶部与槽体9固定连接，电机2与主动带轮3同轴连接，主动带轮3通过传动带4与从动带轮6连接，从动带轮6与转盘7固定连接，转盘7与壳体8固定连接。
实施例2、一种水平旋转式高效硅片超声波清洗槽，其中：壳体8内壁设有超声波振子10，超声波振子10可随壳体8水平转动，实现全方位无死角的清洗，对死角位置的污物能够充分彻底的清洗。其余同实施例1。
工作原理：
启动电机2，电机2带动主动带轮3旋转，主动带轮3通过传动带4带动从动带轮6旋转，从动带轮6带动转盘7旋转，转盘7带动壳体8旋转，壳体8带动超声波振子10水平旋转，旋转中的超声波振子10能够实现全方位无死角的对硅片进行清洗，能够清洗到当前市场上超声波清洗槽清洗不到的角落，提高清洗效率，动作结束。
Claims (2)
1.一种水平旋转式高效硅片超声波清洗槽，包括底座（1）、电机（2）、主动带轮（3）、传动带（4）、立柱（5）、从动带轮（6）、转盘（7）、壳体（8）、槽体（9）；其特征在于：底座（1）与立柱（5）固定连接，立柱（5）顶部与槽体（9）固定连接，电机（2）与主动带轮（3）同轴连接，主动带轮（3）通过传动带（4）与从动带轮（6）连接，从动带轮（6）与转盘（7）固定连接，转盘（7）与壳体（8）固定连接。
2.根据权利要求1所述的一种水平旋转式高效硅片超声波清洗槽，其特征在于：壳体（8）内壁设有超声波振子（10）。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN (1) | CN205949399U (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107214144A (zh) * | 2017-07-31 | 2017-09-29 | 深圳飞世尔新材料股份有限公司 | 一种手机塑胶机壳镭雕后的超声波清洗设备 |
| CN109158373A (zh) * | 2018-11-09 | 2019-01-08 | 江苏德润光电科技有限公司 | 一种多晶硅片智能化清洗装置 |
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2016
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