CN205803593U - 一种半导体纳米线制备装置 - Google Patents
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Abstract
一种半导体纳米线制备装置,在箱体的上部设置上盖,上盖与管式炉主体通过锁扣连接,在管式炉主体的两侧设置挡板,石英管分为石英管上部、石英管中部和石英管下部,石英管中部的下方为管式炉主体的加热区,在石英管中部内设置石英舟,在管式炉主体向前的一侧设置管式炉仪表盘,通气装置向前的一侧设置通气装置仪表盘,在通气装置的左侧设置进气孔和出气孔,通气装置的进气孔与氮气罐相连,通气装置的出气孔与石英管上部相连,石英管下部与电动机相连。本实用新型的优点在于:温场均衡,表面温度低,升降温度速率快,操作方便,真空度高,真空泄露小控温精度高,可应用于纳米线的制备。
Description
技术领域
本实用新型涉及实验装置,尤其是一种半导体纳米线制备装置。
背景技术
半导体纳米线(NWS)具有独特的电学、光学和力学性能,主要是因为其具有单晶体结构及可调的原子组成和尺寸大小。许多方法已成功被用于去合成一维氧化镉纳米结构,如纳米线(NWS),纳米带(NRS),和纳米管(NTS)等。在各种不同的方法,气相沉积法已被广泛用于高质量、高密度的各种成分纳米线的生长。
实用新型内容
本实用新型克服了现有技术中的缺点,提供了一种半导体纳米线制备装置。
为了解决上述技术问题,本实用新型是通过以下技术方案实现的:
一种半导体纳米线制备装置,包括上盖、拉手、锁扣上部、锁扣下部、挡板、石英管、管式炉主体、管式炉仪表盘、垫脚、圆弧状凹槽、连接轴、加热区、石英舟、刻度线、FTO导电玻璃、固定块、通气装置、通气装置仪表盘、万向轮、出气孔、进气孔、电动机、氮气罐;管式炉为箱体结构,在箱体的上部设置上盖,上盖可沿与管式炉主体的连接轴向上打开,上盖与管式炉主体通过锁扣连接,在上盖的下沿设置两个锁扣上部,在管式炉主体的上沿对称设置两个锁扣下部,上盖内侧的中间设置圆弧状凹槽,在管式炉主体的两侧设置挡板,挡板中间设置圆形孔,在管式炉主体与上盖连接的平面上设置石英管,石英管分为石英管上部、石英管中部和石英管下部,石英管中部的下方为管式炉主体的加热区,在石英管中部内设置石英舟,石英管下部的表面设置刻度线,在石英舟下部内设置FTO导电玻璃,在管式炉主体向前的一侧设置管式炉仪表盘,通气装置向前的一侧设置通气装置仪表盘,在通气装置的左侧设置进气孔和出气孔,通气装置的进气孔与氮气罐相连,通气装置的出气孔与石英管上部相连,石英管下部与电动机相连。
在上述技术方案中,所述的FTO导电玻璃在石英管下部内部为水平设置,在FTO导电玻璃下方设置磁力层。
在上述技术方案中,在所述的石英管下部的内部设置固定块,在固定块面向石英舟的一侧竖直设置FTO导电玻璃,在固定块的下方设置磁力层。
在上述技术方案中,其中所述的石英管为圆柱体结构,长度为10-120cm,直径为3-15cm。
在上述技术方案中,其中所述的管式炉主体的下方设置有四个垫脚。
在上述技术方案中,其中所述的管式炉仪表盘,包含温度仪,压力计和时间计。
在上述技术方案中,其中所述的管式炉功率为4-35kW,控温精度为±1摄氏度。
在上述技术方案中,其中所述的通气装置的底部的四角设置有四个万向轮。
与现有技术相比,本实用新型的优点在于:温场均衡,表面温度低,升降温度速率快,操作方便,真空度高,真空泄露小控温精度高,可应用于纳米线的制备。
附图说明
图1为本实用新型整体结构示意图。
图2为加热装置打开盖后内部结构示意图。
图3为本实用新型侧视结构示意图。
图4为FTO导电玻璃设置区域结构示意图1。
图5为FTO导电玻璃设置区域结构示意图2。
其中1为管式炉,1-1为上盖,1-2为拉手,1-3为锁扣上部,1-4为锁扣下部,1-5为挡板,1-6为石英管,1-6-1为石英管上部,1-6-2为石英管中部,1-6-3为石英管下部,1-7为管式炉主体,1-8为管式炉仪表盘,1-9为垫脚,1-10为圆弧状凹槽,1-11为连接轴,1-12为加热区,1-13为石英舟,1-14为刻度线,1-15为FTO导电玻璃,1-16为固定块,2为通气装置,2-1为通气装置仪表盘,2-2为万向轮,2-3为出气孔,2-4为进气孔,3为电动机,4为氮气罐。
具体实施方式
下面结合附图与具体的实施方式对本实用新型作进一步详细描述:
一种半导体纳米线制备装置,包括上盖、拉手、锁扣上部、锁扣下部、挡板、石英管、管式炉主体、管式炉仪表盘、垫脚、圆弧状凹槽、连接轴、加热区、石英舟、刻度线、FTO导电玻璃、固定块、通气装置、通气装置仪表盘、万向轮、出气孔、进气孔、电动机、氮气罐;管式炉为箱体结构,在箱体的上部设置上盖,上盖可沿与管式炉主体的连接轴向上打开,上盖与管式炉主体通过锁扣连接,在上盖的下沿设置两个锁扣上部,在管式炉主体的上沿对称设置两个锁扣下部,上盖内侧的中间设置圆弧状凹槽,在管式炉主体的两侧设置挡板,挡板中间设置圆形孔,在管式炉主体与上盖连接的平面上设置石英管,石英管分为石英管上部、石英管中部和石英管下部,石英管中部的下方为管式炉主体的加热区,在石英管中部内设置石英舟,石英管下部的表面设置刻度线,在石英舟下部内设置FTO导电玻璃,在管式炉主体向前的一侧设置管式炉仪表盘,通气装置向前的一侧设置通气装置仪表盘,在通气装置的左侧设置进气孔和出气孔,通气装置的进气孔与氮气罐相连,通气装置的出气孔与石英管上部相连,石英管下部与电动机相连。
在上述技术方案中,所述的FTO导电玻璃在石英管下部内部为水平设置,在FTO导电玻璃下方设置磁力层。
在上述技术方案中,在所述的石英管下部的内部设置固定块,在固定块面向石英舟的一侧竖直设置FTO导电玻璃,在固定块的下方设置磁力层。
在上述技术方案中,其中所述的石英管为圆柱体结构,长度为10-120cm,直径为3-15cm。
在上述技术方案中,其中所述的管式炉主体的下方设置有四个垫脚。
在上述技术方案中,其中所述的管式炉仪表盘,包含温度仪,压力计和时间计。
在上述技术方案中,其中所述的管式炉功率为4-35kW,控温精度为±1摄氏度。
在上述技术方案中,其中所述的通气装置的底部的四角设置有四个万向轮。
以下通过2个实施例对本实用新型的使用进行具体说明。
实施例1:
步骤1,将石英管从管式炉内取出清洗,首先用蒸馏水清洗3次,接着用无水乙醇清洗3次,最后再用蒸馏水清洗3次;
步骤2,称取反应物,混合均匀后,装入石英舟中,将石英舟放置在加热区上方,将FTO基板水平放置于石英管下部(如图4所示),FTO基板下端设置有磁力层,在石英管外壁使用吸铁石与磁力层接触吸引,挪动吸铁石对FTO基板的位置进行调整,并记录与刻度线的相对位置,以FTO基板作为纳米结构生长的基石;
步骤3,对样品加热之前,系统以恒定流量从氮气罐内通入高纯度的氮气抽真空15分钟以消除O2,使得石英管中的压力小于0.1托,然后充入高纯度氮气作为载气,维持氮气流量在200sccm,使得石英管内压力维持在5.7托;
步骤4,以10℃/分钟的速度,加热到700℃,在此温度下保持20分钟,而不改变的条件下,随后自然冷却至室温。
实施例2:
步骤1,将石英管从管式炉内取出清洗,首先用蒸馏水清洗2次,接着用无水乙醇清洗2次,最后再用蒸馏水清洗3次;
步骤2,
称取反应物,混合均匀后,装入石英舟中,将石英舟放置在加热区上方,将固定块放置于石英管下部(如图5所示),将FTO基板竖直设置于固定块面向石英舟的一侧,固定块的下端设置磁力层,在石英管外壁使用吸铁石与磁力层接触吸引,挪动吸铁石对固定块的位置进行调整,并记录与刻度线的相对位置,以竖直的FTO基板作为纳米结构生长的基石;
步骤3,对样品加热之前,系统以恒定流量从氮气罐内通入高纯度的氮气抽真空30分钟以消除O2,使得石英管中的压力小于0.1托,然后充入高纯度氮气作为载气,维持氮气流量在200sccm,使得石英管内压力维持在5.7托;
步骤4,以10℃/分钟的速度,加热到700℃,在此温度下保持30分钟,而不改变的条件下,随后自然冷却至室温。
以上对本实用新型进行了详细说明,但所述内容仅为本实用新型的较佳实施例,不能被认为用于限定本实用新型的实施范围。凡依本实用新型申请范围所作的均等变化与改进等,均应仍归属于本实用新型的专利涵盖范围之内。
Claims (8)
1.一种半导体纳米线制备装置,包括上盖、拉手、锁扣上部、锁扣下部、挡板、石英管、管式炉主体、管式炉仪表盘、垫脚、圆弧状凹槽、连接轴、加热区、石英舟、刻度线、FTO导电玻璃、固定块、通气装置、通气装置仪表盘、万向轮、出气孔、进气孔、电动机、氮气罐;管式炉为箱体结构,在箱体的上部设置上盖,上盖可沿与管式炉主体的连接轴向上打开,上盖与管式炉主体通过锁扣连接,在上盖的下沿设置两个锁扣上部,在管式炉主体的上沿对称设置两个锁扣下部,上盖内侧的中间设置圆弧状凹槽,在管式炉主体的两侧设置挡板,挡板中间设置圆形孔,在管式炉主体与上盖连接的平面上设置石英管,石英管分为石英管上部、石英管中部和石英管下部,石英管中部的下方为管式炉主体的加热区,在石英管中部内设置石英舟,石英管下部的表面设置刻度线,在石英舟下部内设置FTO导电玻璃,在管式炉主体向前的一侧设置管式炉仪表盘,通气装置向前的一侧设置通气装置仪表盘,在通气装置的左侧设置进气孔和出气孔,通气装置的进气孔与氮气罐相连,通气装置的出气孔与石英管上部相连,石英管下部与电动机相连。
2.如权利要求1所述的一种半导体纳米线制备装置,其特征在于:所述的FTO导电玻璃在石英管下部内部为水平设置,在FTO导电玻璃下方设置磁力层。
3.如权利要求1所述的一种半导体纳米线制备装置,其特征在于:在所述的石英管下部的内部设置固定块,在固定块面向石英舟的一侧竖直设置FTO导电玻璃,在固定块的下方设置磁力层。
4.如权利要求1-3之一所述的一种半导体纳米线制备装置,其特征在于:所述的石英管为圆柱体结构,长度为10-120cm,直径为3-15cm。
5.如权利要求1-3之一所述的一种半导体纳米线制备装置,其特征在于:所述的管式炉主体的下方设置有四个垫脚。
6.如权利要求1-3之一所述的一种半导体纳米线制备装置,其特征在于:所述的管式炉仪表盘,包含温度仪,压力计和时间计。
7.如权利要求1-3之一所述的一种半导体纳米线制备装置,其特征在于:所述的管式炉功率为4-35kW,控温精度为±1摄氏度。
8.如权利要求1-3之一所述的一种半导体纳米线制备装置,其特征在于:所述的通气装置的底部的四角设置有四个万向轮。
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CN106949737A (zh) * | 2016-12-29 | 2017-07-14 | 核工业北京化工冶金研究院 | 一种用于制备八氧化三铀标准物质的高温管式气氛炉 |
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2016
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