CN205827057U - 一种具有面型调整功能的基准板固定装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种具有面型调整功能的基准板固定装置，包括支撑机构、面型调整装置和固定装置，基准板设置在所述支撑机构上，通过所述固定装置和面型调整装置对所述基准板调整定位精度和面型精度，调整后，将所述基准板固定在所述支撑机构上，所述具有面型调整功能的基准板固定装置能够对基准板进行面型调整，适用于大尺寸的基准板定位固定，且所述基准板与所述支撑机构的固定方式采用刚性连接固定和柔性连接固定结合的方式，在基准板的Z方向上，采用刚性连接固定，保证基准板的垂向位置精度，在基准板的X、Y方向上采用柔性连接固定，可以消除载体和基准板的热膨胀导致的基准板变形，保证基准板的水平向位置精度。

Description

一种具有面型调整功能的基准板固定装置

技术领域

本实用新型属于光刻机技术领域，具体涉及一种具有面型调整功能的基准板固定装置。

背景技术

光刻机是微电子器件制造业中不可或缺的工具，其功能是将描绘在掩模版上的电路图形通过光学投影的方法投影在涂有感光材料的硅片等曝光对象的表面，因此需要将掩模版和硅片进行对准，在对准的过程中都会用到一种对准模拟硅片基准板，所述基准板一般选用低膨胀系数的熔石英作为基底材料，通过微纳加工，在其表面刻有高精度对准标记和对准图案，掩模版和硅片在对准过程中使用所述基准板进行精确定位，基准板安装定位的精度直接影响掩模版和硅片的对准精度。

图1所示是一种目前采用的基准板固定装置，所述固定装置可以从基准板10的X、Y、Z方向，结合影像仪探测，对基准板10进行调整并精确定位固定，但是所述固定装置存在以下两方面缺点，一方面，X、Y方向是通过调节顶块20对基准板10进行水平位置调整和固定，也就是水平方向上为刚性固定，所以当基准板10或基准板的载体30受热膨胀导致基准板变形时，上述固定方式不能消除因基准板变形带来的位置偏差，另一方面，上述基准板固定装置无法进行面型调整，不能保证基准板的面型精度。

为了提高光刻生产率，通常需要更大的物镜视场，视场的增大同时会带来物镜结构设计的难度加大和数值孔径NA的减小，为了克服以上问题，通常通过多视场方式来解决。多视场就必须有多组标记来对应，为了满足对准及套刻精度，多组标记之间的相对位置精度要求很高，安装过程中要实现相对的精确定位几乎不可能，因此直接将多组标记加工在基准板上来解决上述问题。为了容纳多组标记，基准板尺寸增大，基准板及其支撑件的加工精度下降，需要通过基准板固定装置将加工导致的偏差抵消掉，但目前基准板固定装置在水平方向刚性固定方式无法实现以上效果，另外，由于面积增大，基准板面型上加工精度也下降，迫切需要开发出同时可以对面型进行调整的基准板固定装置。实验证明基准板长度超过500mm时，图1所示的基准板固定装置就已经无法满足要求了。

实用新型内容

本实用新型提供了一种具有面型调整功能的基准板固定装置，用以解决目前基准板定位装置克服因基准板变形导致的定位失败和不具备面型调整定位的问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型的技术方案是：

一种具有面型调整功能的基准板固定装置，用于定位固定两端设有倒角面的基准板，所述具有面型调整功能的基准板固定装置包括支撑机构、面型调整装置和固定装置，

所述支撑机构用于承载并固定基准板；

所述面型调整装置包括第一面型调整装置和第二面型调整装置，所述第一面型调整装置从基准板的上表面对基准板进行面型调整，所述第二面型调整装置从基准板的下表面对基准板进行面型调整；

所述固定装置包括X向固定装置、Y向固定装置和Z向固定装置，所述X向固定装置从基准板的X向进行定位固定，所述Y向固定装置从基准板的Y向进行定位固定，所述Z向固定装置从基准板的Z向进行定位固定。

作为优选，所述支撑机构包括载体和Z向胶层，所述载体的上表面设有点胶槽，所述Z向胶层设置在所述点胶槽中，从基准板的Z向连接基准板和所述载体。

作为优选，所述点胶槽内设有方便点胶的V形槽。

作为优选，所述X向固定装置包括X向胶层，X向固定板和X向固定件，所述X向固定板设置在基准板X向两端且所述X向固定板与基准板之间存在X向间隙，所述X向固定板通过所述X向固定件固定在所述载体上，所述X向胶层设置在所述X向间隙中从基准板的X向连接所述X向固定板和基准板。

作为优选，所述X向固定装置还包括X向限位块，所述X向限位块设置在所述载体X向的侧面并通过所述X向固定件固定在所述载体上，限制所述X向固定板的位置。

作为优选，所述X向固定装置还包括X向定位板，用于所述基准板X向定位过程中，所述X向定位板比所述X向固定板宽，宽度差为所述X向间隙的宽度，采用所述X向定位板进行定位时，基准板一端设置所述X向定位板，所述X向定位板紧靠基准板，另一端设置所述X向固定板，所述X向固定板与基准板之间存在X向间隙。

作为优选，所述Y向固定装置包括Y向胶层、Y向固定块和Y向固定件，所述Y向固定块设有固定侧面，所述固定侧面用于基准板Y向固定过程中，所述固定侧面上设有台阶，采用所述Y向固定块进行固定时，所述Y向固定块设置在基准板Y向的侧面，所述固定侧面紧靠所述载体Y向的侧面同时与基准板Y向的侧面存在Y向间隙，所述Y向胶层设置在所述Y向间隙中。

作为优选，所述Y向固定块还设有定位侧面，用于基准板Y向定位过程中，所述定位侧面为平面，采用所述Y向固定块进行定位时，所述Y向固定块设置在基准板Y向的侧面，所述定位侧面紧靠所述载体Y向的侧面和基准板Y向的侧面，并通过所述Y向固定件固定在所述载体上。

作为优选，所述Z向固定装置包括Z向固定块、Z向橡胶垫和Z向固定件，所述Z向固定块上设有与基准板的倒角面相匹配的坡面，所述Z向固定块设置在基准板的X向两端并通过所述Z向固定件固定在所述载体上，所述Z向固定块的坡面与所述基准板两侧的倒角面吻合，所述Z向橡胶垫设置在所述Z向固定块和基准板之间。

作为优选，所述X向固定件、Y向固定件和Z向固定件为锁紧螺钉。

作为优选，所述第一面型调整装置包括支撑架、第一调节旋钮和第一固定件，所述支撑架为U型，基准板设置在所述载体上，所述支撑架的中间连接部朝向基准板，所述支撑架两侧设置在所述载体的两侧并通过所述第一固定件固定在所述载体上，所述第一调节旋钮的顶部穿过所述支撑架的中间连接部与所述基准板接触，所述第一调节旋钮的底部在所述支撑架外，通过调节所述第一调节旋钮可以精确调整面型精度。

作为优选，所述第一调节旋钮的外部设有第一细牙螺纹，通过所述第一细牙螺纹，所述第一调节旋钮可以精确调整面型精度。

作为优选，所述第一面型调整装置还包括第一橡胶垫，所述第一橡胶垫安装在所述第一调节旋钮的顶部，所述第一橡胶垫与基准板接触。

作为优选，所述第一固定件为锁紧螺钉。

作为优选，所述第二面型调整装置包括固定套、球头柱塞和锁紧件，基准板设置在所述载体上，所述固定套的底部设置在所述载体中，顶部露出所述载体，所述固定套中空，所述球头柱塞设置在所述固定套中，所述球头柱塞的顶部与所述基准板下表面接触，底部留在所述固定套外，调节所述球头柱塞进行面型调整，所述锁紧件安装在所述球头柱塞的底部，固定所述球头柱塞相对基准板的位置。

作为优选，所述球头柱塞外部设有第二细牙螺纹，所述固定套内部设有与所述第二细牙螺纹匹配的第三细牙螺纹，通过所述第二细牙螺纹和第三细牙螺纹，所述球头柱塞可以精确调整面型精度。

作为优选，所述固定套底部设有粗牙螺纹，便于将所述固定套旋入所述载体中，顶部为外六边形结构，便于将底部旋入所述载体中。

作为优选，所述锁紧件为外六边形结构。

与现有技术相比，本实用新型具有以下优点：本实用新型所述具有面型调整功能的基准板固定装置先从基准板X、Y、Z方向将基准板精确定位在载体上，然后通过所述面型调整装置来调整所述基准板的面型，以保证所述基准板的面型精度，定位精度和面型精度确定后通过点胶的方式将所述基准板固定在所述载体上，所述具有面型调整功能的基准板固定装置既能保证基准板的定位精度又能保证基准板的面型精度，另外，基准板与载体的固定方式采用刚性连接固定和柔性连接固定结合的方式，在基准板的Z方向上，基准板直接固定在所述载体上，采用刚性连接方式固定，保证基准板的垂向位置精度，在基准板的X、Y方向上，基准板与固定装置之间通过胶层和橡胶垫连接固定，采用柔性连接的方式固定，可以消除载体和基准板的热膨胀导致的基准板变形，保证基准板的水平向位置精度。

附图说明

图1是现有技术中基准板固定装置的结构示意图；

图2是本实用新型实施例1和2的具有面型调整功能的基准板固定装置适用的基准板结构示意图；

图3是本实用新型实施例1的载体的结构示意图；

图4是本实用新型实施例1的载体上点胶槽的结构示意图；

图5是本实用新型实施例1的具有面型调整功能的基准板固定装置的正面结构示意图；

图6是本实用新型实施例1的具有面型调整功能的基准板固定装置的反面结构示意图；

图7是本实用新型实施例1的X向固定装置和Y向固定装置结构示意图；

图8是本实用新型实施例1的X向固定装置和Y向固定装置结构示意图；

图9是本实用新型实施例1的Y向固定装置和Z向固定装置结构示意图；

图10是本实用新型实施例1的Y向固定装置中Y向固定块的定位侧面结构示意图；

图11是本实用新型实施例1的Y向固定装置中Y向固定块的固定侧面结构示意图；

图12是本实用新型实施例1的第一面型调整装置和第二面型调整装置的结构示意图；

图13是本实用新型实施例1的第二面型调整装置的固定套的结构示意图；

图14是本实用新型实施例1的第二面型调整装置的球头柱塞的结构示意图；

图15是本实用新型实施例1的基准板正X向一端的X向固定板替换X向定位板后X向固定装置的结构示意图；

图16是本实用新型实施例2的载体结构示意图。

图1中所示：10-基准板、20-顶块、30-载体。

图2-15中所示：1-基准板、11-倒角面、12-直角面、2-载体、21-横向点胶槽、211-V形槽、311-X向锁紧螺钉、312-X向定位板、313-X向固定板、314-X向限位块、321-Y向锁紧螺钉、322-Y向固定块、3221-定位侧面、3222-固定侧面、3223-台阶、331-Z向锁紧螺钉、332-Z向固定块、333-Z向橡胶垫、411-支撑架、412-第一调节旋钮、413-第一橡胶垫、414-第一锁紧螺钉、421-固定套、4211-粗牙螺纹、422-球头柱塞、4221-第二细牙螺纹、423-锁紧件；

图16中所示：2-载体、22-纵向点胶槽、23-横向点胶槽。

具体实施方式

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。需说明的是，本实用新型附图均采用简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。

请参考图2，一种基准板，所述基准板1有四个侧面，其中X方向上的两个相对的侧面为倒角面11，Y方向上的两个相对的侧面为直角面12。

实施例1

请参考图2和3，一种适用于所述基准板1的具有面型调整功能的基准板固定装置，包括支撑机构、面型调整装置和固定装置。

请参考图3和图4，所述支撑机构包括载体2和Z向胶层，所述载体2的上表面设有12条横向点胶槽21，所述横向点胶槽21的厚度为0.2mm，宽度为3mm，所述横向点胶槽21内设有方便点胶的V形槽211，所述Z向胶层设置在所述横向点胶槽21中用于固定所述基准板1。

所述固定装置包括X向固定装置、Y向固定装置和Z向固定装置：

请参考图5、图7和图8，所述X向固定装置包括X向锁紧螺钉311、X向定位板312、X向固定板313、X向限位块314和X向胶层，所述X向定位板312比所述X向固定板313宽L1，所述X向定位板312用于所述基准板1X向定位过程中，所述X向固定板313用于所述基准板1X向固定过程中，所述X向胶层设置在所述X向固定板313上用于固定连接，所述X向锁紧螺钉311用于固定所述X向定位板312、X向固定板313和X向限位块314，所述X向限位块314用于限位固定所述基准板1。

请参考图8、图9、图10和图11，所述Y向固定装置包括Y向胶层、Y向锁紧螺钉321和Y向固定块322，所述Y向固定块322包括定位侧面3221和固定侧面3222，所述定位侧面3221为平面，所述固定侧面3222上设有一个高度为L2＝0.2mm的台阶3223，所述Y向固定块322用于所述基准板1Y向定位固定过程中，所述Y向胶层设置在所述固定侧面3222上用于固定连接，所述Y向锁紧螺钉321用于固定所述Y向固定块322，本实施例中，所述X向限位块314和所述Y向固定块322相同。

请参考图9，所述Z向固定装置包括Z向锁紧螺钉331、Z向固定块332和Z向橡胶垫333，所述Z向固定块332为楔形结构，所述楔形结构的坡面与所述基准板的倒角面相匹配，所述Z向固定块332用于所述基准板1Z向定位固定过程中，所述Z向橡胶垫333设置在所述Z向固定块332的坡面上起缓冲作用，所述Z向锁紧螺钉331用于固定所述Z向固定块332。

所述面型调整装置包括第一面型调整装置和第二面型调整装置：

请参考图5和图12，所述第一面型调整装置包括支撑架411、第一调节旋钮412、第一橡胶垫413和第一锁紧螺钉414，所述支撑架411为U型，所述第一调节旋钮412的外部设有第一细牙螺纹，螺距小于0.5mm，通过所述第一细牙螺纹，所述第一调节旋钮412的顶部穿过所述支撑架411的中间连接部，所述第一橡胶垫413安装在所述第一调节旋钮412的顶部，所述第一调节旋钮412的底部在所述支撑架411外，所述第一锁紧螺钉414用于固定所述支撑架411；

请参考图12、图13和图14，所述第二面型调整装置包括固定套421、球头柱塞422和外六边形结构的锁紧件423，所述固定套421底部设有粗牙螺纹4211，顶部为外六边形结构，所述球头柱塞422外部设有第二细牙螺纹4221，螺距小于0.5mm，所述固定套421中空，内部设有与所述第二细牙螺纹4221匹配的第三细牙螺纹，所述球头柱塞422顶部旋入所述固定套421中，底部留在所述固定套421外，所述锁紧件423安装在所述球头柱塞422的底部。

所述具有面型调整功能的基准板固定装置的定位方法：

步骤1)：如图5、图7、图10和图11所示，将四组所述Y向固定块322均匀安装到所述载体2的Y向正方向侧面，所述Y向固定块322的定位侧面3221紧靠所述载体2的侧面，通过所述Y向锁紧螺钉321固定在所述载体2上；

步骤2)：如图5和图7所示，将两组所述X向限位块314安装到所述载体2的X向正方向侧面，所述X向限位块314的定位侧面紧靠所述载体2的侧面，然后通过所述X向锁紧螺钉311固定所述X向限位块314在所述载体2上；将所述X向定位板312安装到所述载体2上表面的X向正方向的一端，并使所述X向定位板312紧靠所述X向限位块314，通过所述X向锁紧螺钉311固定所述X向定位板312在所述载体2上；

步骤3)：如图5、图7、图10和图11所示，将所述基准板1平放到所述载体2上，所述基准板1的倒角面沿所述载体2的X向设置，所述基准板1的直角面12紧靠所述载体2的正Y向侧面的所述Y向固定块322；

步骤4)：如图6、图8、图10及图11所示，将四组所述Y向固定块322安装到所述载体2的Y向负方向的侧面，所述Y向固定块322的定位侧面3221紧靠所述载体2，然后通过所述Y向锁紧螺钉321固定所述Y向固定块322在所述载体2上；

步骤5)：如图8所示，将所述X向固定板313安装到所述载体2表面的X向负方向的一端，并使所述X向固定板313和所述基准板1在X方向存在宽L1的X向间隙，然后通过所述X向锁紧螺钉311固定所述X向固定板313在所述载体2上；

步骤6)：如图2、图5、图7及图9所示，所述基准板1的X向两侧均设置四组所述Z向固定块332，所述基准板1的负X向上的四组所述Z向固定块332设置在所述X向定位板312上，所述基准板1的正X向上的四组所述Z向固定块332设置在所述X向固定板313上，且所述Z向固定块332的坡面和所述基准板1的倒角面11相吻合，所述Z向橡胶垫333设置在所述Z向固定块332和所述基准板1之间，通过所述Z向锁紧螺钉331固定所述Z向固定块332在所述X向固定板313和所述X向定位板312上，间接固定在所述载体2上。

完成以上步骤后就可以将所述基准板1相对于所述载体2精确定位。

所述具有面型调整功能的基准板固定装置的面型调整方法：

步骤7)：如图2、图5及图12所示，将六组带有所述第一调节旋钮412和所述第一橡胶垫413的第一面型调整装置均匀安装到所述基准板1的上表面：所述支撑架411的中间连接部朝向所述基准板1的上表面，所述支撑架411的两侧设置在所述载体2的两侧并通过所述第一锁紧螺钉414固定在所述载体2上，调节所述第一调节旋钮412旋入所述支撑架411的深度，使得所述第一橡胶垫413紧贴所述基准板1的上表面；

步骤8)：如图5、图6及图12所示，将十二组第二面型调整装置均匀安装到所述基准板1的下表面：所述固定套421的底部旋入所述载体2中，调节所述球头柱塞422旋入所述固定套421的深度，使得所述球头柱塞422的顶部紧贴所述基准板1的下表面；

步骤9)：通过三坐标仪(图上未标出)测量所述基准板1上表面的面型，当不满足需求时就通过所述第一调节旋钮412和球头柱塞422来调整所述基准板1的面型直至满足设计需求。

具有面型调整功能的基准板固定装置的点胶固定方法：

步骤10)：如图3及图4所示，当所述基准板1的面型调整完毕后在所述载体2表面的12条横向点胶槽21内注入胶水，并通过紫外光照射固化形成所述Z向胶层，将所述基准板1直接固定在所述载体2上；

步骤11)：如图2、图5、图10、图11及图15所示，待步骤10)胶水完全固化后，将所述载体2的Y方向两侧的8组所述Y向固定块322从所述载体2上拆除重新安装：使所述Y向固定块322的固定侧面3222紧靠所述载体2并通过所述Y向锁紧螺钉321固定，所述固定侧面3222与基准板2的侧面之间有宽L2的Y向间隙，在所述Y向间隙内注入胶水，并通过紫外光照射固化形成所述Y向胶层，将所述基准板1通过所述Y向胶层固定在所述Y向固定装置上。

步骤12)：如图2、图7、图9及图15所示，待步骤11)中胶水完全固化后，将所述载体2表面的正X向一端的所述X向定位板312和四组Z向固定块332从所述载体2上拆除，然后将所述X向定位板312替换为所述X向固定板313重新安装到所述载体2表面的X向正方向一端，所述基准板1两侧均设置所述X向固定板313且两侧与所述X向固定板313在X方向存在宽L1的X向间隙，所述X向固定板313通过所述X向锁紧螺钉311固定在所述载体2上，之后将四组所述Z向固定块332重新安装到所述X向固定板313上，在所述基准板1两侧的所述X向间隙内分别注入胶水，并通过紫外光照射固化形成所述X向胶层，将所述基准板1通过所述X向胶层固定在所述X向固定装置上。

实施例2

请参考图16，所述支撑机构包括载体2和Z向胶层，所述载体2的上表面设有2条纵向点胶槽22和12条横向点胶槽23，所述纵向点胶槽22和横向点胶槽23的厚度均为0.2mm，宽度为3mm。

Claims (18)

1.一种具有面型调整功能的基准板固定装置，用于定位固定两端设有倒角面的基准板，其特征在于，包括支撑机构、面型调整装置和固定装置，

所述支撑机构用于承载并固定基准板；

所述面型调整装置包括第一面型调整装置和第二面型调整装置，所述第一面型调整装置从基准板的上表面对基准板进行面型调整，所述第二面型调整装置从基准板的下表面对基准板进行面型调整；

所述固定装置包括X向固定装置、Y向固定装置和Z向固定装置，所述X向固定装置从基准板的X向进行定位固定，所述Y向固定装置从基准板的Y向进行定位固定，所述Z向固定装置从基准板的Z向进行定位固定。

2.根据权利要求1所述的具有面型调整功能的基准板固定装置，其特征在于，所述支撑机构包括载体和Z向胶层，所述载体的上表面设有点胶槽，所述Z向胶层设置在所述点胶槽中。

3.根据权利要求2所述的具有面型调整功能的基准板固定装置，其特征在于，所述点胶槽内设有V形槽。

4.根据权利要求2所述的具有面型调整功能的基准板固定装置，其特征在于，所述X向固定装置包括X向胶层，X向固定板和X向固定件，所述X向固定板设置在基准板X向两端且所述X向固定板与基准板之间存在X向间隙，所述X向固定板通过所述X向固定件固定在所述载体上，所述X向胶层设置在所述X向间隙中。

5.根据权利要求4所述的具有面型调整功能的基准板固定装置，其特征在于，所述X向固定装置还包括X向限位块，所述X向限位块设置在所述载体X向的侧面并通过所述X向固定件固定在所述载体上。

6.根据权利要求4所述的具有面型调整功能的基准板固定装置，其特征在 于，所述X向固定装置还包括X向定位板，用于所述基准板X向定位过程中，所述X向定位板比所述X向固定板宽，宽度差为所述X向间隙的宽度，采用所述X向定位板进行X向定位时，基准板一端设置所述X向定位板，所述X向定位板紧靠基准板，另一端设置所述X向固定板，所述X向固定板与基准板之间存在X向间隙。

7.根据权利要求2所述的具有面型调整功能的基准板固定装置，其特征在于，所述Y向固定装置包括Y向胶层、Y向固定块和Y向固定件，所述Y向固定块设有固定侧面，所述固定侧面用于基准板Y向固定过程中，所述固定侧面上设有台阶，采用所述Y向固定块进行固定时，所述Y向固定块设置在基准板Y向的侧面，所述固定侧面紧靠所述载体Y向的侧面同时与基准板Y向的侧面存在Y向间隙，所述Y向胶层设置在所述Y向间隙中。

8.根据权利要求7所述的具有面型调整功能的基准板固定装置，其特征在于，所述Y向固定块还设有定位侧面，用于基准板Y向定位过程中，所述定位侧面为平面，采用所述Y向固定块进行定位时，所述Y向固定块设置在基准板Y向的侧面，所述定位侧面紧靠所述载体Y向的侧面和基准板Y向的侧面，并通过所述Y向固定件固定在所述载体上。

9.根据权利要求2所述的具有面型调整功能的基准板固定装置，其特征在于，所述Z向固定装置包括Z向固定块、Z向橡胶垫和Z向固定件，所述Z向固定块上设有与基准板的倒角面相匹配的坡面，所述Z向固定块设置在基准板的X向两端并通过所述Z向固定件固定在所述载体上，所述Z向固定块的坡面与所述基准板的倒角面吻合，所述Z向橡胶垫设置在所述Z向固定块和基准板之间。

10.根据权利要求4、7或9所述的具有面型调整功能的基准板固定装置，其特征在于，所述X向固定件、Y向固定件和Z向固定件为锁紧螺钉。

11.根据权利要求2所述的具有面型调整功能的基准板固定装置，其特征在于，所述第一面型调整装置包括支撑架、第一调节旋钮和第一固定件，所述支撑架为U型，基准板设置在所述载体上，所述支撑架的中间连接部朝向基准 板，所述支撑架两侧设置在所述载体的两侧并通过所述第一固定件固定在所述载体上，所述第一调节旋钮的顶部穿过所述支撑架的中间连接部与所述基准板接触，所述第一调节旋钮的底部在所述支撑架外。

12.根据权利要求11所述的具有面型调整功能的基准板固定装置，其特征在于，所述第一调节旋钮的外部设有第一细牙螺纹。

13.根据权利要求11所述的具有面型调整功能的基准板固定装置，其特征在于，所述第一面型调整装置还包括第一橡胶垫，所述第一橡胶垫安装在所述第一调节旋钮的顶部。

14.根据权利要求11所述的具有面型调整功能的基准板固定装置，其特征在于，所述第一固定件为锁紧螺钉。

15.根据权利要求2所述的具有面型调整功能的基准板固定装置，其特征在于，所述第二面型调整装置包括固定套、球头柱塞和锁紧件，基准板设置在所述载体上，所述固定套的底部设置在所述载体中，顶部露出所述载体，所述固定套中空，所述球头柱塞设置在所述固定套中，所述球头柱塞的顶部与所述基准板下表面接触，底部留在所述固定套外，所述锁紧件安装在所述球头柱塞的底部。

16.根据权利要求15所述的具有面型调整功能的基准板固定装置，其特征在于，所述球头柱塞外部设有第二细牙螺纹，所述固定套内部设有与所述第二细牙螺纹匹配的第三细牙螺纹。

17.根据权利要求15所述的具有面型调整功能的基准板固定装置，其特征在于，所述固定套底部设有粗牙螺纹，顶部为外六边形结构。

18.根据权利要求15所述的具有面型调整功能的基准板固定装置，其特征在于，所述锁紧件为外六边形结构。