CN205916756U - 一种硅片分选线自动上料机构 - Google Patents

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Abstract

本实用新型提出的一种硅片分选线自动上料机构,包括上料架、输送机构和传动机构,上料架包括上、中、下三个上料台,输送机构在传动机构的作用下,在3个上料台的位置上停歇,并将上料台上的硅片分别送达三个对应的工作单元,本实用新型结构简单,设计合理,替代了原先的人工上料,提高了硅片的传输和生产效率,也避免了因人工上料导致的磕碰、磨损,降低了坏料的几率和工人的劳动强度,提高了硅片的合格率,同时由3个上料台间歇上料,时间间隔均匀,保证分选线生产的持续性、稳定性,提高了持续作业能力。

Description

一种硅片分选线自动上料机构
技术领域
本实用新型涉及硅片生产领域,特别是一种硅片分选线自动上料机构。
背景技术
随着科学技术发展不断推动半导体自动化和计算机等技术的发展,硅片微电子技术被越来越广泛地应用于航空、航天、工业、农业和国防领域中,产生巨大的经济效益和社会效益。在硅片生产加工过程中,硅块需经过抛光、倒角保护、切割成片、清洗检验等步骤。
在进行多个步骤时,需进行硅片分选线操作,而在进行硅片分选线操作时,多是采用人工上料,直接将硅片置于传输带上,由此也产生了一定问题,1、人工上料存在一定的不稳定性,容易导致硅片磕碰、磨损,2、硅片与硅片之间的时间以及距离间隔普遍存在差异,导致工序连续性较差,3人工上料对工作人员的工作能力要求较高,且劳动强度较大。
实用新型内容
针对上述问题,本实用新型提出了一种硅片分选线自动上料机构。
为解决以上技术问题,本实用新型提供的技术方案是:
一种硅片分选线自动上料机构,其特征在于,包括上料架、输送机构和传动机构,所述上料架包括外框架和上料台,所述外框架的一侧设有竖直的滑槽,所述上料台与外框架固定连接,水平设置,上料台上设有设有推杆和定位口,所述推杆水平推送,上料台的数量为3个,分为上上料台、中上料台和下上料台,所述上上料台、中上料台和下上料台上下等间距设置;
所述输送机构包括支撑架和输送带,所述支撑架呈L形,支撑架的一侧设有滑块,所述滑块与滑槽契合,所述输送带水平固定设置于支撑架的上方,输送带包括上料端和出料端,所述出料端设有主动轮,所述主动轮有电机带动,所述上料端设有第一从动轮,所述主动轮和第一从动轮之间通过皮带相连,所述出料端设有接近开关,所述接近开关固定设置,且感应方向朝上;
所述传动机构包括传动丝杆和伺服电机,所述传动丝杆包括丝杆和移动块,所述丝杆的上端与支撑架的下端固定连接,所述伺服电机通过同步带与移动块连接;
进一步的,所述主动轮和第一从动轮设有其导向稳定作用的第二从动轮和第三从动轮;
进一步的,所述支撑架上设有调节块,所述调节块呈椭圆形,调节块位于第三从动轮的下方,并靠近第三从动轮,实现第三从动轮与皮带的紧密贴合。
本实用新型的工作原理:
丝杆由伺服电机控制升降,进而控制输送机构升降,当输送机构处于上上料台位置时,推杆工作,将位于上上料台上的硅片推上输送机构,输送机构将硅片传输到一个工作单元上,接近开关感应到硅片运离,控制伺服电机转动,进而控制输送机构下降,到达中上料台,重复硅片输送操作,随后输送机构下降,到达下上料台,重复硅片输送操作,最后输送机构再次提升到上上料台位置,进而达到工作循环。
本实用新型的有益效果为:
本实用新型提出的一种硅片分选线自动上料机构,包括上料架、输送机构和传动机构,上料架包括上、中、下三个上料台,输送机构在传动机构的作用下,在3个上料台的位置上停歇,并将上料台上的硅片分别送达三个对应的工作单元,本实用新型结构简单,设计合理,替代了原先的人工上料,提高了硅片的传输和生产效率,也避免了因人工上料导致的磕碰、磨损,降低了坏料的几率和工人的劳动强度,提高了硅片的合格率,同时由3个上料台间歇上料,时间间隔均匀,保证分选线生产的持续性、稳定性,提高了持续作业能力。
附图说明
图1本实用新型示意图。
图2传动机构示意图。
图3上料台示意图。
具体实施方式
如图所示的一种硅片分选线自动上料机构,其特征在于,包括上料架、输送机构和传动机构,所述上料架包括外框架1和上料台2,所述外框架1的一侧设有竖直的滑槽3,所述上料台2与外框架1固定连接,水平设置,上料台2上设有设有推杆4和定位口5,所述推杆4水平推送,上料台2的数量为3个,分为上上料台6、中上料台7和下上料台8,所述上上料台6、中上料台7和下上料台8上下等间距设置;
所述输送机构包括支撑架9和输送带10,所述支撑架9呈L形,支撑架9的一侧设有滑块11,所述滑块11与滑槽3契合,所述输送带10水平固定设置于支撑架9的上方,输送带10包括上料端12和出料端13,所述出料端13设有主动轮20,所述主动轮20有电机带动,所述上料端12设有第一从动轮21,所述主动轮20和第一从动轮21之间通过皮带22相连,所述出料端13设有接近开关14,所述接近开关14固定设置,且感应方向朝上;
所述传动机构包括传动丝杆15和伺服电机16,所述传动丝杆15包括丝杆17和移动块18,所述丝杆17的上端与支撑架9的下端固定连接,所述伺服电机16通过同步带19与移动块18连接;
进一步的,所述主动轮20和第一从动轮21设有其导向稳定作用的第二从动轮23和第三从动轮24;
进一步的,所述支撑架9上设有调节块25,所述调节块25呈椭圆形,调节块25位于第三从动轮24的下方,并靠近第三从动轮24,实现第三从动轮24与皮带22的紧密贴合。
以上所述,仅为本实用新型较佳的具体实施方式,但本实用新型的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内,可轻易想到的变化或替换,都应涵盖在本实用新型的保护范围内。因此,本实用新型的保护范围应该以权利要求书的保护范围为准。

Claims (3)

1.一种硅片分选线自动上料机构,其特征在于,包括上料架、输送机构和传动机构,所述上料架包括外框架和上料台,所述外框架的一侧设有竖直的滑槽,所述上料台与外框架固定连接,水平设置,上料台上设有设有推杆和定位口,所述推杆水平推送,上料台的数量为3个,分为上上料台、中上料台和下上料台,所述上上料台、中上料台和下上料台上下等间距设置;
所述输送机构包括支撑架和输送带,所述支撑架呈L形,支撑架的一侧设有滑块,所述滑块与滑槽契合,所述输送带水平固定设置于支撑架的上方,输送带包括上料端和出料端,所述出料端设有主动轮,所述主动轮有电机带动,所述上料端设有第一从动轮,所述主动轮和第一从动轮之间通过皮带相连,所述出料端设有接近开关,所述接近开关固定设置,且感应方向朝上;
所述传动机构包括传动丝杆和伺服电机,所述传动丝杆包括丝杆和移动块,所述丝杆的上端与支撑架的下端固定连接,所述伺服电机通过同步带与移动块连接。
2.如权利要求1所述的一种硅片分选线自动上料机构,其特征在于,所述主动轮和第一从动轮设有其导向稳定作用的第二从动轮和第三从动轮。
3.如权利要求1所述的一种硅片分选线自动上料机构,其特征在于,所述支撑架上设有调节块,所述调节块呈椭圆形,调节块位于第三从动轮的下方,并靠近第三从动轮,实现第三从动轮与皮带的紧密贴合。
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