CN205614858U - 一种新型多晶硅切片粘棒用刮胶工装 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种新型多晶硅切片粘棒用刮胶工装，包括第一侧板、第二侧板、推杆和刷板，第一侧板和第二侧板顶部之间设有横梁，刷板两端与分别与第一侧板和第二侧板内表面底部垂直相连，刷板底部设有凹槽，所述凹槽内设有若干刷齿，刷齿包括第一侧表面和第二侧表面，第一侧表面和第二侧表面顶部相连，底部均与凹槽表面倾斜设置，第一侧表面与凹槽表面的倾斜角为θ1，第二侧表面与凹槽表面的倾斜角为θ2，所述θ1<θ2；本实用新型使用方便，操作简单，利于胶层涂抹均匀，可有效控制胶层厚度，提高加工效率和工件质量，降低切片产生的亮边、硅落、崩边等不良问题。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种新型多晶硅切片粘棒用刮胶工装，属于多晶硅片生产加工技术领域。
背景技术
在多晶硅片生产加工过程中，多晶硅棒经头尾切除、滚磨、参考面磨制后，直接粘上碳板，再与切块粘接即可进行切片加工，在现有技术中的多晶硅切片粘棒过程中，单组份厌氧胶使用逐步推广，然而由于单组份厌氧胶的粘稠度较低，易出现流淌现象，涂胶时经常会出现不均匀，同时此胶固化较快，固化后气泡会留在胶层和硅锭的交接处，导致切片出现亮边、硅落，甚至崩边等不良问题。
实用新型内容
本实用新型的目的是针对现有技术的缺陷，提供一种新型多晶硅切片粘棒用刮胶工装，使用方便，操作简单，利于胶层涂抹均匀，可有效控制胶层厚度，提高加工效率和工件质量，降低切片产生的亮边、硅落、崩边等不良问题。
本实用新型是通过如下的技术方案予以实现的：
一种新型多晶硅切片粘棒用刮胶工装，包括第一侧板、第二侧板、推杆和刷板，其中，所述第一侧板和第二侧板相互平行，且位于推杆两侧对称设置，所述第一侧板和第二侧板顶部之间设有横梁，所述横梁两端分别与第一侧板和第二侧板垂直相连，所述推杆一端顶部与横梁底部垂直相连；
所述刷板两端与分别与第一侧板和第二侧板内表面底部垂直相连，且与横梁对应设置，所述刷板底部设有凹槽，所述凹槽内设有若干刷齿，所述若干刷齿相互连接，所述刷齿包括第一侧表面和第二侧表面，所述第一侧表面和第二侧表面顶部相连，底部均与凹槽表面倾斜设置，所述第一侧表面与凹槽表面的倾斜角为θ1，所述第二侧表面与凹槽表面的倾斜角为θ2，所述θ1<θ2。
上述一种新型多晶硅切片粘棒用刮胶工装，其中，所述刷板与第二侧板之间设有加强板，所述加强板一端与横梁垂直相连。
上述一种新型多晶硅切片粘棒用刮胶工装，其中，所述第一侧表面和第二侧表面之间的夹角为θ3，所述θ3为35°~55°。
本实用新型的有益效果为：
通过控制推杆，可使刷板与单组份厌氧胶接触，均匀地涂抹胶水，从而实现多晶硅棒粘棒，同时通过对胶层厚度的控制，使气泡排放更佳，单刀用量稳定，从而降低切片产生的亮边、硅落、崩边等不良情况。
本实用新型采用垂直连接，结构稳定，便于和使用者控制操作；由第一侧表面和第二侧表面构成的刷齿，且第一侧表面与凹槽表面的倾斜角为θ1小于第二侧表面与凹槽表面的倾斜角为θ2，使刷齿向一侧倾斜，从而保证前后刮涂均匀，更易控制；第一侧表面和第二侧表面之间的夹角为θ3为35°~55°，保证刮涂侧向剪切力力度，便于控制胶层厚度；以加强板提高连接刚性强度，提高使用寿命。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图。
图2为本实用新型刷板结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步说明。
一种新型多晶硅切片粘棒用刮胶工装，包括第一侧板1、第二侧板2、推杆3和刷板4，其中，所述第一侧板1和第二侧板2相互平行，且位于推杆3两侧对称设置，所述第一侧板1和第二侧板2顶部之间设有横梁5，所述横梁5两端分别与第一侧板1和第二侧板2垂直相连，所述推杆3一端顶部与横梁5底部垂直相连；
所述刷板4两端与分别与第一侧板1和第二侧板2内表面底部垂直相连，且与横梁5对应设置，所述刷板4与第二侧板2之间设有加强板7，所述加强板7一端与横梁5垂直相连；
所述刷板4底部设有凹槽8，所述凹槽8内设有若干刷齿9，所述若干刷齿9相互连接，所述刷齿9包括第一侧表面10和第二侧表面11，所述第一侧表面10和第二侧表面11顶部相连，底部均与凹槽8表面倾斜设置；
所述第一侧表面10与凹槽8表面的倾斜角为θ1，所述第二侧表面11与凹槽8表面的倾斜角为θ2，所述θ1<θ2，所述第一侧表面10和第二侧表面11之间的夹角为θ3，所述θ3为35°~55°。
本实用新型的工作方式为：
通过控制推杆，可使刷板与单组份厌氧胶接触，均匀地涂抹胶水，从而实现多晶硅棒粘棒，同时通过对胶层厚度的控制，使气泡排放更佳，单刀用量稳定，从而降低切片产生的亮边、硅落、崩边等不良情况。
以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围内。因此，本实用新型的保护范围应该以权利要求书的保护范围为准。
Claims (3)
1. 一种新型多晶硅切片粘棒用刮胶工装，包括第一侧板、第二侧板、推杆和刷板，其特征为，所述第一侧板和第二侧板相互平行，且位于推杆两侧对称设置，所述第一侧板和第二侧板顶部之间设有横梁，所述横梁两端分别与第一侧板和第二侧板垂直相连，所述推杆一端顶部与横梁底部垂直相连；
所述刷板两端与分别与第一侧板和第二侧板内表面底部垂直相连，且与横梁对应设置，所述刷板底部设有凹槽，所述凹槽内设有若干刷齿，所述若干刷齿相互连接，所述刷齿包括第一侧表面和第二侧表面，所述第一侧表面和第二侧表面顶部相连，底部均与凹槽表面倾斜设置，所述第一侧表面与凹槽表面的倾斜角为θ1，所述第二侧表面与凹槽表面的倾斜角为θ2，所述θ1<θ2。
2.如权利要求1所述的一种新型多晶硅切片粘棒用刮胶工装，其特征为，所述刷板与第二侧板之间设有加强板，所述加强板一端与横梁垂直相连。
3.如权利要求1所述的一种新型多晶硅切片粘棒用刮胶工装，其特征为，所述第一侧表面和第二侧表面之间的夹角为θ3，所述θ3为35°~55°。
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| CN108144814A (zh) * | 2017-12-21 | 2018-06-12 | 重庆超硅半导体有限公司 | 一种集成电路用单晶硅棒的均匀涂胶粘接方法 |
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| CN108144814A (zh) * | 2017-12-21 | 2018-06-12 | 重庆超硅半导体有限公司 | 一种集成电路用单晶硅棒的均匀涂胶粘接方法 |
| CN108144814B (zh) * | 2017-12-21 | 2020-11-03 | 重庆超硅半导体有限公司 | 一种集成电路用单晶硅棒的均匀涂胶粘接方法 |
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