CN208889616U - 一种晶圆清洗装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶圆清洗装置，包括壳体，所述壳体的左侧固定连接有传动箱，所述传动箱内壁背面的底部固定连接有电机，所述电机的输出端固定连接有转盘，所述转盘正面的左侧固定连接有固定柱，所述固定柱的表面活动连接有第一传动杆。本实用新型通过设置壳体、传动箱、电机、转盘、固定柱、第一传动杆、第二传动杆、第一滑杆、固定杆、第三传动杆、第四传动杆、第一固定块、第二滑杆、第五传动杆、漏框、超声机、出料管和第二固定块的配合使用，解决了现有的清洗装置清洗不干净，从而造成晶圆清洗效果差的问题，该晶圆清洗装置，具备清洗效果好的优点，方便使用者对晶圆的后续加工，提高了晶圆的实用性。

Description

一种晶圆清洗装置

技术领域

本实用新型涉及晶圆清洗技术领域，具体为一种晶圆清洗装置。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品。

晶圆生产加工需要使用到清洗装置，但现有的清洗装置清洗不干净，从而造成晶圆清洗效果差的现象，不方便使用者对晶圆的后续加工，降低了晶圆的实用性。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆清洗装置，具备清洗效果好的优点，解决了现有的清洗装置清洗不干净，从而造成晶圆清洗效果差的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆清洗装置，包括壳体，所述壳体的左侧固定连接有传动箱，所述传动箱内壁背面的底部固定连接有电机，所述电机的输出端固定连接有转盘，所述转盘正面的左侧固定连接有固定柱，所述固定柱的表面活动连接有第一传动杆，所述第一传动杆背面的顶部通过第一转轴活动连接有第二传动杆，所述第二传动杆内部的两侧均活动连接有第一滑杆，所述第一滑杆的顶部固定连接有固定杆，所述固定杆的两侧均与传动箱的内壁固定连接，所述第二传动杆顶部的右侧固定连接有第三传动杆，所述第三传动杆正面的顶部通过第二转轴活动连接有第四传动杆，所述第四传动杆背面的顶部通过第三转轴活动连接有第一固定块，所述第一固定块的内部活动连接有第二滑杆，所述第二滑杆的两侧均与传动箱的内壁固定连接，所述第一固定块顶部的右侧固定连接有第五传动杆，所述第五传动杆的右侧由左至右依次贯穿传动箱和壳体并延伸至壳体的内部，所述第五传动杆的右侧固定连接有漏框，所述壳体内壁的底部设置有超声机，所述壳体右侧的底部连通有出料管，所述壳体底部的两侧均固定连接有第二固定块。

优选的，所述第一滑杆的底部固定连接有第三固定块，所述第一滑杆表面的底部套设有第一弹簧，所述第一弹簧的顶部与第二传动杆的底部固定连接，所述第一弹簧的底部与第三固定块的顶部固定连接。

优选的，所述第二传动杆的两侧均固定连接有滑块，所述传动箱内壁的两侧均开设有配合滑块使用的滑槽。

优选的，所述第二滑杆表面的左侧套设有第二弹簧，所述第二弹簧的左侧与传动箱内壁的左侧固定连接，所述第二弹簧的右侧与第一固定块的左侧固定连接。

优选的，所述第五传动杆的表面活动连接有第四固定块，所述第四固定块的左侧与壳体内壁的左侧固定连接。

优选的，所述漏框的内部设置有提篮，所述漏框底部的四周均固定连接有滚轮，所述滚轮的底部与超声机的顶部活动连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

1、本实用新型通过设置壳体、传动箱、电机、转盘、固定柱、第一传动杆、第二传动杆、第一滑杆、固定杆、第三传动杆、第四传动杆、第一固定块、第二滑杆、第五传动杆、漏框、超声机、出料管和第二固定块的配合使用，通过正常的超声清洗，再加上左右晃动，来达到快速清洗的目的，方便使用者的使用，提高了清洗的速度，解决了现有的清洗装置清洗不干净，从而造成晶圆清洗效果差的问题，该晶圆清洗装置，具备清洗效果好的优点，方便使用者对晶圆的后续加工，提高了晶圆的实用性。

2、本实用新型通过设置第三固定块和第一弹簧，能够使第二传动杆始终保持向上的力，还可以有效的避免第二传动杆脱离第一滑杆，避免结构的卡死，方便使用者的使用，通过设置滑块和滑槽，能够有效增加第二传动杆上下移动的稳定性，避免第二传动杆出现前后晃动的现象，方便使用者的使用，提高了装置的实用性，通过设置第二弹簧，能够使第一固定块始终保持向右的力，方便结构间的传动，避免结构间的卡死，增加结构间运行的灵活性，通过设置第四固定块，能够有效增强第五传动杆左右移动的稳定性，避免第五传动杆出现前后晃动的现象，增加第五传动杆的使用寿命，通过设置提篮和滚轮，能够方便对晶圆进行回收，提高了工作效率，同时滚轮能够对漏框起到支撑作用，还可以方便漏框的左右移动。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型结构传动箱的主视图；

图3为本实用新型结构传动箱的右视图。

图中：1壳体、2传动箱、3电机、4转盘、5固定柱、6第一传动杆、7第二传动杆、8第一滑杆、9固定杆、10第三传动杆、11第四传动杆、12第一固定块、13第二滑杆、14第五传动杆、15漏框、16超声机、17出料管、18第二固定块、19第三固定块、20第一弹簧、21滑块、22滑槽、23第二弹簧、24第四固定块、25提篮、26滚轮。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，一种晶圆清洗装置，包括壳体1，壳体1的左侧固定连接有传动箱2，传动箱2内壁背面的底部固定连接有电机3，电机3的输出端固定连接有转盘4，转盘4正面的左侧固定连接有固定柱5，固定柱5的表面活动连接有第一传动杆6，第一传动杆6背面的顶部通过第一转轴活动连接有第二传动杆7，第二传动杆7的两侧均固定连接有滑块21，传动箱2内壁的两侧均开设有配合滑块21使用的滑槽22，通过设置滑块21和滑槽22，能够有效增加第二传动杆7上下移动的稳定性，避免第二传动杆7出现前后晃动的现象，方便使用者的使用，提高了装置的实用性，第二传动杆7内部的两侧均活动连接有第一滑杆8，第一滑杆8的底部固定连接有第三固定块19，第一滑杆8表面的底部套设有第一弹簧20，第一弹簧20的顶部与第二传动杆7的底部固定连接，第一弹簧20的底部与第三固定块19的顶部固定连接，通过设置第三固定块19和第一弹簧20，能够使第二传动杆7始终保持向上的力，还可以有效的避免第二传动杆7脱离第一滑杆8，避免结构的卡死，方便使用者的使用，第一滑杆8的顶部固定连接有固定杆9，固定杆9的两侧均与传动箱2的内壁固定连接，第二传动杆7顶部的右侧固定连接有第三传动杆10，第三传动杆10正面的顶部通过第二转轴活动连接有第四传动杆11，第四传动杆11背面的顶部通过第三转轴活动连接有第一固定块12，第一固定块12的内部活动连接有第二滑杆13，第二滑杆13表面的左侧套设有第二弹簧23，第二弹簧23的左侧与传动箱2内壁的左侧固定连接，第二弹簧23的右侧与第一固定块12的左侧固定连接，通过设置第二弹簧23，能够使第一固定块12始终保持向右的力，方便结构间的传动，避免结构间的卡死，增加结构间运行的灵活性，第二滑杆13的两侧均与传动箱2的内壁固定连接，第一固定块12顶部的右侧固定连接有第五传动杆14，第五传动杆14的右侧由左至右依次贯穿传动箱2和壳体1并延伸至壳体1的内部，第五传动杆14的表面活动连接有第四固定块24，第四固定块24的左侧与壳体1内壁的左侧固定连接，通过设置第四固定块24，能够有效增强第五传动杆14左右移动的稳定性，避免第五传动杆14出现前后晃动的现象，增加第五传动杆14的使用寿命，第五传动杆14的右侧固定连接有漏框15，壳体1内壁的底部设置有超声机16，漏框15的内部设置有提篮25，漏框15底部的四周均固定连接有滚轮26，滚轮26的底部与超声机16的顶部活动连接，通过设置提篮25和滚轮26，能够方便对晶圆进行回收，提高了工作效率，同时滚轮26能够对漏框15起到支撑作用，还可以方便漏框15的左右移动，壳体1右侧的底部连通有出料管17，壳体1底部的两侧均固定连接有第二固定块18。

使用时，使用者先将待清洗的晶圆放入到提篮25的内部，然后将提篮25放入到漏框15的内部，往壳体1内部注入清洗液，启动超声机16，(超声机16的型号为CN61M/M168845，超声机，是一种将市电转换为换能器相应的高频交流电以驱动换能器进行工作的设备，超声波是声波的一部分，是人耳听不见、频率高于20KHZ的声波，它和声波有共同之处，即都是由物质振动而产生的，并且只能在介质中传播；)使超声机16对晶圆进行初步清洗，然后启动电机3，电机3带动转盘4转动，转盘4使固定柱5跟随转动，固定柱5带动第一传动杆6摆动，第一传动杆6带动第二传动杆7上下移动，第二传动杆7带动第三传动杆10上下移动，第三传动杆10带动第四传动杆11摆动，第四传动杆11带动第一固定块12左右移动，第一固定块12带动第五传动杆14左右移动，第五传动杆14带动漏框15左右移动，漏框15带动提篮25左右移动，使提篮25里的晶圆晃动，来达到快速清洗的目的，方便使用者的使用。

综上所述：该晶圆清洗装置，设置壳体1、传动箱2、电机3、转盘4、固定柱5、第一传动杆6、第二传动杆7、第一滑杆8、固定杆9、第三传动杆10、第四传动杆11、第一固定块12、第二滑杆13、第五传动杆14、漏框15、超声机16、出料管17和第二固定块18的配合使用，解决了现有的清洗装置清洗不干净，从而造成晶圆清洗效果差的问题。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种晶圆清洗装置，包括壳体(1)，其特征在于：所述壳体(1)的左侧固定连接有传动箱(2)，所述传动箱(2)内壁背面的底部固定连接有电机(3)，所述电机(3)的输出端固定连接有转盘(4)，所述转盘(4)正面的左侧固定连接有固定柱(5)，所述固定柱(5)的表面活动连接有第一传动杆(6)，所述第一传动杆(6)背面的顶部通过第一转轴活动连接有第二传动杆(7)，所述第二传动杆(7)内部的两侧均活动连接有第一滑杆(8)，所述第一滑杆(8)的顶部固定连接有固定杆(9)，所述固定杆(9)的两侧均与传动箱(2)的内壁固定连接，所述第二传动杆(7)顶部的右侧固定连接有第三传动杆(10)，所述第三传动杆(10)正面的顶部通过第二转轴活动连接有第四传动杆(11)，所述第四传动杆(11)背面的顶部通过第三转轴活动连接有第一固定块(12)，所述第一固定块(12)的内部活动连接有第二滑杆(13)，所述第二滑杆(13)的两侧均与传动箱(2)的内壁固定连接，所述第一固定块(12)顶部的右侧固定连接有第五传动杆(14)，所述第五传动杆(14)的右侧由左至右依次贯穿传动箱(2)和壳体(1)并延伸至壳体(1)的内部，所述第五传动杆(14)的右侧固定连接有漏框(15)，所述壳体(1)内壁的底部设置有超声机(16)，所述壳体(1)右侧的底部连通有出料管(17)，所述壳体(1)底部的两侧均固定连接有第二固定块(18)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗装置，其特征在于：所述第一滑杆(8)的底部固定连接有第三固定块(19)，所述第一滑杆(8)表面的底部套设有第一弹簧(20)，所述第一弹簧(20)的顶部与第二传动杆(7)的底部固定连接，所述第一弹簧(20)的底部与第三固定块(19)的顶部固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗装置，其特征在于：所述第二传动杆(7)的两侧均固定连接有滑块(21)，所述传动箱(2)内壁的两侧均开设有配合滑块(21)使用的滑槽(22)。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗装置，其特征在于：所述第二滑杆(13)表面的左侧套设有第二弹簧(23)，所述第二弹簧(23)的左侧与传动箱(2)内壁的左侧固定连接，所述第二弹簧(23)的右侧与第一固定块(12)的左侧固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗装置，其特征在于：所述第五传动杆(14)的表面活动连接有第四固定块(24)，所述第四固定块(24)的左侧与壳体(1)内壁的左侧固定连接。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗装置，其特征在于：所述漏框(15)的内部设置有提篮(25)，所述漏框(15)底部的四周均固定连接有滚轮(26)，所述滚轮(26)的底部与超声机(16)的顶部活动连接。