CN205803578U - 一种真空热处理设备的加热器挡板系统 - Google Patents

一种真空热处理设备的加热器挡板系统 Download PDF

Info

Publication number
CN205803578U
CN205803578U CN201620790738.7U CN201620790738U CN205803578U CN 205803578 U CN205803578 U CN 205803578U CN 201620790738 U CN201620790738 U CN 201620790738U CN 205803578 U CN205803578 U CN 205803578U
Authority
CN
China
Prior art keywords
rotary
heater
heat treatment
vacuum chamber
treatment equipment
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201620790738.7U
Other languages
English (en)
Inventor
卢国英
石昌仑
石武昌
兰睿
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Changzhou Quark Coating Technology Co Ltd
Original Assignee
Changzhou Quark Coating Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Changzhou Quark Coating Technology Co Ltd filed Critical Changzhou Quark Coating Technology Co Ltd
Priority to CN201620790738.7U priority Critical patent/CN205803578U/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN205803578U publication Critical patent/CN205803578U/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Landscapes

  • Manufacture And Refinement Of Metals (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

本实用新型公开了一种真空热处理设备的加热器挡板系统。在真空室内部,加热器与工件转盘之间增加旋转装置。旋转装置由若干组旋转轴组成,每组旋转轴上固定挡板。采用此系统,达到设定的背底真空度,抽真空时间平均节省20分钟;到达相同的设定温度,加热时间平均节省40分钟;避免炉加热器在喷砂保养过程中损坏的风险;减少了操作人员的工作强度;拆卸挡板的时间大约为5分钟,而加热器的拆卸往往需要几个小时,极大地提高炉涂层设备的生产效率,带来很大的经济效益。

Description

一种真空热处理设备的加热器挡板系统
技术领域
本实用新型涉及真空热处理技术领域,尤其涉及一种真空热处理设备的加热器挡板系统。
背景技术
真空涂层设备中,随着加热器使用时间的增加,加热器表面会被涂上很厚的薄膜,由于薄膜吸附空气中的水分及杂质气体,在涂层设备抽真空阶段,会增加很长时间的抽真空时间,同时在加热阶段,由于加热器表面的薄膜阻挡了热辐射,造成加热很长时间才能达到设定温度,效率很低。所以目前国内外的普遍做法时,加热器在使用一段时间后,需要拆下来保养,但加热器的拆卸比较麻烦,另外加热器被反复喷砂保养,容易造成加热器的损坏,造成很大的经济损失。
实用新型内容
本实用新型提供了一种真空热处理设备的加热器挡板系统。在真空涂层设备中,加入自动挡板装置,在加热阶段,挡板打开,涂层阶段,挡板关闭,可以有效地提高加热效率,减少设备的保养时间等。
本实用新型提供了一种真空热处理设备的加热器挡板系统,在真空室内部,加热器与工件转盘之间增加旋转装置。旋转装置由若干组旋转轴组成,每组旋转轴上固定挡板。
优选的,所述旋转轴为八组,绕工件转盘均匀分布。
优选的,所述旋转轴穿过真空室顶部,真空室外面加有旋转气缸及传感器,旋转气缸及传感器与旋转轴传动连接,真空室与旋转气缸及传感器接触位置设置密封圈;在真空室内部,旋转轴上均匀加工3个M10的螺纹孔,挡板上打孔并固定在旋转轴上,挡板为长方形钛合金板。
有益效果:采用此系统,达到设定的背底真空度,抽真空时间平均节省20分钟;到达相同的设定温度,加热时间平均节省40分钟;避免炉加热器在喷砂保养过程中损坏的风险;减少了操作人员的工作强度;拆卸挡板的时间大约为5分钟,而加热器的拆卸往往需要几个小时,极大地提高炉涂层设备的生产效率,带来很大的经济效益。
附图说明
图1为本实用新型实施例提供的真空热处理设备的加热器挡板系统结构图。
图2为本实用新型实施例提供的真空热处理设备的加热器挡板系统的旋转轴和挡板结构图。
具体实施方式
为使本实用新型解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚,下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的详细说明。可以理解的是,此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本实用新型,而非对本实用新型的限定。另外还需要说明的是,为了便于描述,附图中仅示出了与本实用新型相关的部分而非全部内容。
请参照图1和图2,本实施例在真空室5内部,加热器3与工件转盘1之间增加旋转装置。
旋转装置由八组旋转轴2组成,每组旋转轴2上固定挡板4。
所述旋转轴2穿过真空室5顶部,真空室5外面加有旋转气缸及传感器6,旋转气缸及传感器6与旋转轴2传动连接;真空室5与旋转气缸及传感器6接触位置设置密封圈7;在真空室5内部,旋转轴2上均匀加工3个M10的螺纹孔,挡板4上打孔并固定在旋转轴2上,挡板4为长方形钛合金板。优点是重量轻、高温变形量小。工作时,PLC通过传感器给旋转气缸指令,挡板打开90°或关闭。
在加热阶段,挡板打开,加热器可以满负荷工作。
在涂层阶段,由于涂层本身会释放大量热量,这时候挡板关闭,保护加热器不被涂层,而加热器半负荷工作也足以维持真空室中的设定温度。
在使用一段时间后,拆下挡板进行喷砂保养,由于挡板是不锈钢平板,拆卸保养都非常方便。
最后应说明的是:以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案,而非对其限制;尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明,本领域的普通技术人员应当理解:其对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换,并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。

Claims (3)

1.一种真空热处理设备的加热器挡板系统,其特征在于,在真空室(5)内部,加热器(3)与工件转盘(1)之间增加旋转装置;
旋转装置由若干组旋转轴(2)组成,每组旋转轴(2)上固定挡板(4)。
2.根据权利要求1所述的一种真空热处理设备的加热器挡板系统,其特征在于,所述旋转轴(2)为八组,绕工件转盘(1)均匀分布。
3.根据权利要求1或2所述的一种真空热处理设备的加热器挡板系统,其特征在于,所述旋转轴(2)穿过真空室(5)顶部,真空室(5)外面加有旋转气缸及传感器(6),旋转气缸及传感器(6)与旋转轴(2)传动连接,真空室(5)与旋转气缸及传感器(6)接触位置设置密封圈(7);在真空室(5)内部,旋转轴(2)上均匀加工3个M10的螺纹孔,挡板(4)上打孔并通过螺纹孔固定在旋转轴(2)上,挡板(4)为长方形钛合金板。
CN201620790738.7U 2016-07-25 2016-07-25 一种真空热处理设备的加热器挡板系统 Active CN205803578U (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201620790738.7U CN205803578U (zh) 2016-07-25 2016-07-25 一种真空热处理设备的加热器挡板系统

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201620790738.7U CN205803578U (zh) 2016-07-25 2016-07-25 一种真空热处理设备的加热器挡板系统

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN205803578U true CN205803578U (zh) 2016-12-14

Family

ID=57507393

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201620790738.7U Active CN205803578U (zh) 2016-07-25 2016-07-25 一种真空热处理设备的加热器挡板系统

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN205803578U (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111315917A (zh) * 2017-11-15 2020-06-19 应用材料公司 用于热处理基板的设备、用于运输柔性基板的设备、以及用于热处理基板的方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111315917A (zh) * 2017-11-15 2020-06-19 应用材料公司 用于热处理基板的设备、用于运输柔性基板的设备、以及用于热处理基板的方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN205803578U (zh) 一种真空热处理设备的加热器挡板系统
CN107893209B (zh) 一种旋转靶材热喷涂系统及方法
CN205332668U (zh) 一种真空式管束干燥机
CN205590785U (zh) 一种用于钢材表面镀膜的钛金炉
CN107440493A (zh) 一种具有维持1个标准大气压功能的电蒸汽炉
CN203908338U (zh) 旋转式风道
CN207882239U (zh) 一种烘炉气体检测及换气装置
CN204220555U (zh) 自动吹风清扫机
CN107768044A (zh) 一种漆包线去漆工具
CN207655396U (zh) 一种新型喷涂装置
CN206204412U (zh) 太阳光谱选择性吸收涂层向上溅射卷对卷镀膜生产线
CN102709216B (zh) 一种用来处理hmds的真空烘箱
CN204594143U (zh) 一种纺织品用烘干装置
CN219810273U (zh) 一种方坯加热炉出钢机臂密封门
CN208929197U (zh) 一种水平双开式保温盖
CN204942537U (zh) 一种工业硅炉气封装置
CN208532912U (zh) 一种圆形风刀
CN201692962U (zh) 薄膜表面除尘装置
CN207456047U (zh) 一种可低温热处理的铝或铜合金机械人关节烘箱
CN211380806U (zh) 一种便于排气和拆卸高压锅盖
CN209555297U (zh) 一种精炼炉密封圈保护装置
CN206522986U (zh) 一种用于生产显示屏的气冷式冷干机
CN110848736A (zh) 锅炉燃料和风量控制装置
CN207333743U (zh) 一种电动对夹软密封蝶阀
CN209116785U (zh) 一种烧结烟道使用的波纹管结构

Legal Events

Date Code Title Description
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant