CN205926461U - 一种带加热功能的高效硅片超声波清洗槽 - Google Patents
一种带加热功能的高效硅片超声波清洗槽 Download PDFInfo
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Abstract
本实用新型涉及一种带加热功能的高效硅片超声波清洗槽。当前，企业在对硅片进行超声波清洗时采用的超声波清洗槽均没有加热功能，因此在清洗过程中，大量的难容物质难以被清洗，使得硅片清洗不彻底，残留的物质影响硅片的发电效率，存在不足。本实用新型涉及一种带加热功能的高效硅片超声波清洗槽，其中：主动带轮通过传动带与从动带轮连接，从动带轮与传送轮连接，传送轮与传送带连接，传送带与固定杆连接，固定杆与夹爪连接，超声波振子与槽体固定连接，电源与导线连接。本装置采用加热的方式，增加清洗液的溶解率，使得难容物质溶解于清洗液中，使清洗更充分，提高清洗效率，进而有利于硅片的发电效率的提高。
Description
技术领域
本实用新型涉及硅片超声波清洗设备技术领域，尤其是一种带加热功能的高效硅片超声波清洗槽。
背景技术
当前，企业在对硅片进行超声波清洗时采用的超声波清洗槽均没有加热功能，因此在清洗过程中，大量的难容物质难以被清洗，使得硅片清洗不彻底，残留的物质影响硅片的发电效率，存在不足。
发明内容
本实用新型的目的是提供一种带加热功能的高效硅片超声波清洗槽，为克服上述的不足，采用加热的方式，增加清洗液的溶解率，使得难容物质溶解于清洗液中，使清洗更充分，提高清洗效率，进而有利于硅片的发电效率的提高。
本实用新型的技术方案：
一种带加热功能的高效硅片超声波清洗槽，包括机体、电机、主动带轮、传动带、从动带轮、传送轮、传送带、固定杆、夹爪、超声波振子、槽体、电源、导线；其中：机体与电机固定连接，电机与主动带轮同轴连接，主动带轮通过传动带与从动带轮连接，从动带轮与传送轮连接，传送轮与传送带连接，传送带与固定杆连接，固定杆与夹爪连接，超声波振子与槽体固定连接，电源与导线连接。
一种带加热功能的高效硅片超声波清洗槽，其中：槽体内部设有加热丝。
本实用新型的优点在于：本装置采用加热的方式，增加清洗液的溶解率，使得难容物质溶解于清洗液中，使清洗更充分，提高清洗效率，进而有利于硅片的发电效率的提高。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意简图。
附图标记：机体1、电机2、主动带轮3、传动带4、从动带轮5、传送轮6、传送带7、固定杆8、夹爪9、超声波振子10、槽体11、电源12、导线13、加热丝14。
具体实施方式
实施例1、一种带加热功能的高效硅片超声波清洗槽，包括机体1、电机2、主动带轮3、传动带4、从动带轮5、传送轮6、传送带7、固定杆8、夹爪9、超声波振子10、槽体11、电源12、导线13；其中：机体1与电机2固定连接，电机2与主动带轮3同轴连接，主动带轮3通过传动带4与从动带轮5连接，从动带轮5与传送轮6连接，传送轮6与传送带7连接，传送带7与固定杆8连接，固定杆8与夹爪9连接，超声波振子10与槽体11固定连接，电源12与导线13连接。
实施例2、一种带加热功能的高效硅片超声波清洗槽，其中：槽体11内部设有加热丝14，提高清洗液的温度，增加清洗液的溶解率，使得难容物质溶解于清洗液中，使清洗更充分，提高清洗效率，进而有利于硅片的发电效率的提高。其余同实施例1。
工作原理：
启动电机2，电机2带动主动带轮3旋转，主动带轮3通过传动带4带动从动带轮5旋转，从动带轮5带动传送轮6旋转，传送轮6带动传送带7转动，传送带7带动固定杆8转动，固定杆8带动夹爪9转动，夹爪9夹持住硅片随着传送带7运动，使得硅片进入到槽体11内进行清洗，同时，超声波振子10产生的超声波通过引发清洗液的高频共振，高频共振的清洗液对硅片表面的污物进行清洗，此时，电源12通电，电流经过导线13流至加热丝14，使加热丝14发热，进而使得清洗液升温，提高清洗液的溶解率，达到更高效率的清洗效果，动作结束。
Claims (2)
1.一种带加热功能的高效硅片超声波清洗槽，包括机体（1）、电机（2）、主动带轮（3）、传动带（4）、从动带轮（5）、传送轮（6）、传送带（7）、固定杆（8）、夹爪（9）、超声波振子（10）、槽体（11）、电源（12）、导线（13）；其特征在于：机体（1）与电机（2）固定连接，电机（2）与主动带轮（3）同轴连接，主动带轮（3）通过传动带（4）与从动带轮（5）连接，从动带轮（5）与传送轮（6）连接，传送轮（6）与传送带（7）连接，传送带（7）与固定杆（8）连接，固定杆（8）与夹爪（9）连接，超声波振子（10）与槽体（11）固定连接，电源（12）与导线（13）连接。
2.根据权利要求1所述的一种带加热功能的高效硅片超声波清洗槽，其特征在于：槽体（11）内部设有加热丝（14）。
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