CN205703717U - 研磨刷 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种研磨刷，其对在表面上具有凹凸部的对象物也能适当地进行研磨。这种研磨刷是在研磨层的表面上具有由多个槽隔离的用于研磨被研磨物的表面的多个突起部的研磨刷，其中，上述槽的容积相对于研磨区域整体的体积是55～95％，进而，上述研磨刷的研磨层包含位于上述研磨刷的中心附近的第一区域和包围上述第一区域的第二区域，在上述第一区域中，从上述第一区域的上述研磨层的上述槽的底部到上述突起部的顶面具有第一高度，在上述第二区域中，从上述第二区域的上述研磨层的上述槽的底部到上述突起部的顶面具有第二高度，上述第一高度和上述第二高度不同。

Description

研磨刷

技术领域

本实用新型涉及研磨刷，特别涉及在表面上具有凸部的被研磨物也能适当地进行研磨的研磨刷。

背景技术

以往，对于手机、智能手机，或平板型个人计算机的那样的多功能型移动设备，或者音乐播放器、游戏设备，或产业用系统等各种各样的小型携带型电子设备，为了谋求与其它的产品的差别化，在其外观和外观设计上采用了各种各样的形状。而且，近年来，作为小型携带电子设备的形状，多采用使厚度具有变化的形状，以便朝向外周使厚度减少并沿外周形成弯曲面的形状。另外，通过采用这样的形状，除了使外观设计性提高的效果以外，还能在设备的侧面上也设置信息显示部，或者设置操作按钮等模块，能使设计的自由度提高。

而且，在加工上述的那样的使厚度具有变化的形状的小型携带型电子设备的壳体等情况下，可以使用切削加工、模具成型的技术。

通过切削加工，在加工使厚度具有变化的形状的情况下，使用球头立铣刀，或者R状钻石刀具将工件切削成规定的形状。但是，在使用球头立铣刀的情况下，在加工面上，与球头立铣刀的球径相应地形成了圆弧形状的切削痕。另外，在使用R状钻石刀具的情况下，因为需要由各自的切削工序形成平面和曲面，所以在平面和曲面的分界线上形成了台阶，不能加工成一样的面。另外，在同样地由模具成型使厚度具有变化的形状的情况下，在与模具接触的面整体上形成了受模具的表面质量影响的凹凸。

因此，作为除去由上述切削加工、模具成型产生的切削痕、台阶、凹凸的手段，需要在切削加工后使用专利文献1记载的研磨衬垫进行工件即被研磨物的表面研磨。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2014－138974号公报

专利文献1记载的研磨衬垫，是作为具备弹性衬垫、基底层及两者之间的粘接层的多层构造形成的，当将被研磨物(工件)压附在研磨衬垫上时，研磨衬垫追随被研磨物的形状进行变形。

实用新型内容

实用新型所要解决的课题

但是，近年来上述的那样的手机、智能手机，或者平板型个人计算机的那样的多功能型移动设备，或者音乐播放器、游戏设备，或产业用系统等各种各样的小型携带型电子设备，存在在表面上由凸部形成制造商名、商标名的标识语的情况。除此以外，也存在如下的情况：在这些多功能型移动设备、小型携带型电子设备的壳体上，在收容被设置在这些设备上的操作按钮等模块的各部分的周围也形成凸部。即，在多功能型移动设备、小型携带型电子设备的壳体上，除了一样的面(平面部)以外，形成凸部的倾向变高。

这样，在被研磨物的壳体面上形成了凸部的情况下，在专利文献1记载的研磨衬垫中不能充分地追随被研磨物的凸部的构造，其结果，存在着在研磨衬垫难以接触的凸部的周围产生研磨斑的问题。

因此，本实用新型是为了解决上述课题而做出的，其目的在于提供一种在表面上具有平面部和凸部的被研磨物也能适当地进行研磨的研磨刷。

为了解决课题的手段

为了解决上述课题，本实用新型是一种研磨刷，是在研磨层的表面上具有由多个槽隔离的用于研磨被研磨物的表面的多个突起部的研磨刷，其特征在于，上述槽的容积相对于研磨区域整体的体积是55～95％，进而，上述研磨刷的研磨层包含位于上述研磨刷的中心附近的第一区域和包围上述第一区域的第二区域，在上述第一区域中，从上述第一区域的上述研磨层的上述槽的底部到上述突起部的顶面具有第一高度，在上述第二区域中，从上述第二区域的上述研磨层的上述槽的底部到上述突起部的顶面具有第二高度，上述第一高度和上述第二高度不同。

根据具备上述结构的本实用新型，因为在设置在研磨刷的第一区域上的突起部和设置在研磨刷的第二区域上的突起部中，具有不同的高度，所以突起部的由区域相对于被研磨物的追随性不同。特别是因为在研磨刷的区域之中的突起部的高度大的一方的区域中，突起部的相对于被研磨物的追随性高，所以能由研磨刷的突起部的高度小的区域研磨被研磨物的一样的面，并且由研磨刷的突起部的高度大的区域研磨被研磨物的凸部，在表面上具有凸部的被研磨物也能适当地进行研磨。

另外，在本实用新型中，其特征在于，上述第二高度比上述第一高度大。

根据具备上述结构的本实用新型，因为与设置在研磨刷的第一区域上的突起部相比设置在研磨刷的第二区域上的突起部的一方对被研磨物的追随性高，所以能由研磨刷的第一区域研磨被研磨物的一样的面，并且由研磨刷的第二区域研磨被研磨物的凸部，在表面上具有凸部的被研磨物也能适当地进行研磨。

另外，在本实用新型中，上述研磨刷的研磨层还包含包围上述第二区域的第三区域，在上述第三区域中，从上述第三区域的上述研磨层的上述槽的底部到上述突起部的顶面具有第三高度，上述第三高度比上述第二高度小。

根据这样构成的本实用新型，因为与设置在研磨刷的第一区域及第三区域上的突起部相比，设置在研磨刷的第二区域上的突起部的一方相对于被研磨物的追随性高，所以能由研磨刷的第一区域及第三区域研磨被研磨物的一样的面，并且由研磨刷的第二区域研磨被研磨物的凸部，在表面上具有凸部的被研磨物也能适当地进行研磨。

另外，在本实用新型中，上述第三高度与上述第一高度相等。

根据这样构成的本实用新型，因为将第一区域和第三区域同样地形成，所以能由第一区域和第三区域进行更均质的研磨加工，在被研磨物表面中能得到更均质的被研磨面。

另外，在本实用新型中，在上述研磨层的各区域中，上述槽的开口面积相对于俯视上述研磨层时的投影面积分别是65.00～99.99％。

根据这样构成的本实用新型，能充分地确保槽的开口面积，由此，能从槽相对于突起部供给足够的量的料浆。

另外，在本实用新型中，在上述研磨层的各区域中，上述突起部的顶面分别被形成得平坦，全部的上述突起部的顶面的合计面积相对于俯视研磨刷时的投影面积是0.01～35.00％。

根据这样构的本实用新型，能确保足够的量的研磨面，由此，能抑制相对于被研磨物的研磨速度降低。

另外，在本实用新型中，在上述研磨层的各区域中，上述突起部分别具有从上述研磨层的表面延伸的多棱台形状，在相邻的突起部彼此之间设置了规定的间隔。

根据这样构成的本实用新型，通过将突起部的形状做成多棱台形，在突起部彼此的之间设置规定的间隔，在研磨时被研磨物进入突起部之间，由在突起部的侧面上形成的斜面也能研磨被研磨物。

另外，在本实用新型中，上述研磨刷还具备沿上述研磨层的周缘以围着上述研磨层的方式配置的框材。

根据这样构成的本实用新型，因为以围着研磨层的方式配置的框材起到堰的作用，所以能控制来自研磨层的料浆的流出。另外，能将料浆大量地保持在研磨刷中，能进一步提高研磨效率。

实用新型的效果

如上所述，根据本实用新型，在表面上具有凸部的被研磨物也能适当地进行研磨。

附图说明

图1是适用本实用新型的实施方式的研磨刷的单面研磨装置的立体图。

图2是本实用新型的实施方式的研磨刷的俯视图。

图3是图2的III-III'截面的概要剖视图。

图4是本实用新型的实施方式的研磨刷的主要部分剖视图。

图5是概要地表示使用了本实用新型的实施方式的研磨刷的研磨时的状态的主要部分剖视图。

图6是表示使用了本实用新型的实施方式的研磨刷的研磨方法的概要的俯视图。

图7是表示本实用新型的实施方式的研磨刷的制造方法的概要的主要部分剖视图。

具体实施方式

为了实施实用新型的方式

下面，参照附图，对本实用新型的实施方式的研磨刷进行说明。图1是适用本实施方式的研磨刷的单面研磨装置的立体图。

如图1所示，单面研磨机1具备将圆板状的研磨刷3固定在上面上的研磨定盘5。在研磨定盘5的底上设置了轴7，研磨定盘5被构成为能绕轴7自转。在研磨刷3之上，在从轴7的轴偏心的位置配置了研磨头9。研磨头9，具有用于保持被研磨物(工件)的保持板11，在研磨时，经保持板11将被研磨物压附在研磨刷3上，对被研磨物施加规定的研磨压。进而在研磨时，通过一边由未图示的料浆供给组件向研磨刷3上供给料浆一边绕轴7进行自转来研磨加工被研磨物。另外，在图1中表示了一个研磨头9，但也可以在研磨刷3上的空的部分上配置多个另外的研磨头。

图2是研磨刷的俯视图，图3是图2的III-III'截面的剖视图。如图2所示，在研磨刷3的上面上配置了研磨层15，此研磨层15具有位于研磨刷3的中心附近的圆形的第一区域15a、同心圆状地包围此第一区域15a的环状的第二区域15b、进而同心圆状地包围第二区域15b的环状的第三区域15c。在这些第一区域15a、第二区域15b、第三区域15c的各区域内，虽在图2中未图示，但形成了向研磨刷3的上面开口并从那里朝向研磨刷3内部具有规定的深度的多个槽(在第一区域15a、第二区域15b、第三区域15c的各区域中分别称为槽13a、槽13b、槽13c，总称为槽13)。另外，因为各槽的宽度相对于研磨刷3的尺寸充分小，所以在图2中未图示。由这些多个槽描绘的模样也可以是格子状。后述的多个突起部由这些多个槽隔离并确定。另外，在研磨刷3的研磨层15的周围也可以设置控制料浆的流出的起到堰的作用的环状的框材(未图示)。通过设置这样的框材，能将料浆大量地保持在研磨刷上，能进一步提高研磨效率。

第一区域15a的直径、第二区域15b的宽度、第三区域15c的宽度，最好是分别根据被研磨物的大小改变。特别是，第二区域15b的宽度，最好是具有在被研磨物的研磨中能由第二区域15b研磨被研磨物具有的凸部的那样的宽度。

如图3所示，研磨刷3，例如是将由厚度1～6mm、半径460mm的浸含树脂无纺布或者发泡聚氨酯形成的研磨层15和由聚乙烯泡沫状物片材、聚氨酯片材形成的缓冲层17层压而形成，作为整体具有圆板形状。研磨层15和缓冲层17，经具有PET(聚乙烯对苯二甲酸酯)、聚丙烯等可挠性薄膜的芯材的双面胶带或粘接剂等粘接层19相互粘合。而且，在缓冲层17中的未与研磨层15相向的一侧的面上，粘贴了用于将研磨刷3粘贴在研磨定盘5上的双面胶带21。

图4是研磨刷3的研磨层15之中的第一区域15a和第二区域15b的分界部附近的主要部分剖视图。如图4所示，在研磨刷3的研磨层15的第一区域15a及第二区域15b内，分别形成了由槽13a、13b隔离的多个突起部25a、25b。虽在图4中未图示，但在第三区域15c内也同样地形成了多个突起部25c和槽13c。将突起部25a、25b、25c总称为突起部25。即，本实用新型的研磨刷3的研磨层15的多个突起部25由连续的相同的原材料形成。

由设置成格子状的槽13a、13b、13c确定了这些多个突起部25a、25b、25c，这些槽13a、13b、13c，起到将料浆贮存在研磨区域内的作用。另外，所谓研磨区域，是指后面详细叙述的处于研磨刷3的槽13的底部31和研磨面27之间的部分。

各突起部25a、25b、25c在表面上具有多个开孔(未图示)，可由保持在开孔内的料浆和贮存在研磨区域内的料浆进行研磨加工。各突起部25a、25b、25c，从研磨层3的表面向从研磨定盘5离开的方向延伸。各突起部25a、25b、25c，例如具有四棱台形状，各突起部25a、25b、25c的各顶面27a、27b、27c(未图示)，作为整体构成研磨刷3的研磨面27。另外，详细情况后述，但做成四棱台形状的各突起部25a、25b、25c的侧面的倾斜面29a、29b、未图示的倾斜面29c，在研磨时也具有研磨作用。

如图4所示，在第一区域15a中，定义从研磨层15的槽13a的底部31a到突起部25a的顶面27a的第一高度Ha，另外定义突起部25a彼此的间隔Wa。在第二区域15b中，也定义从研磨层15的槽13b的底部31b到突起部25b的顶面27b的第二高度Hb，另外定义突起部25b彼此的间隔Wb。同样，在未图示的第三区域15c中，也定义从研磨层15的槽13c的底部31c到突起部25c的顶面27c的第三高度Hc，另外定义突起部25c彼此的间隔Wc。将底部31a、31b、31c总称为底部31。

在本实用新型的研磨刷3中，最好是满足Ha＜Hb的关系。即，最好是第二高度比第一高度大。另外，在本实用新型的研磨刷3中，满足了Hc＜Hb的关系。即，第三高度比第二高度小。另外，关于Ha和Hc的关系，最好是Ha＝Hc，即第一高度和第三高度相等，但既可以是Ha＜Hc，也可以是Ha＞Hc。如果第一高度和第三高度相等，则能由第一区域和第三区域进行更均质的研磨加工，在被研磨物表面中，能得到更均质的被研磨面。另外，虽未图示，但作为本实施方式的变形例，也可以省略第三区域15c，由上述的第一区域及第二区域构成研磨刷3的研磨层15。

另一方面，关于本实用新型的研磨刷3的制造方法，参照图7，如后述的那样，此槽13是通过使相同的前端部的形状的旋转刃55一边相对于研磨层15垂直地压附一边以规定深度移动切削形成。因此，上述的各间隔Wa、Wb、Wc由旋转刃55的前端部的形状确定。根据后述的制造方法，因为各区域的槽13使用相同的前端部的形状的旋转刃55形成，所以Wa、Wb、Wc相等。Wa、Wb、Wc以下总称为间隔W。

通过使将旋转刃55相对于研磨层15压附的深度在第二区域15b中比在其它的区域中深，在关于通过切削成形形成的槽13a、槽13b、槽13c的第一高度Ha、第二高度Hb、第三高度Hc上产生差别。此时，因为在第二区域15b中，与其它的区域相比旋转刃55被压附得深，所以突起部25b的顶面27b与其它的突起部25a、25c的顶面27a、27c相比，由旋转刃55的倾斜侧面切削得多。因此，突起部25b的顶面27b的面积与其它的突起部25a、25c的顶面27a、27c的面积相比变小。即，突起部25b的顶面27b的形状，成为与突起部25a、25c的顶面27a、27c的形状不同的形状，突起部25b与突起部25a、25c比较具有更细长的形状。

通过具有这样的结构，因为第二区域15b的突起部25b与第一区域15a的突起部25a及第三区域15c的突起部25c比较，具有更细长的形状，所以与第一区域15a的突起部25a及第三区域15c的突起部25c相比，第二区域15b的突起部25b的相对于被研磨物33的追随性提高。

形成在研磨刷3上的槽13的合计容积，相对于研磨区域的体积占55～95％，最好是占60～90％，更好占65～85％。所谓研磨区域，是指处于研磨刷3的槽13的底部31和研磨面27之间的部分的区域。换言之，研磨区域的体积，是使俯视研磨刷3时的投影面积(使圆周率π与研磨刷3的半径的平方相乘了的值)和关于第一区域15a、第二区域15b、第三区域15c的各自从槽13(13a、13b、13c)的底部31(31a、31b、31c)到研磨面27(顶面27a、27b、27c)的高度H(Ha、Hb、Hc)相乘并相加了的体积。而且，根据发明人等的认识，通过将槽13的容积相对于研磨区域整体的体积做成50～95％，能贮存足够的量的料浆。各槽13a，13b，13c的宽度，随着朝向底部而变得狭窄，但研磨刷3的研磨面27的高度中的槽13的开口面积，相对于俯视研磨刷3时的投影面积最好是65.00～99.99％。

另外，在第一区域15a中，突起部25a的高度Ha和突起部基部的水平截面形状中的外接圆的半径Ra之比Ha/Ra希望是0.3～2.0的范围。只要是上述的范围，则在对被研磨物33的追随性上优异，在平滑性上优异。

另外，在第二区域15b中，突起部25b的高度Hb和突起部基部的截面形状中的外接圆的半径Rb之比Hb/Rb希望是0.5～3.0的范围。只要是上述的范围，则在对被研磨物33的追随性上，特别是在对被研磨物33具有的凸部的追随性上优异，在平滑性上优异。

另外，在第三区域15c中，突起部25c的高度Hc和突起部基部的截面形状中的外接圆的半径Rc之比Hc/Rc希望是0.3～2.0的范围。此比Hc/Rc的值，最好是与上述的比Ha/Ra的值相等，但只要是上述的范围，则在对被研磨物33的追随性上优异，在平滑性上优异。

另外，上述的槽13a、13b、13c的形状，是与突起部25a、25b、25c的形状互补的形状，例如在将突起部25做成三棱台并以描绘三角格子的方式配置的情况下，形成在突起部25的之间的槽13在研磨层15的表面中描绘三角格子。另外，在将突起部25做成六棱台并以描绘六角格子的方式配置的情况下，槽在研磨层的表面中描绘六角格子。而且，突起部25的形状，或者由槽13描绘的形状，可以与要求的研磨速度、研磨面27的面积、槽13的容积相应地适当变更。

突起部25a、25b、25c，分别具有构成研磨面27的平坦的顶面27a、27b、27c和从各顶面倾斜地朝向槽13的底部31延伸的多个倾斜面29a、29b、29c(未图示)。突起部25a、25b、25c的高度Ha、Hb、Hc，一边满足上述的Ha＜Hb的关系及Hc＜Hb的关系，一边例如被做成1～5mm或者相对于研磨层15的厚度被做成30～90％，突起部25彼此的间隔W被做成2～5mm，构成研磨面27的顶面做成一边0.1～5mm的正方形。Hb和Ha(及Hc)之差最好是1.0～3.0mm左右。研磨刷3的研磨面的面积是全部的突起部25的顶面的合计面积，研磨面27的面积相对于俯视研磨刷3时的投影面积最好是0.01～35.00％。通过将各突起部25a、25b、25c的高度Ha、Hb、Hc、间隔W及面积做成上述范围，能够使突起部25的耐磨损性及研磨时的对被研磨物的形状的追随性提高。

通过将槽13的面积及研磨面27的面积做成上述范围，能够谋求将足够的量的料浆从槽13向研磨面27供给和确保足够的量的研磨面27的两全。

另外，通过将槽13a、13b、13c的深度或者突起部25a、25b、25c的高度Ha、Hb、Hc做成上述范围，将突起部25a、25b、25c的顶面27a、27b、27c分别做成一边0.1～5mm的正方形，能一边确保研磨时的突起部25的变形性一边抑制突起部25破损和突起部25从研磨刷3上脱落。

图5是表示研磨刷3的研磨层15的第一区域15a附近的研磨时的状态的主要部分剖视图。在图5中，在研磨时，被研磨物33一边压附在顶面(即研磨面)27a上一边在水平方向移动。在图5的范围外，被研磨物33一边在第二区域15b中压附在顶面27b上、在第三区域15c中压附在顶面27c上一边在水平方向移动。而且，多个突起部25之中的与被研磨物33接触的突起部由被研磨物33压缩，未与被研磨物33接触的突起部没有被压扁，保持了原来的高度Ha(在第二区域15b中是Hb，在第三区域15c中是Hc)。而且，如图5所示，被研磨物33，当在研磨刷3上在水平方向移动时，与被压缩的突起部25a的顶面27a及保持高度Ha的突起部25a的倾斜面29a接触。这样的动作，在第二区域15b、第三区域15c中也是同样的。由此，能合适地研磨被研磨物33。

这样，在研磨时在研磨层15的第一区域15a、第二区域15b、第三区域15c中产生同样的接触状态，但因为第二区域15b的突起部25b的高度Hb，比第一区域15a及第三区域15c的突起部25a、25c的高度Ha、Hc大，第二区域15b的突起部25b与其它的区域的突起部25a、25c比较具有更细长的形状，所以第二区域15b的突起部25b与第一区域15a的突起部25a及第三区域15c的突起部25c相比，相对于被研磨物33的追随性高。参照图6，如后述的那样，通过将被研磨物33的凸部压附在第二区域15b上，将被研磨物33的其它的区域(一样的面)压附在第一区域15a或者第三区域15c上进行研磨，由于对被研磨物33的一样的面(平面部)进行研磨，并且也良好地追随被研磨物33的凸部，所以也能适当地研磨在表面上具有凸部的被研磨物。

另外，此时，向研磨刷3供给的料浆，能通过多个槽13内遍布到研磨刷3的角落，将足够的量的料浆向大致全部的突起部25的研磨面27供给。

如上所述，根据本实施方式的研磨刷3，能确保对获得规定的研磨速度足够的量的研磨面的面积，而且能将足够的量的料浆保持在研磨刷3内。

关于具体的研磨方法，参照图6说明如下。图6是表示使用了本实用新型的实施方式的研磨刷的研磨方法的概要的俯视图。如上所述，研磨刷3具有圆板形状，被固定在研磨定盘5(未图示)的上面上。研磨刷3的研磨层15具备位于研磨刷3的中心附近的第一区域15a、包围第一区域的环状的第二区域15b和包围第二区域的环状的第三区域15c。

另一方面，研磨头9(在图6中仅显示从上面看到的轮廓线)，保持被研磨物33。在本实施方式中，作为被研磨物33，例如研磨具有凸部的壳体。此被研磨物33，例如如图6所示，在中央部具有凸部35。此凸部35，具体地讲，在携带型电子装置中，包含具有被设置在壳体上的凸部的各部分的周围的鼓出部等。

如图6所示，一个研磨头9保持一个被研磨物33。在本实施方式中，以被研磨物33的凸部35位于研磨头9的中心部的方式配置被研磨物33。

在由研磨刷3研磨被研磨物33时，首先将研磨头9相对于研磨刷3定位。此定位，通过被保持在研磨头9上的被研磨物33的被研磨部分进入研磨刷3的范围内，至少被研磨物33的凸部35被配置在与研磨刷3的第二区域15b对应的位置来进行。

通过固定了研磨刷3的研磨定盘5进行自转，在被保持在研磨头9上的被研磨物33和研磨刷3之间产生相对运动。而且，通过一边由研磨头9将被研磨物33压附在研磨层15上一边由未图示的料浆供给组件向研磨层15上供给料浆，研磨被研磨物33。此时，通过上述的定位，至少被研磨物33的凸部35被压附在研磨层15的第二区域15b上，此凸部35由第二区域15b研磨。被研磨物33的其它的平面部由研磨层15的第一区域15a、第二区域15b或者第三区域15c研磨。如上所述，因为第二区域15b的突起部25b与其它的区域的突起部相比相对于被研磨物33的追随性良好，也良好地追随凸部35，所以即使是具有平面部和设置在平面部上的凸部35的被研磨物33，也能一边防止在凸部35的周围产生研磨斑一边适当地且有效地进行研磨。

另外，在图6中表示使用了一个研磨头9的状态，但也可以在空的空间中配置其它的研磨头9，一次使用多个研磨头9进行研磨。另外，也可以在一个研磨头9上以凸部集中在中央部的方式配置多个被研磨物进行研磨。

接着，参照图7，对本实用新型的实施方式的研磨刷的制造方法的一实施方式进行说明。图7是表示本实用新型的实施方式的研磨刷的制造方法的概要的主要部分剖视图，表示研磨刷3的研磨层15的加工工序。如后述的那样，本实用新型的实施方式的研磨层15，通过将旋转刃55相对于平坦的研磨层15压附，并使其以规定深度移动，形成了槽，各突起部由此槽隔离并确定。通常，此各突起部的高度由旋转刃55相对于研磨层15的压附深度控制。

图7是表示本实用新型的实施方式的研磨刷的制造方法的概要的主要部分剖视图，特别是表示在研磨层15的第一区域15a和第二区域15b的分界附近压附了旋转刃55的状态的剖视图。为了容易理解地表示，压附旋转刃55的位置的间隔与实际的不同。如图7所示，相对于研磨层15，向由箭头所示的方向即铅直方向下方向压附旋转刃55。将旋转刃55压附在研磨层15上时的旋转刃55的移动距离，基于旋转刃55相对于支承台51的距离进行控制，在本实施方式中，第二区域15b是旋转刃55进入到比第一区域15a低的位置。

在图7的左侧所示的区域即与第一区域15a对应的区域中，旋转刃55，朝向支承台51进入，被压附在研磨层15上，进行切削。在图7中，表示旋转刃55由此切削动作最靠近支承台51时的状态。在与第一区域15a对应的区域中，旋转刃55被压附在研磨层15上，旋转刃55的端部最靠近支承台51的点的从研磨层15的上面起的深度，与形成在第一区域15a上的突起部25a的高度Ha相对应。如果旋转刃55以规定深度移动，则在其轨迹上形成具有深度Ha的槽13a。

在图7的右侧所示的区域即与第二区域15b对应的区域中，同样地旋转刃55朝向支承台51移动，被压附在研磨层15上，进行切削。在图7的右侧所示的区域中，也表示在此切削动作中旋转刃55最靠近支承台51时的状态。在与第二区域15b对应的区域中，因为旋转刃55的相对于支承台51的移动距离和与第一区域15a对应的区域相比大，所以在与第二区域15b对应的区域中，旋转刃55的前端部最靠近支承台51的点的从研磨层15的上面起的深度，成为比Ha深的Hb。而且如果旋转刃55以规定深度移动，则在其轨迹上形成具有深度Hb的槽13b。

在与第一区域15a、第二区域15b、第三区域15c分别对应的区域中，一边压附旋转刃55一边使其以规定深度保持不变地移动的一系列的切削动作是共同的，如果此切削动作结束一次，则接着一边向上方提升旋转刃55一边使支承台51在水平方向相对移动并定位在形成下一个槽13的位置，进行同样的切削动作。通过反复进行此动作，在研磨层15的表面上形成多个槽13。如果通过水平方向的相对移动，遍及研磨层15的表面整体地形成平行的多个槽13，则接着使研磨层15相对于旋转刃55相对地进行90度旋转，以形成与已形成了的多个槽13正交的那样的槽13的方式进行动作。进行了90度旋转之后的旋转刃55的切削动作，是与上述的旋转刃55的切削动作共同的。由此，遍及研磨层15的表面整体地形成格子状的槽13，即，遍及研磨层15的表面整体地形成突起部25。

在使用了旋转刃55的槽13的形成结束后，从支承台51取下研磨层15，通过将研磨层15经粘接层19粘合在上述的研磨刷3的缓冲层17之上，能得到图3所示的那样的研磨刷3的研磨层15。

以上，对本实用新型的实施方式进行了说明，但作为变形例，也可以与上述的实施方式相反，将研磨刷的第一区域的突起部的高度做得比第二突起部的高度大。通过在设置在研磨刷的第一区域上的突起部和设置在研磨刷的第二区域上的突起部中改变高度，对被研磨物的追随性变得不同，在此变形例中，能由研磨刷的高度高的第一区域研磨被研磨物的凸部，在表面上具有凸部的被研磨物也能适当地进行研磨。最好是根据被研磨物的形状、凸部的位置适当地使用这样的变形例的研磨刷。

符号的说明：

3：研磨刷

9：研磨头

13：槽

15：研磨层

15a：第一区域

15b：第二区域

15c：第三区域

25：突起部

25a：第一区域的突起部

25b：第二区域的突起部

25c：第三区域的突起部

27：研磨面

29：倾斜面

31：槽的底部

33：被研磨物

35：凸部

51：支承台

55：旋转刃。

Claims (8)

1.一种研磨刷，是在研磨层的表面上具有由多个槽隔离的用于研磨被研磨物的表面的多个突起部的研磨刷，其特征在于，

上述槽的容积相对于研磨区域整体的体积是55～95％，

进而，上述研磨刷的研磨层包含位于上述研磨刷的中心附近的第一区域和包围上述第一区域的第二区域，

在上述第一区域中，从上述第一区域的上述研磨层的上述槽的底部到上述突起部的顶面具有第一高度，

在上述第二区域中，从上述第二区域的上述研磨层的上述槽的底部到上述突起部的顶面具有第二高度，

上述第一高度和上述第二高度不同。

2.如权利要求1 所述的研磨刷，其特征在于，上述第二高度比上述第一高度大。

3.如权利要求2 所述的研磨刷，其特征在于，

上述研磨刷的研磨层还包含包围上述第二区域的第三区域，在上述第三区域中，从上述第三区域的上述研磨层的上述槽的底部到上述突起部的顶面具有第三高度，

上述第三高度比上述第二高度小。

4.如权利要求3 所述的研磨刷，其特征在于，上述第三高度与上述第一高度相等。

5.如权利要求1至4的任一项 所述的研磨刷，其特征在于，在上述研磨层的各区域中，上述槽的开口面积相对于俯视上述研磨层时的投影面积分别是65.00～99.99％。

6.如权利要求1至4的任一项 所述的研磨刷，其特征在于，在上述研磨层的各区域中，上述突起部的顶面分别被形成得平坦，全部的上述突起部的顶面的合计面积相对于俯视研磨刷时的投影面积是0.01～35.00％。

7.如权利要求1至4的任一项 所述的研磨刷，其特征在于，在上述研 磨层的各区域中，上述突起部分别具有从上述研磨层的表面延伸的多棱台形状，在相邻的突起部彼此之间设置了规定的间隔。

8.如权利要求1至4的任一项 所述的研磨刷，其特征在于，上述研磨刷还具备沿上述研磨层的周缘以围着上述研磨层的方式配置的框材。