CN205949400U - 一种高效硅片超声波清洗槽 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种高效硅片超声波清洗槽。当前，企业在对硅片进行超声波清洗时均采用人工送料的方式，这种方式效率较低，单位时间的产能不足，影响企业的销售业绩，降低企业经济效益，存在不足。本实用新型涉及一种高效硅片超声波清洗槽，其中：机架与槽体固定连接，槽体内壁与超声波振子固定连接，机架与电机固定连接，电机与主动带轮同轴连接，主动带轮通过传动带与从动带轮连接，从动带轮与传送轮同轴连接，传送轮与传送带相连，传送带通过连杆与夹爪连接。本装置采用取代人工的送料方式，提高生产效率，提高企业的经济效益。

Description

一种高效硅片超声波清洗槽

技术领域

本实用新型涉及硅片超声波清洗设备技术领域，尤其是一种高效硅片超声波清洗槽。

背景技术

当前，企业在对硅片进行超声波清洗时均采用人工送料的方式，这种方式效率较低，单位时间的产能不足，影响企业的销售业绩，降低企业经济效益，存在不足。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种高效硅片超声波清洗槽，为克服上述的不足，采用取代人工的送料方式，提高生产效率，提高企业的经济效益。

本实用新型的技术方案：

一种高效硅片超声波清洗槽，包括机架、电机、主动带轮、传动带、从动带轮、传送轮、传送带、连杆、夹爪、超声波振子、槽体；其中：机架与槽体固定连接，槽体内壁与超声波振子固定连接，机架与电机固定连接，电机与主动带轮同轴连接，主动带轮通过传动带与从动带轮连接，从动带轮与传送轮同轴连接，传送轮与传送带相连，传送带通过连杆与夹爪连接。

一种高效硅片超声波清洗槽，其中：超声波振子的数量为20个。

一种高效硅片超声波清洗槽，其中：传送轮的数量为4，且采用倒梯形排列。

本实用新型的优点在于：本装置采用取代人工的送料方式，提高生产效率，提高企业的经济效益。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意简图。

附图标记：机架1、电机2、主动带轮3、传动带4、从动带轮5、传送轮6、传送带7、连杆8、夹爪9、超声波振子10、槽体11。

具体实施方式

实施例1、一种高效硅片超声波清洗槽，包括机架1、电机2、主动带轮3、传动带4、从动带轮5、传送轮6、传送带7、连杆8、夹爪9、超声波振子10、槽体11；其中：机架1与槽体11固定连接，槽体11内壁与超声波振子10固定连接，机架1与电机2固定连接，电机2与主动带轮3同轴连接，主动带轮3通过传动带4与从动带轮5连接，从动带轮5与传送轮6同轴连接，传送轮6与传送带7相连，传送带7通过连杆8与夹爪9连接。

实施例2、一种高效硅片超声波清洗槽，其中：超声波振子10的数量为20个，有利于提高超声波清洗效率。其余同实施例1。

实施例3、一种高效硅片超声波清洗槽，其中：传送轮6的数量为4，且采用倒梯形排列，代替人工操作，有利于提高送料效率。其余同实施例1。

工作原理：

启动电机2，电机2带动主动带轮3旋转，主动带轮3通过传动带4带动从动带轮5旋转，从动带轮5带动传送轮6旋转，传送轮6带动传送带7运动，传送带7通过连杆8带动夹爪9运动，夹爪9夹持住硅片后进入到槽体11内，此时，启动超声波振子10，超声波振子10发出的超声波在清洗液中激发大量的微小气泡，大量的微小气泡对硅片表面的污物进行摩擦与清洗，最终达到清洗的目的，当超声波振子的数量达到20时，不仅保证了设备的制造成本较低，同时提高了清洗效率，动作结束。

Claims (3)

1.一种高效硅片超声波清洗槽，包括机架（1）、电机（2）、主动带轮（3）、传动带（4）、从动带轮（5）、传送轮（6）、传送带（7）、连杆（8）、夹爪（9）、超声波振子（10）、槽体（11）；其特征在于：机架（1）与槽体（11）固定连接，槽体（11）内壁与超声波振子（10）固定连接，机架（1）与电机（2）固定连接，电机（2）与主动带轮（3）同轴连接，主动带轮（3）通过传动带（4）与从动带轮（5）连接，从动带轮（5）与传送轮（6）同轴连接，传送轮（6）与传送带（7）相连，传送带（7）通过连杆（8）与夹爪（9）连接。

2.根据权利要求1所述的一种高效硅片超声波清洗槽，其特征在于：超声波振子（10）的数量为20个。

3.根据权利要求1所述的一种高效硅片超声波清洗槽，其特征在于：传送轮（6）的数量为4，且采用倒梯形排列。