CN205556852U - 单晶硅棒自动取棒运输设备 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种单晶硅棒自动取棒运输设备,包括:晶棒架(1)、晶棒架驱动单元(2)、晶棒夹(3)、晶棒夹导轨(4)、旋转液压马达(5)、转盘(6)、机架(7)、控制台(8)、左右旋丝杆驱动液压马达(9)、左右旋丝杆(10)、升降台(11)、升降液压缸(12)、晶棒托盘(13)。本实用新型配合液压系统与机电控制系统,在单晶硅棒生产出炉后,晶棒从炉底部的炉口向下伸出,较长的晶棒会向下延伸到设备安装面以下空间,晶棒托盘可以下降到设备安装面以下接住晶棒。晶棒下料后,晶棒夹在晶棒腰部夹持晶棒,使晶棒固定在单晶硅棒自动取棒运输设备上。晶棒托盘提升晶棒,高度超过设备安装面,单晶硅棒自动取棒运输设备离开晶棒生产炉,转盘转动,把竖直的晶棒转到水平位置,将单晶硅棒运输到下一道工序。通过本实用新型降低劳动强度,提高工作效率和较低的运行成本。
Description
技术领域
本实用新型应用于单晶硅生产领域。
背景技术
目前,国内单晶硅生产领域,采用人工取晶棒和运输,劳动强度大,安全性低。没有专业取晶棒设备和运输设备。
发明内容
本发明的目的在于避免现有技术中的不足而提供一种单晶硅棒自动取棒运输设备,降低劳动强度,操作安全可靠。
为了实现上述目的,本发明采用以下技术方案:
单晶硅棒自动取棒运输设备,包括:晶棒架(1)、晶棒架驱动单元(2)、晶棒夹(3)、晶棒夹导轨(4)、旋转液压马达(5)、转盘(6)、机架(7)、控制台(8)、左右旋丝杆驱动液压马达(9)、左右旋丝杆(10)升降台(11)、升降液压缸(12)、晶棒托盘(13)。
本实用新型配合液压系统或机电控制系统,在单晶硅棒生产出炉后,晶棒从炉底部的炉口向下伸出,较长的晶棒会向下延伸到设备安装面以下空间,晶棒托盘可以下降到设备安装面以下接住晶棒。晶棒下料后,晶棒夹在晶棒腰部夹持晶棒,使晶棒固定在单晶硅棒自动取棒运输设备上。晶棒托盘提升晶棒,高度超过设备安装面。单晶硅棒自动取棒运输设备离开晶棒生产炉,转盘转动,把竖直的晶棒转到水平位置,将单晶硅棒运输到下一道工序。通过本实用新型降低劳动强度,提高工作效率和较低的运行成本。
其中,所述的单晶硅棒自动取棒运输设备下部有一个动力驱动行走轮,单晶硅棒自动取棒运输设备可以用机电控制运动。所述的转盘设有制动器。所述的晶棒夹成对设置。
一实施方式中,所述的单晶硅棒自动取棒运输设备采用液压系统驱动。
另一实施方式中,所述的单晶硅棒自动取棒运输设备采用机电控制系统驱动。
优选地,所述的晶棒夹可以设置保险栓。
由于采用了上述的结构,本发明具有如下有益效果:
1、配合单晶硅生产炉,晶棒从炉底部的炉口向下伸出,较长的晶棒会向下延伸到设备安装面以下空间,晶棒托盘下降,接住晶棒后,随着晶棒一起向下移动,移动的速度与晶棒生成后下移动速度一致;
2、晶棒下料后,晶棒夹在晶棒腰部夹持晶棒,使晶棒固定在单晶硅棒自动取棒运输设备上;
3、晶棒托盘提升晶棒,高度超过设备安装面;
4、单晶硅棒自动取棒运输设备离开晶棒生产炉,转盘转动,把竖直的晶棒转到水平位置;
5、开动单晶硅棒自动取棒运输设备运输晶棒到下一道工序。
附图说明
利用附图对本发明作进一步说明,但附图中的实施例不构成对本发明的任何限制,对于本领域的普通技术人员,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据以下附图获得其它的附图。
图1是本实用新型的立体示意图。
图2是图1的分解示意图。
图3是托盘下移到设备安装面一下的示意图。
图4是转盘转动的示意图。
图5是晶棒架旋转到水平位置的示意图。
具体实施方式
为了使本领域的技术人员更好地理解本发明的技术方案,下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步详细的描述。
晶棒架(1)、晶棒架驱动单元(2)、晶棒夹(3)、晶棒夹导轨(4)、旋转液压马达(5)、转盘(6)、机架(7)、控制台(8)、左右旋丝杆驱动液压马达(9)、左右旋丝杆(10)升降台(11)、升降液压缸(12)、晶棒托盘(13)。
1、配合液压系统与机电控制系统,在单晶硅棒生产出炉后,晶棒从炉底部的炉口向下伸出,较长的晶棒会向下延伸到设备安装面以下空间,晶棒托盘下降,在单晶硅炉下部接住生产出的晶棒下端,随晶棒下移,可以下移到单晶硅棒自动取棒运输设备安装面一下;
2、晶棒下料后,晶棒夹自动夹持晶棒;
3、晶棒托盘提升晶棒到设备安装面以上;
4、调整晶棒位置。转盘自动转动,把晶棒由垂直位置旋转到水平位置。
5、开动单晶硅棒自动取棒运输设备运输晶棒到下一道工序。
本发明的安装使用过程详述如下:
1、知道晶棒从炉里生产伸出的数据后,操作设备控制台手柄,开动单晶硅棒自动取棒运输设备到晶棒生产炉下方,设置晶棒托盘下移的速度与晶棒伸出的速度一致;
2、晶棒托盘中心对准晶棒中心,操作控制台按键,上升晶棒托盘,接住从晶炉里生产出的晶棒下端;
3、设置晶棒托盘自动下移,速度与晶棒生成后下移动速度一致;
4、晶棒在生成过程中从上向下不断伸出晶棒炉口,晶棒下料后,晶棒夹在晶棒腰部夹持晶棒,使晶棒固定在单晶硅棒自动取棒运输设备上。
本发明使用时,如图3所示,可以设置晶棒托盘自动下移速度,用来适用晶棒的生产速度。
本实用新型配合单晶硅生产设备,在单晶硅棒生产出炉后,晶棒从炉底部的炉口向下伸出,较长的晶棒会向下延伸到设备安装面以下空间,晶棒托盘可以下降到设备安装面以下接住晶棒。晶棒下料后,晶棒夹在晶棒腰部夹持晶棒,使晶棒固定在单晶硅棒自动取棒运输设备上。晶棒托盘提升晶棒,高度超过设备安装面,单晶硅棒自动取棒运输设备离开晶棒生产炉,转盘转动,把竖直的晶棒转到水平位置,将单晶硅棒运输到下一道工序。通过本实用新型降低劳动强度,提高工作效率和较低的运行成本。
总之,本发明虽然例举了上述优选实施方式,但是应该说明,虽然本领域的技术人员可以进行各种变化和改型,除非这样的变化和改型偏离了本发明的范围,否则都应该包括在本发明的保护范围内。
Claims (8)
1.单晶硅棒自动取棒运输设备,包括:晶棒架(1)、晶棒架驱动单元(2)、晶棒夹(3)、晶棒夹导轨(4)、旋转液压马达(5)、转盘(6)、机架(7)、控制台(8)、左右旋丝杆驱动液压马达(9)、左右旋丝杆(10)升降台(11)、升降液压缸(12)、晶棒托盘(13)。
2.根据权利要求1所述的单晶硅棒自动取棒运输设备,其特征在于:所述的晶棒架(1)底部有晶棒托盘(13)。
3.根据权利要求2所述的单晶硅棒自动取棒运输设备,其特征在于:所述的晶棒托盘(13)可以下降到设备安装面以下。
4.根据权利要求2所述的单晶硅棒自动取棒运输设备,其特征在于:所述的晶棒架(1)一个面有齿条。
5.根据权利要求1所述的单晶硅棒自动取棒运输设备,其特征在于:所述的转盘(6)安装在升降台(11)上。
6.根据权利要求1所述的单晶硅棒自动取棒运输设备,其特征在于:转盘(6)可以转动角度,在垂直位置与水平位置之间旋转。
7.根据权利要求1所述的单晶硅棒自动取棒运输设备,其特征在于:所述的晶棒架(1)与升降台(11)连接,可以独立升降,也可以一起移动。
8.根据权利要求1所述的单晶硅棒自动取棒运输设备,其特征在于:所述的晶棒夹(3)安装在转盘(6)上。
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108569317A (zh) * | 2017-03-09 | 2018-09-25 | 北京宏兴恒业精密机械有限公司 | 新型取晶车 |
CN112095156A (zh) * | 2020-09-21 | 2020-12-18 | 江苏晶品新能源科技有限公司 | 一种夹持稳定的单晶硅片加工用夹紧机构 |
CN114232073A (zh) * | 2021-12-18 | 2022-03-25 | 中山市汇创精密科技有限公司 | 可适用于长尺寸硅晶棒用取晶装置 |
CN114277440A (zh) * | 2021-11-23 | 2022-04-05 | 浙江晶盛机电股份有限公司 | 一种夹具、晶棒抓取装置和单晶炉 |
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- 2016-02-26 CN CN201620143695.3U patent/CN205556852U/zh not_active Expired - Fee Related
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