CN205874527U - 一种用于烧结钕铁硼磁体表面物理气相沉积的夹具 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种用于烧结钕铁硼磁体表面物理气相沉积的夹具，属于钕铁硼加工设备技术领域，包括磁体夹具，所述磁体夹具内具有两组夹具齿轮组，所述夹具齿轮组包括夹具齿轮组大齿轮和与其啮合的三个夹具齿轮组小齿轮，所述对应的夹具齿轮组小齿轮之间连接有钢杆，所述钢杆上设置有多个倾斜设置的挂钩。该技术方案通过夹具齿轮组中的夹具齿轮组大齿轮转动，带动夹具齿轮组小齿轮进行转动，进而带动钢杆产生自转，从而确保倾斜设置挂钩上固定的钕铁硼磁体能够沿钢杆为轴进行转动，使得钕铁硼磁体各个侧面上镀膜的一致性，有益效果显著。

Description

一种用于烧结钕铁硼磁体表面物理气相沉积的夹具

技术领域

本实用新型涉及一种用于烧结钕铁硼磁体表面物理气相沉积的夹具，属于钕铁硼加工设备技术领域。

背景技术

钕铁硼永磁材料以其优异的磁性能在工业化生产过程中获得了广泛的应用，但是由于其自身的多相结构以及稀土元素钕（Nd）的电化学活性较高，导致其自身耐腐蚀性能极差。由于腐蚀失效可导致磁路间隙的增加和磁性能的下降，严重时甚至可使磁体碎裂，而且表面锈蚀产物的脱落则会危及精密仪器的安全和使用性能，降低产品的稳定性和可靠性。钕铁硼合金的腐蚀己成为限制其在高科技领域中的应用，因此，采取一定的措施来减缓甚至消除其腐蚀己成为刻不容缓的问题。当前钕铁硼行业主要采用电镀金属镀层来延缓磁体的腐蚀，增加磁体的使用寿命，但是由于电镀对环境的污染较大，因此，开发环境友好型的新型涂镀方式成为当务之急。

随着技术的发展和环保的要求，物理气相沉积表面处理技术是一种很有前途的替代电镀用于钕铁硼防护的技术。物理气相沉积主要依靠磁控溅射以及真空蒸镀两种方式实现，但是因为物理气相沉积镀膜过程中，溅射或蒸镀粒子仍然具有一定的方向性，因而无论是磁控溅射还是真空蒸镀技术，其应用于磁体表面防护产业化技术的难点是如何实现对磁体表面的均匀涂覆。

传统工艺在磁体表面物理气相沉积过程中大都采用夹具对钕铁硼磁体进行夹持固定后，再进行磁控溅射以及真空蒸镀。一般使用的夹具包括网笼固定或直接采用两点悬挂，这两种固定方式都存在沉积过程中难以均匀涂覆得问题，而且网笼的设计在转动过程中磁体之间会有相互遮掩，同样会产生钕铁硼磁体表面镀层的涂覆的不均匀。

发明内容

为解决现有技术中存在的问题，本实用新型提供了一种用于烧结钕铁硼磁体表面物理气相沉积的夹具，具体技术方案如下：

一种用于烧结钕铁硼磁体表面物理气相沉积的夹具，包括磁体夹具，所述磁体夹具内具有两组夹具齿轮组，所述夹具齿轮组包括夹具齿轮组大齿轮和与其啮合的三个夹具齿轮组小齿轮，所述对应的夹具齿轮组小齿轮之间连接有钢杆，所述钢杆上设置有多个倾斜设置的挂钩。

作为上述技术方案的改进，所述钢杆和挂钩均采用不锈钢制成。

作为上述技术方案的改进，所述挂钩上具有夹持钕铁硼磁体的挂点，所述挂点数目为三个，所述钕铁硼磁体上具有四个侧面：A、B、C、D，且侧面A与侧面C相互平行，侧面B与侧面D相互平行，所述三个挂点与任意两个平行的侧面接触固定。

作为上述技术方案的改进，所述挂钩在夹持钕铁硼磁体后，钕铁硼磁体上A、B、C、D四个侧面中至少有两相邻的侧面与水平面呈45°夹角。

作为上述技术方案的改进，所述磁体夹具由两组主传动齿轮组进行驱动，所述主传动齿轮组包括主传动齿轮组大齿轮和八个与其啮合的二次自转盘架齿轮，所述二次自转盘架齿轮上固定连接有二次自转盘架，所述磁体夹具上具有卡槽，所述磁体夹具通过卡槽与二次自转盘架卡合连接。

作为上述技术方案的改进，所述主传动齿轮组大齿轮由动力电机进行驱动，所述主传动齿轮组大齿轮之间固定连接有支撑杆。

作为上述技术方案的改进，所述主传动齿轮组中轴线处横置有中间柱靶，所述磁体夹具及主传动齿轮组外密封设置有真空壳体。

上述技术方案通过夹具齿轮组中的夹具齿轮组大齿轮转动，带动夹具齿轮组小齿轮进行转动，进而带动钢杆产生自转，从而确保倾斜设置挂钩上固定的钕铁硼磁体能够沿钢杆为轴进行转动，使得钕铁硼磁体各个侧面上镀膜的一致性，有益效果显著。

附图说明

图1为本实用新型一种用于烧结钕铁硼磁体表面物理气相沉积的夹具的结构示意图；

图2为本实用新型中磁体夹具的结构示意图；

图3为本实用新型中夹具齿轮组的结构示意图；

图4为本实用新型中挂钩的结构示意图；

图5为本实用新型的夹具夹持钕铁硼磁体时的侧面分布图；

图6为本实用新型中主传动齿轮组的结构示意图。

具体实施方式

下面结合图1至图6对本实用新型进行具体结构。

一种用于烧结钕铁硼磁体表面物理气相沉积的夹具，包括磁体夹具2，所述磁体夹具2内具有两组夹具齿轮组12，所述夹具齿轮组12包括夹具齿轮组大齿轮121和与其啮合的三个夹具齿轮组小齿轮122，所述对应的夹具齿轮组小齿轮122之间连接有钢杆3，所述钢杆3上设置有多个倾斜设置的挂钩4。上述技术方案通过夹具齿轮组12中的夹具齿轮组大齿轮121转动，带动夹具齿轮组小齿轮122进行转动，进而带动钢杆3产生自转，从而确保倾斜设置挂钩4上固定的钕铁硼磁体17能够沿钢杆3为轴进行转动，使得钕铁硼磁体17各个侧面上镀膜的一致性。

进一步的，所述钢杆3和挂钩4均采用不锈钢制成，利用不锈钢材质的高强度、高韧性的特点，确保在夹具使用过程中始终保持结构的牢固。

进一步的，所述挂钩4上具有夹持钕铁硼磁体17的挂点41，所述挂点41数目为三个，所述钕铁硼磁体17上具有四个侧面：A、B、C、D，且侧面A与侧面C相互平行，侧面B与侧面D相互平行，所述三个挂点41与任意两个平行的侧面接触固定。该结构利用三个挂点41对钕铁硼磁体17的有效夹持固定。

进一步的，所述挂钩4在夹持钕铁硼磁体17后，钕铁硼磁体17上A、B、C、D四个侧面中至少有两相邻的侧面与水平面呈45°夹角，该结构是为了确保铁硼磁体17在物理气相沉积过程中镀膜的均匀一致性。

进一步的，所述磁体夹具2由两组主传动齿轮组7进行驱动，所述主传动齿轮组7包括主传动齿轮组大齿轮14和八个与其啮合的二次自转盘架齿轮13，所述二次自转盘架齿轮13上固定连接有二次自转盘架11，所述磁体夹具2上具有卡槽5，所述磁体夹具2通过卡槽5与二次自转盘架11卡合连接，该结构提供了一种多级齿轮传动方式，使用过程中，只要驱动主传动齿轮组大齿轮14，即可实现接连带动夹具齿轮组小齿轮122，实现钢杆3的自转。

进一步的，所述主传动齿轮组大齿轮14由动力电机9进行驱动，所述主传动齿轮组大齿轮14之间固定连接有支撑杆16，其中支撑杆16的作用是实现齿轮组大齿轮14的联动效果。

进一步的，所述主传动齿轮组7中轴线处横置有中间柱靶15，所述磁体夹具2及主传动齿轮组7外密封设置有真空壳体1，该结构提供了一种磁控溅射的具体结构，通过设置在主传动齿轮组7中轴线处的中间柱靶15，实现对各个方向上的磁体夹具2进行无差别溅射，并且由于磁体夹具2上钢杆3不断的自转，钕铁硼磁体17各个侧面均能够接触到沉积粒子，镀层的均匀性好。

Claims (7)

1.一种用于烧结钕铁硼磁体表面物理气相沉积的夹具，其特征在于，包括磁体夹具（2），所述磁体夹具（2）内具有两组夹具齿轮组（12），所述夹具齿轮组（12）包括夹具齿轮组大齿轮（121）和与其啮合的三个夹具齿轮组小齿轮（122），所述对应的夹具齿轮组小齿轮（122）之间连接有钢杆（3），所述钢杆（3）上设置有多个倾斜设置的挂钩（4）。

2.如权利要求1所述的一种用于烧结钕铁硼磁体表面物理气相沉积的夹具，其特征在于，所述钢杆（3）和挂钩（4）均采用不锈钢制成。

3.如权利要求1所述的一种用于烧结钕铁硼磁体表面物理气相沉积的夹具，其特征在于，所述挂钩（4）上具有夹持钕铁硼磁体（17）的挂点（41），所述挂点（41）数目为三个，所述钕铁硼磁体（17）上具有四个侧面：A、B、C、D，且侧面A与侧面C相互平行，侧面B与侧面D相互平行，所述三个挂点（41）与任意两个平行的侧面接触固定。

4.如权利要求3所述的一种用于烧结钕铁硼磁体表面物理气相沉积的夹具，其特征在于，所述挂钩（4）在夹持钕铁硼磁体（17）后，钕铁硼磁体（17）上A、B、C、D四个侧面中至少有两相邻的侧面与水平面呈45°夹角。

5.如权利要求1-4中任一项所述的一种用于烧结钕铁硼磁体表面物理气相沉积的夹具，其特征在于，所述磁体夹具（2）由两组主传动齿轮组（7）进行驱动，所述主传动齿轮组（7）包括主传动齿轮组大齿轮（14）和八个与其啮合的二次自转盘架齿轮（13），所述二次自转盘架齿轮（13）上固定连接有二次自转盘架（11），所述磁体夹具（2）上具有卡槽（5），所述磁体夹具（2）通过卡槽（5）与二次自转盘架（11）卡合连接。

6.如权利要求5所述的一种用于烧结钕铁硼磁体表面物理气相沉积的夹具，其特征在于，所述主传动齿轮组大齿轮（14）由动力电机（9）进行驱动，所述主传动齿轮组大齿轮（14）之间固定连接有支撑杆（16）。

7.如权利要求5所述的一种用于烧结钕铁硼磁体表面物理气相沉积的夹具，其特征在于，所述主传动齿轮组（7）中轴线处横置有中间柱靶（15），所述磁体夹具（2）及主传动齿轮组（7）外密封设置有真空壳体（1）。