CN102709216B - 一种用来处理hmds的真空烘箱 - Google Patents
一种用来处理hmds的真空烘箱 Download PDFInfo
- Publication number
- CN102709216B CN102709216B CN201210183321.0A CN201210183321A CN102709216B CN 102709216 B CN102709216 B CN 102709216B CN 201210183321 A CN201210183321 A CN 201210183321A CN 102709216 B CN102709216 B CN 102709216B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- door
- cabinet
- hmds
- vacuum
- drying oven
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Landscapes
- Drying Of Solid Materials (AREA)
Abstract
本发明提供了一种用来处理HMDS的真空烘箱,包括机箱,固定在机箱外侧的药瓶,固定在机箱上方的电器箱,通过连接管道与电器箱连接的真空泵箱;所述电器箱上设有控制表盘;其特征在于,所述机箱为一面开口,中空的矩形箱体;所述机箱开口的一面通过铰链连接有一密封箱门;所述箱门包括中间层的门板,包裹在门板外面的石棉层以及门外壳。本发明提供的一种用来处理HMDS的真空烘箱,整个操作过程处于真空状态,使HMDS药液与硅片表面的二氧化硅充分作用,提高光刻胶与硅表面的粘附力。箱门与机箱有一定的浮动性,可以吸收多余部分挤压力,避免了氟橡胶密封圈的破裂而引起的漏气现象,降低了设备的故障率,也节约了设备维护的成本。
Description
技术领域
本发明属于干燥设备领域,特别涉及一种用来处理HMDS的真空烘箱。
背景技术
HMDS作为一种增粘剂,可有效增加光刻胶与硅片之间的吸附力,在硅片的光刻工艺中逐渐开始应用,但其本身具有毒性且易挥发,因此使用HMDS的工序需要在真空的状态下进行,否则会对操作人员造成伤害;国内现有的厂商在硅片上涂光刻胶很少有使用HMDS作为增粘剂,由于吸附力不够,这样涂胶就不均匀,更严重的会导致光刻胶脱落。
发明内容
本发明要解决的技术问题是克服现有的缺陷,提供了一种用来处理HMDS的真空烘箱,整个操作过程处于真空状态,使HMDS药液与硅片表面的二氧化硅充分作用,提高光刻胶与硅表面的粘附力。
为了解决上述技术问题,本发明提供了如下的技术方案:
一种用来处理HMDS的真空烘箱,包括机箱,固定在机箱外侧的药瓶,固定在机箱上方的电器箱,通过连接管道与电器箱连接的真空泵箱;所述电器箱上设有控制表盘;其特征在于,所述机箱为一面开口,中空的矩形箱体;所述机箱开口的一面通过铰链连接有一密封箱门;所述箱门包括中间层的门板,包裹在门板外面的石棉层以及门外壳。
进一步地,所述密封箱门内侧靠近铰链的一边设有一密封用的加强筋。
进一步地,所述密封箱门通过沉头螺钉固定有一开关用的把手装置。
进一步地,所述密封箱门四个角的内侧安装有减振弹簧。
本发明提供的一种用来处理HMDS的真空烘箱,整个操作过程处于真空状态,使HMDS药液与硅片表面的二氧化硅充分作用,提高光刻胶与硅表面的粘附力。箱门与机箱有一定的浮动性,可以吸收多余部分挤压力,避免了氟橡胶密封圈的破裂而引起的漏气现象,降低了设备的故障率,也节约了设备维护的成本。
附图说明
附图用来提供对本发明的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与本发明的实施例一起用于解释本发明,并不构成对本发明的限制。在附图中:
图1是本发明一种用来处理HMDS的真空烘箱的侧视结构示意图;
图2是本发明一种用来处理HMDS的真空烘箱的主视结构示意图;
图3是本发明一种用来处理HMDS的真空烘箱的箱门主视结构示意图;
图4是本发明一种用来处理HMDS的真空烘箱的箱门侧视视结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图对本发明的优选实施例进行说明,应当理解,此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本发明,并不用于限定本发明。
如图1、2所示,本发明一种用来处理HMDS的真空烘箱,包括机箱1,固定在机箱外侧的药瓶2,固定在机箱上方的电器箱3,通过连接管道6与电器箱3连接的真空泵箱5;所述电器箱3上设有控制表盘7;其特征在于,所述机箱1为一面开口,中空的矩形箱体;所述机箱1开口的一面通过铰链13连接有一密封箱门4。
如图3、4所示,所述密封箱门4包括中间层的门板9,包裹在门板外面的石棉层14以及门外壳10;所述密封箱门4内侧靠近铰链13的一边设有一密封用的加强筋11;所述密封箱门4通过沉头螺钉15固定有一开关用的把手装置8;所述密封箱门4四个角的内侧安装有减振弹簧12。
通过抽真空,使药液沸点降低,汽化后喷撒到圆片表面。冲氮的作用是清洁腔体,排除水汽及空气中悬浮颗粒物,保证内腔纯净无杂质。高温的作用是加速汽化过程,同时将未反应完的药液蒸汽加速挥发,通过抽真空带走。
HMDS的作业流程:放入圆片电源启动,热板传导加热,通过温控器PID自整定到设定温度值,真空泵启动,真空管道内挡板阀开启抽真空,真空仪表检测腔内真空值,真空管道内挡板阀关闭,氮气管道内挡板阀开启冲高纯氮,真空泵启动,氮气管道内挡板阀关闭,真空管道内挡板阀开启抽真空,真空仪表检测腔内真空值,HMDS管道内挡板阀开启真空管道内挡板阀关闭药液气化后喷入腔内圆片表面,加药后药液挡板阀关闭腔体内保压,氮气阀瞬时打开通入药液容器瓶加压,真空泵启动,真空管道内挡板阀开启抽真空,真空仪表检测腔内真空值,真空管道内挡板阀关闭,氮气管道内挡板阀开启冲高纯氮,真空泵启动,氮气管道内挡板阀关闭,真空管道内挡板阀开启抽真空,真空仪表检测腔内真空值,HMDS管道内挡板阀开启药液气化后喷入腔内圆片表面,加药后药液挡板阀关闭腔体内保压,氮气阀瞬时打开通入药液容器瓶加压,真空泵启动,真空管道内挡板阀开启抽真空,真空仪表检测腔内真空值,真空管道内挡板阀关闭,氮气管道内挡板阀开启冲高纯氮,真空泵启动,氮气管道内挡板阀关闭,真空管道内挡板阀开启抽真空,真空仪表检测腔内真空值,HMDS管道内挡板阀开启药液气化后喷入腔内圆片表面,加药后挡板阀关闭腔体保压,氮气阀瞬时打开通入药液容器瓶加压,真空泵启动,真空管道内挡板阀开启抽真空,真空仪表检测腔内真空值,真空管道内挡板阀关闭,氮气管道内挡板阀开启冲高纯氮,真空泵启动,氮气管道内挡板阀关闭,真空管道内挡板阀开启抽真空,真空仪表检测腔内真空值,真空管道内挡板阀关闭,氮气管道内挡板阀开启,冲高纯氮数秒后关闭腔内恢复正压,蜂鸣器声光提示,打开箱门取出圆片,工艺处理结束。
本发明提供的一种用来处理HMDS的真空烘箱,整个操作过程处于真空状态,使HMDS药液与硅片表面的二氧化硅充分作用,提高光刻胶与硅表面的粘附力。箱门与机箱有一定的浮动性,可以吸收多余部分挤压力,避免了氟橡胶密封圈的破裂而引起的漏气现象,降低了设备的故障率,也节约了设备维护的成本。
以上所述仅为本发明的优选实施例而已,并不用于限制本发明,尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明,对于本领域的技术人员来说,其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本发明的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (3)
1.一种用来处理HMDS的真空烘箱,包括机箱,固定在机箱外侧的药瓶,固定在机箱上方的电器箱,通过连接管道与电器箱连接的真空泵箱;
所述电器箱上设有控制表盘;其特征在于,所述机箱为一面开口,中空的矩形箱体;
所述机箱开口的一面通过铰链连接有一密封箱门;
所述箱门包括中间层的门板,包裹在门板外面的石棉层以及门外壳;
所述箱门与所述机箱有浮动性;
所述密封箱门四个角的内侧安装有减振弹簧。
2.根据权利要求1所述的真空烘箱,其特征在于:所述密封箱门内侧靠近铰链的一边设有一密封用的加强筋。
3.根据权利要求1所述的真空烘箱,其特征在于:所述密封箱门通过沉头螺钉固定有一开关用的把手装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201210183321.0A CN102709216B (zh) | 2012-06-05 | 2012-06-05 | 一种用来处理hmds的真空烘箱 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201210183321.0A CN102709216B (zh) | 2012-06-05 | 2012-06-05 | 一种用来处理hmds的真空烘箱 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN102709216A CN102709216A (zh) | 2012-10-03 |
CN102709216B true CN102709216B (zh) | 2016-04-13 |
Family
ID=46901880
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201210183321.0A Active CN102709216B (zh) | 2012-06-05 | 2012-06-05 | 一种用来处理hmds的真空烘箱 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN102709216B (zh) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104530450B (zh) * | 2014-12-31 | 2017-05-17 | 苏州立人听力器材有限公司 | 一种真空光固化机 |
TWI681469B (zh) * | 2018-03-27 | 2020-01-01 | 創意電子股份有限公司 | 烘乾設備 |
CN108855773B (zh) * | 2018-08-31 | 2023-12-12 | 合肥真萍电子科技有限公司 | 电脑式hmds涂胶机 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1230682A (zh) * | 1999-03-15 | 1999-10-06 | 冶金工业部钢铁研究总院 | 多功能真空干燥烘箱及使用方法 |
CN2884202Y (zh) * | 2006-03-20 | 2007-03-28 | 深港产学研基地 | 多功能老化烘箱 |
CN201466599U (zh) * | 2009-07-17 | 2010-05-12 | 武汉冶建安装工程有限责任公司 | 耐高温抗强震的端子箱 |
CN202678289U (zh) * | 2012-06-05 | 2013-01-16 | 无锡市瑞达电子有限公司 | 一种用来处理hmds的真空烘箱 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7727588B2 (en) * | 2003-09-05 | 2010-06-01 | Yield Engineering Systems, Inc. | Apparatus for the efficient coating of substrates |
US20070231485A1 (en) * | 2003-09-05 | 2007-10-04 | Moffat William A | Silane process chamber with double door seal |
DE102005045365A1 (de) * | 2005-09-22 | 2007-03-29 | BSH Bosch und Siemens Hausgeräte GmbH | Schließvorrichtung für eine Tür eines Haushaltsgeräts |
WO2009116094A1 (en) * | 2008-03-18 | 2009-09-24 | Filippi S.R.L. | Oven with bottom-hinged door with no handle |
DE102010002098A1 (de) * | 2010-02-18 | 2011-08-18 | BSH Bosch und Siemens Hausgeräte GmbH, 81739 | Scharniervorrichtung, Haushaltsgerät mit einer Tür und Verfahren zum Nachrüsten eines Dämpfers |
CN101936064A (zh) * | 2010-08-10 | 2011-01-05 | 泰州康泰环保科技有限公司 | 真空垃圾系统投放口 |
CN202119232U (zh) * | 2011-06-21 | 2012-01-18 | 昆山一恒仪器有限公司 | 真空干燥箱 |
-
2012
- 2012-06-05 CN CN201210183321.0A patent/CN102709216B/zh active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1230682A (zh) * | 1999-03-15 | 1999-10-06 | 冶金工业部钢铁研究总院 | 多功能真空干燥烘箱及使用方法 |
CN2884202Y (zh) * | 2006-03-20 | 2007-03-28 | 深港产学研基地 | 多功能老化烘箱 |
CN201466599U (zh) * | 2009-07-17 | 2010-05-12 | 武汉冶建安装工程有限责任公司 | 耐高温抗强震的端子箱 |
CN202678289U (zh) * | 2012-06-05 | 2013-01-16 | 无锡市瑞达电子有限公司 | 一种用来处理hmds的真空烘箱 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN102709216A (zh) | 2012-10-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN102709216B (zh) | 一种用来处理hmds的真空烘箱 | |
CN206897914U (zh) | 一种医疗器械清洗装置 | |
CN211157443U (zh) | 一种高压蒸汽灭菌器 | |
CN202678289U (zh) | 一种用来处理hmds的真空烘箱 | |
CN204445487U (zh) | 蒸汽阀和烹饪器具 | |
CN204574704U (zh) | 一种防氧化电热真空干燥箱 | |
CN201200629Y (zh) | 电加热生物安全蒸汽灭菌器 | |
CN202314501U (zh) | 血液透析器蒸汽灭菌器 | |
CN207323739U (zh) | 一种具有蒸汽排放处理装置的脉动真空灭菌器 | |
CN204484827U (zh) | 一种压力蒸汽灭菌抽真空装置 | |
CN211120345U (zh) | 一种干燥箱 | |
CN209537624U (zh) | 一种提高pecvd设备抽真空效率的装置 | |
CN208554098U (zh) | 一种反应罐用高温蒸汽排放管路 | |
CN207570201U (zh) | 一种真空干燥箱 | |
CN202195264U (zh) | 蒸汽压力设备凝结水排放系统 | |
CN201803870U (zh) | 一种超声波粉碎机分流取样器 | |
CN202643819U (zh) | 热喷涂冷却装置 | |
CN221076133U (zh) | 一种灭菌柜门密封圈压缩空气补气装置 | |
CN204722191U (zh) | 一种真空冷却机 | |
CN204083486U (zh) | 一种保温闸阀 | |
CN205620641U (zh) | 液晶屏贴合机 | |
CN204152806U (zh) | 一种使用方便的lng潜液泵池 | |
CN205803578U (zh) | 一种真空热处理设备的加热器挡板系统 | |
CN205412477U (zh) | 一种高压碱洗槽 | |
CN204528214U (zh) | 一种码头集装箱的箱体 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C41 | Transfer of patent application or patent right or utility model | ||
TA01 | Transfer of patent application right |
Effective date of registration: 20120910 Address after: 214000 No. 127-2 Qinglong mountain, Binhu District, Jiangsu, Wuxi Applicant after: Wuxi Ruida Electronic Technology Co., Ltd. Address before: 214000 Jiangsu province Binhu District of Wuxi City Liyuan Development Zone A1 building 6 floor Applicant before: Wuxi Ruida Electronics Co.,Ltd. |
|
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant |