CN107035925A - 用于真空腔体内外管路连接的密封装置 - Google Patents

用于真空腔体内外管路连接的密封装置 Download PDF

Info

Publication number
CN107035925A
CN107035925A CN201611234783.5A CN201611234783A CN107035925A CN 107035925 A CN107035925 A CN 107035925A CN 201611234783 A CN201611234783 A CN 201611234783A CN 107035925 A CN107035925 A CN 107035925A
Authority
CN
China
Prior art keywords
flange
ring
cavity
pipe joint
adpting flange
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
CN201611234783.5A
Other languages
English (en)
Inventor
井治
张超群
葛治亮
王程
王贝
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
China Triumph International Engineering Co Ltd
Original Assignee
China Triumph International Engineering Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by China Triumph International Engineering Co Ltd filed Critical China Triumph International Engineering Co Ltd
Priority to CN201611234783.5A priority Critical patent/CN107035925A/zh
Publication of CN107035925A publication Critical patent/CN107035925A/zh
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L—PIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L23/00—Flanged joints
    • F16L23/02—Flanged joints the flanges being connected by members tensioned axially
    • F16L23/032—Flanged joints the flanges being connected by members tensioned axially characterised by the shape or composition of the flanges
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L—PIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L23/00—Flanged joints
    • F16L23/02—Flanged joints the flanges being connected by members tensioned axially
    • F16L23/024—Flanged joints the flanges being connected by members tensioned axially characterised by how the flanges are joined to, or form an extension of, the pipes
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L—PIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L23/00—Flanged joints
    • F16L23/16—Flanged joints characterised by the sealing means
    • F16L23/18—Flanged joints characterised by the sealing means the sealing means being rings

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Gasket Seals (AREA)
  • Flanged Joints, Insulating Joints, And Other Joints (AREA)
  • Quick-Acting Or Multi-Walled Pipe Joints (AREA)

Abstract

本发明提供了一种用于真空腔体内外管路连接的密封装置，包括管路接头，止退环，连接法兰，密封圈，O型环，O型圈，快卸卡箍，和腔体法兰，管路接头从腔体法兰内孔穿出，密封圈套在管路接头的凹槽内，连接法兰套在管路接头上，连接法兰的内孔表面与密封圈紧密贴合，止退环卡入管路接头的凹槽内，并用螺钉与连接法兰固定，O型圈套在O型环上，然后将O型圈卡入连接法兰和腔体法兰之间，并且通过快卸卡箍将连接法兰与腔体法兰卡紧。根据本发明的用于真空腔体内管路的连接装置，能有效的解决了传统的管路连接装置在腔体内连接点的数量过多的问题，避免了人为安装造成连接点泄露情况的发生，对后期检漏工作带来很大的便利。

Description

用于真空腔体内外管路连接的密封装置
技术领域
本发明涉及一种用于真空腔体内外管路连接的密封装置，尤其涉及满足外界管路和真空腔体内管路连接的同时，又能满足密封条件的密封装置。所述装置可用于真空腔体内液体或气体的输送管路连接。
背景技术
对于大面积磁控溅射镀膜设备来说，腔体内有很多管路需要与外部管路相连接。传统的管路连接装置在真空腔体内有多处连接点，连接点的数量越多，存在的泄漏点也越多，而且连接点的密封存在很大的人为因素，不容易控制。传统的管路连接装置对后期的检漏工作也增加一定的负担。
而目前并没有一种能够解决上述问题的密封装置。
发明内容
针对现有技术存在的技术缺陷，本发明的旨在解决传统管路连接装置在腔体内存在过多连接点，彻底解决管路在腔体内部泄露的隐患，减轻检漏的负担。
为了达成上述目的，本发明提供了一种用于真空腔体内外管路连接的密封装置，包括管路接头，止退环，连接法兰，密封圈，O型环，O型圈，快卸卡箍，和腔体法兰，所述管路接头从所述腔体法兰内孔穿出，所述密封圈套在所述管路接头的凹槽内，所述连接法兰套在所述管路接头上，所述连接法兰的内孔表面与所述密封圈紧密贴合，所述止退环卡入所述管路接头的凹槽内，并用螺钉与所述连接法兰固定，所述O型圈套在所述O型环上，然后将所述O型圈卡入所述连接法兰和所述腔体法兰之间，并且通过所述快卸卡箍将所述连接法兰与所述腔体法兰卡紧。
一些实施例中，所述管路接头的一端为螺纹口，一端为圆管口，所述圆管口与管路焊接成一整体。
一些实施例中，所述腔体法兰的法兰面能与O型圈配合。
一些实施例中，所述密封圈同时与所述管路接头的凹槽底面和所述连接法兰的内孔表面紧密贴合。
一些实施例中，所述止推环将所述管路接头固定在所述连接法兰上，同时限制所述管路接头的轴向运动
一些实施例中，所述O型环将所述O型圈限定在两个法兰面之间，从而保证所述O型圈同时与所述连接法兰和所述腔体法兰的法兰面接触。
一些实施例中，所述快卸卡箍夹紧所述连接法兰和所述腔体法兰，使两者同时与所述0型圈紧密贴合，达到密封效果。
根据本发明的用于真空腔体内管路的连接装置，能有效的解决了传统的管路连接装置在腔体内连接点的数量过多的问题，避免了人为安装造成连接点泄露情况的发生，对后期检漏工作带来很大的便利。
附图说明
通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本发明的其它特征、目的和优点将会变得更明显：
图1示出了根据本发明的具体实施方式的用于真空腔体内管路的连接装置的侧视图；
图2示出了根据图1中A-A线的剖视图。
具体实施方式
为了更好的使本发明的技术方案清晰的表示出来，下面结合附图对本发明作进一步说明。
图1和2示出了本发明的具体实施方式的用于真空腔体内管路的连接装置。
如图1和2所示，根据本发明实施例的用于真空腔体内管路连接装置，该装置由管路接头1、止退环2、连接法兰3、密封圈4、O型环5、O型圈6、快卸卡箍7和腔体法兰8组成。管路接头1与管路焊接后从腔体法兰8内孔穿出。密封圈4套在管路接头1凹槽内，连接法兰3套在管路接头1上，连接法兰3内孔表面与密封圈4紧密贴合。止推环2卡入管路接头1凹槽内，并用螺钉与连接法兰3连接。O型圈6套在O型环5上，然后将其卡入连接法兰3和腔体法兰8之间。用快卸卡箍7将连接法兰3与腔体法兰8卡紧。
管路接头1一端螺纹口，一端圆管口。圆管口与管路焊接成一整体。管路接头1螺纹口从腔体法兰8内孔穿出。
密封圈4套在管路接头1凹槽内，连接法兰3套在管路接头1上，密封圈4同时与管路接头1凹槽底面和连接法兰3内孔表面紧密贴合，起到密封作用。
止推环2卡入管路接头1凹槽内，并用螺钉与连接法兰3连接，止推环2将管路接头1固定在连接法兰3上，同时限制管路接头1的轴向运动。
O型圈6套在O型环5上，将其卡入连接法兰3和腔体法兰8之间，O型环5将O型圈6限定在两个法兰面之间，保证O型圈6同时与连接法兰3和腔体法兰8的法兰面接触。
快卸卡箍7将连接法兰3与腔体法兰8卡紧，使两者同时与0型圈6紧密贴合，达到密封效果。
根据本发明的用于真空腔体内管路的连接装置，能有效的解决了传统的管路连接装置在腔体内连接点的数量过多的问题，避免了人为安装造成连接点泄露情况的发生，对后期检漏工作带来很大的便利。
以上对本发明的具体实施例进行了描述。需要理解的是，本发明并不局限于上述特定实施方式，本领域技术人员可以在权利要求的范围内做出各种变形或修改，这并不影响本发明的实质内容。

Claims (7)

1.一种用于真空腔体内外管路连接的密封装置，其特征在于，包括管路接头，止退环，连接法兰，密封圈，O型环，O型圈，快卸卡箍，和腔体法兰，所述管路接头从所述腔体法兰内孔穿出，所述密封圈套在所述管路接头的凹槽内，所述连接法兰套在所述管路接头上，所述连接法兰的内孔表面与所述密封圈紧密贴合，所述止退环卡入所述管路接头的凹槽内，并用螺钉与所述连接法兰固定，所述O型圈套在所述O型环上，然后将所述O型圈卡入所述连接法兰和所述腔体法兰之间，并且通过所述快卸卡箍将所述连接法兰与所述腔体法兰卡紧。
2.根据权利要求1所述的用于真空腔体内外管路连接的密封装置，其特征在于，所述管路接头的一端为螺纹口，一端为圆管口，所述圆管口与管路焊接成一整体。
3.根据权利要求2所述的用于真空腔体内外管路连接的密封装置，其特征在于，所述腔体法兰的法兰面能与O型圈配合。
4.根据权利要求3所述的用于真空腔体内外管路连接的密封装置，其特征在于，所述密封圈同时与所述管路接头的凹槽底面和所述连接法兰的内孔表面紧密贴合。
5.根据权利要求4所述的用于真空腔体内外管路连接的密封装置，其特征在于，所述止推环将所述管路接头固定在所述连接法兰上，同时限制所述管路接头的轴向运动。
6.根据权利要求5所述的用于真空腔体内外管路连接的密封装置，其特征在于，所述O型环将所述O型圈限定在两个法兰面之间，从而保证所述O型圈同时与所述连接法兰和所述腔体法兰的法兰面接触。
7.根据权利要求5所述的用于真空腔体内外管路连接的密封装置，其特征在于，所述快卸卡箍夹紧所述连接法兰和所述腔体法兰，使两者同时与所述0型圈紧密贴合，达到密封效果。
CN201611234783.5A 2016-12-28 2016-12-28 用于真空腔体内外管路连接的密封装置 Withdrawn CN107035925A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201611234783.5A CN107035925A (zh) 2016-12-28 2016-12-28 用于真空腔体内外管路连接的密封装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201611234783.5A CN107035925A (zh) 2016-12-28 2016-12-28 用于真空腔体内外管路连接的密封装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN107035925A true CN107035925A (zh) 2017-08-11

Family

ID=59530437

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201611234783.5A Withdrawn CN107035925A (zh) 2016-12-28 2016-12-28 用于真空腔体内外管路连接的密封装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN107035925A (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109494677A (zh) * 2018-10-17 2019-03-19 中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所 真空封泥对温度-高度电缆快速密封的装置及密封方法
CN111351902A (zh) * 2020-04-23 2020-06-30 南京三鸣智自动化工程有限公司 工业窑炉气体自适应在线分析系统

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101713480A (zh) * 2008-10-01 2010-05-26 英飞康有限责任公司 法兰连接结构
CN201803759U (zh) * 2010-09-28 2011-04-20 上海海鼎实业发展有限公司 用于连接流量计的管路接头
CN201884832U (zh) * 2010-12-14 2011-06-29 常州腾龙汽车零部件制造有限公司 一种高密封性能管路连接结构
CN103644404A (zh) * 2013-12-06 2014-03-19 张曹 一种用于真空型平板集热器中管路通孔处的密封连接结构
CN205424190U (zh) * 2015-12-15 2016-08-03 大连凯斯博格设备制造有限公司 一种法兰式管件管道密封装置
CN205689955U (zh) * 2016-06-23 2016-11-16 中建材光电装备（太仓）有限公司 一种真空镀膜玻璃生产线的真空密封装置
CN206656052U (zh) * 2016-12-28 2017-11-21 中国建材国际工程集团有限公司 用于真空腔体内外管路连接的密封装置

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101713480A (zh) * 2008-10-01 2010-05-26 英飞康有限责任公司 法兰连接结构
CN201803759U (zh) * 2010-09-28 2011-04-20 上海海鼎实业发展有限公司 用于连接流量计的管路接头
CN201884832U (zh) * 2010-12-14 2011-06-29 常州腾龙汽车零部件制造有限公司 一种高密封性能管路连接结构
CN103644404A (zh) * 2013-12-06 2014-03-19 张曹 一种用于真空型平板集热器中管路通孔处的密封连接结构
CN205424190U (zh) * 2015-12-15 2016-08-03 大连凯斯博格设备制造有限公司 一种法兰式管件管道密封装置
CN205689955U (zh) * 2016-06-23 2016-11-16 中建材光电装备（太仓）有限公司 一种真空镀膜玻璃生产线的真空密封装置
CN206656052U (zh) * 2016-12-28 2017-11-21 中国建材国际工程集团有限公司 用于真空腔体内外管路连接的密封装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109494677A (zh) * 2018-10-17 2019-03-19 中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所 真空封泥对温度-高度电缆快速密封的装置及密封方法
CN111351902A (zh) * 2020-04-23 2020-06-30 南京三鸣智自动化工程有限公司 工业窑炉气体自适应在线分析系统

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN207005285U (zh) 一种带内衬金属骨架的橡胶密封圈
TW201439454A (zh) 用於管路圍阻系統的接頭
CN107035925A (zh) 用于真空腔体内外管路连接的密封装置
CN103104768B (zh) 燃气输送用不锈钢波纹软管连接装置
CN206656052U (zh) 用于真空腔体内外管路连接的密封装置
CN203604863U (zh) 设有泄漏孔的卡波式端面密封管接头
CN109654315A (zh) 一种管道连接头
CN209012587U (zh) 管接头及高压气体管道连接装置
CN207316305U (zh) 一种卡套式密封软管接头
CN207298143U (zh) 一种用于水暖ppr管的连接件
WO2016101328A1 (zh) 一种锁紧式快速接头
CN106764164B (zh) 一种绝缘接头
CN206055017U (zh) 一种软管接头
TWM639748U (zh) 燃氣閥管接頭之束管防脫裝置
CN207830783U (zh) 一体式球面软管连接头
CN108361456A (zh) 防爆多功能连接器及其安装方法
CN208185695U (zh) 防爆多功能连接器
CN212028799U (zh) 一种轴向自密封管件
CN106353046B (zh) 一种diss阀门检漏接头及快速检漏方法
CN206338523U (zh) 一种金属管快速接头
CN212273321U (zh) 轴向防漏式双密封管件
CN106153270A (zh) 一种管道环焊缝无损检测方法
CN205503031U (zh) 一种石油钻采用连接套管
US20220275892A1 (en) Connector for flexible tubing
CN218671025U (zh) 市政给排水管用防渗漏结构

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
WW01 Invention patent application withdrawn after publication
WW01 Invention patent application withdrawn after publication

Application publication date: 20170811