CN205689955U - 一种真空镀膜玻璃生产线的真空密封装置 - Google Patents
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Abstract
一种真空镀膜玻璃生产线的真空密封装置,其特征在于:包括水管过渡接头(1)、真空密封接头(2)以及卡环(3);真空密封接头(2)的一端端面与真空镀膜玻璃生产线真空腔体壁上的法兰端面间由密封圈(4)密封接触,所述水管过渡接头(1)穿设于真空密封接头(2)的轴向通孔内,在水管过渡接头(1)上设有至少一圈密封圈凹槽(11),在该密封圈凹槽(11)内嵌置密封圈(5),水管过渡接头(1)通过密封圈(5)与真空密封接头(2)的圆形通孔的孔壁相接触密封。本实用新型结构简单,易于拆卸,真空密封效果较好,特别适用于从标准KF法兰处连接水管管路,即可以保证密封性,又不用重新改造真空腔体结构。
Description
技术领域
本实用新型涉及连续式真空磁控溅射镀膜玻璃生产线,具体涉及一种真空镀膜玻璃生产线的真空密封装置。
背景技术
磁控溅射镀膜玻璃生产线设备在工作中会发出大量热量,热量积聚无法散失会影响整个设备的正常工作,进而影响镀膜产品的质量,冷却系统是带走设备产生热量的重要工具,冷却系统分为冷却主体和辅助管路两部分,冷却主体在真空腔体内部,辅助管路在真空腔体外部。目前真空腔体在制作过程中外部会预留大量的标准KF法兰,外部辅助管路通过标准KF法兰与冷却主体连接,为保证真空腔室的密闭性,在标准KF法兰和外部辅助管路的连接处须采用真空密封装置,故需要一种真空密封装置。
发明内容
本实用新型目的是提供一种真空镀膜玻璃生产线的真空密封装置,以满足真空镀膜玻璃生产线的标准KF法兰和外部辅助管路处的真空密封需求。
为达到上述目的,本实用新型采用的技术方案是:一种真空镀膜玻璃生产线的真空密封装置,包括水管过渡接头、真空密封接头以及卡环;所述真空密封接头为一筒状体,其中心为轴向通孔,真空密封接头相对真空镀膜玻璃生产线真空腔体壁上的法兰固定连接,且真空密封接头的一端端面与真空镀膜玻璃生产线真空腔体壁上的法兰端面间由密封圈密封接触,所述水管过渡接头穿设于真空密封接头的轴向通孔内,在水管过渡接头上设有至少一圈密封圈凹槽,在该密封圈凹槽内嵌置密封圈,水管过渡接头通过密封圈与真空密封接头的圆形通孔的孔壁相接触密封;
并且,水管过渡接头上对应真空密封接头上远离真空镀膜玻璃生产线真空腔体壁上的法兰的一端的外侧设有卡环凹槽,在该卡环凹槽内卡置有卡环,该卡环由两个半圆环拼合构成,所述卡环与真空密封接头的端部间通过紧固件固定连接。
上述方案中,水管过渡接头上设有两圈密封圈凹槽,在两密封圈凹槽内各设有密封圈。
由于上述技术方案的应用,本实用新型具有以下优点:
本实用新型结构简单,易于拆卸,真空密封效果较好,特别适用于从标准KF法兰处连接水管管路,即可以保证密封性,又不用重新改造真空腔体结构。
附图说明
图1为本实用新型实施例结构示意图。
以上附图中:1、水管过渡接头;11、密封圈凹槽;12、卡环凹槽;2、真空密封接头;3、卡环;4、密封圈;5、密封圈;6、KF法兰;7、紧固件。
具体实施方式
下面结合附图及实施例对本实用新型作进一步描述:
实施例:参见图1所示:
一种真空镀膜玻璃生产线的真空密封装置,包括水管过渡接头1、真空密封接头2以及卡环3。
参见图1所示,所述真空密封接头2为一筒状体,其中心为轴向通孔,真空密封接头2相对真空镀膜玻璃生产线真空腔体壁上的KF法兰6固定连接,且真空密封接头2的一端端面与真空镀膜玻璃生产线真空腔体壁上的KF法兰6端面间由密封圈4密封接触,所述水管过渡接头1穿设于真空密封接头2的轴向通孔内,在水管过渡接头1上设有至少一圈密封圈凹槽11,在该密封圈凹槽11内嵌置密封圈5,水管过渡接头1通过密封圈5与真空密封接头2的圆形通孔的孔壁相接触密封;具体,水管过渡接头1上设有两圈密封圈凹槽11,在两密封圈凹槽11内各设有密封圈5。
参见图1所示,水管过渡接头1上对应真空密封接头2上远离真空镀膜玻璃生产线真空腔体壁上的KF法兰6的一端的外侧设有卡环凹槽12,卡环5卡置于卡环凹槽12内,卡环5由两个半圆环拼合构成,所述卡环5与真空密封接头2的端部间通过紧固件7固定连接。所述卡环5和卡环凹槽12配合起到对水管过渡接头1的定位作用。
本实施例结构简单,易于拆卸,真空密封效果较好,特别适用于从标准KF法兰处连接水管管路,即可以保证密封性,又不用重新改造真空腔体结构。
上述实施例只为说明本实用新型的技术构思及特点,其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本实用新型的内容并据以实施,并不能以此限制本实用新型的保护范围。凡根据本实用新型精神实质所作的等效变化或修饰,都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
Claims (2)
1.一种真空镀膜玻璃生产线的真空密封装置,其特征在于:包括水管过渡接头(1)、真空密封接头(2)以及卡环(3);所述真空密封接头(2)为一筒状体,其中心为轴向通孔,真空密封接头(2)相对真空镀膜玻璃生产线真空腔体壁上的法兰固定连接,且真空密封接头(2)的一端端面与真空镀膜玻璃生产线真空腔体壁上的法兰端面间由密封圈(4)密封接触,所述水管过渡接头(1)穿设于真空密封接头(2)的轴向通孔内,在水管过渡接头(1)上设有至少一圈密封圈凹槽(11),在该密封圈凹槽(11)内嵌置密封圈(5),水管过渡接头(1)通过密封圈(5)与真空密封接头(2)的圆形通孔的孔壁相接触密封;
并且,水管过渡接头(1)上对应真空密封接头(2)上远离真空镀膜玻璃生产线真空腔体壁上的法兰的一端的外侧设有卡环凹槽(12),所述卡环(3)卡置于卡环凹槽(12)内,卡环(3)由两个半圆环拼合构成,所述卡环(3)与真空密封接头(2)的端部间通过紧固件(7)固定连接。
2.根据权利要求1所述真空镀膜玻璃生产线的真空密封装置,其特征在于:水管过渡接头(1)上设有两圈密封圈凹槽(11),在两密封圈凹槽(11)内各设有密封圈(5)。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN107035925A (zh) * | 2016-12-28 | 2017-08-11 | 中国建材国际工程集团有限公司 | 用于真空腔体内外管路连接的密封装置 |
CN108286630A (zh) * | 2018-03-06 | 2018-07-17 | 合肥中科离子医学技术装备有限公司 | 一种适用于加速器束流传输系统的密封装置 |
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