CN114232073A - 可适用于长尺寸硅晶棒用取晶装置 - Google Patents

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Abstract

本发明属于机械的领域，尤其涉及可适用于长尺寸硅晶棒用取晶装置。包括支架，所述支架上设有可供硅晶棒垂直穿过的垂吊口；对中夹紧组件，设于所述支架上其位于垂吊口的两侧；垂吊支撑底座，设于所述支架上其位于垂吊口内可相对所述支架升降；垂吊升降组件。本方案通过改用以连接绳配合支撑滑轮组的升降结构，解决了现有采用导轨作为升降的方式，其连接绳的长度可自由收放，故可适配更长的单晶棒固定使用，而且可适配不同长度的单晶棒使用，使得本装置的使用范围更广，而且结构更简单，成本更低。

Description

可适用于长尺寸硅晶棒用取晶装置
【技术领域】
本发明属于机械的领域，尤其涉及可适用于长尺寸硅晶棒用取晶装置。
【背景技术】
单晶炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程中的必要设备。本领域的专业技术人员通过单晶炉将多晶硅加热拉制成单晶硅棒。在单晶硅拉制结束后从单晶炉副室中降下单晶棒，落在正下方的取晶架内。
目前通过设置在取晶小车上的取晶架对硅晶棒进行定位，而由于硅晶棒较为长直，其固定的取晶架至少对其上端以及下端进行夹紧或限位，故一般采用导轨使得承接底盘对硅晶棒下端进行支撑和限位，而能够固定的硅晶棒长度则被导轨的长度所限制。随着现有硅晶棒出炉的长度增加，其长度可超过10M，若取晶小车定制同样长度的导轨结构，则使得整体造价高，而且易损坏，后期维护成本大。
【发明内容】
为解决现有技术中针对长尺寸硅晶棒的出炉承接的问题，本发明提供了可适用于长尺寸硅晶棒用取晶装置。
本发明是通过以下技术方案实现的：
可适用于长尺寸硅晶棒用取晶装置，包括；
支架，所述支架上设有可供硅晶棒垂直穿过的垂吊口；
对中夹紧组件，包括设于所述支架上其位于垂吊口的两侧的夹持臂以及驱动两夹持臂向垂吊口中心运动的驱动件；
垂吊支撑底座，设于所述支架上其位于垂吊口内可相对所述支架升降；
垂吊升降组件，包括设于所述支架上的收放绳驱动件、设于所述支架上的支撑滑轮组以及穿过所述支撑滑轮组与所述垂吊支撑底座连接的连接绳。
如上所述的可适用于长尺寸硅晶棒用取晶装置，所述垂吊支撑底座的中部开设有贯穿其上下两端的让位口，所述垂吊支撑底座上还设有伸至所述让位口的底部承托组件。
如上所述的可适用于长尺寸硅晶棒用取晶装置，所述垂吊支撑底座上设有4组所述的底部承托组件。
如上所述的可适用于长尺寸硅晶棒用取晶装置，所述底部承托组件包括朝向所述让位口中轴向的支撑头部、铰接于所述垂吊支撑底座且与所述支撑头部连接的杆身以及设于杆身上的限位部。
如上所述的可适用于长尺寸硅晶棒用取晶装置，所述限位部为设于所述杆身上且朝向所述让位口中轴线的凸起部。
如上所述的可适用于长尺寸硅晶棒用取晶装置，所述支撑头部以及所述限位部上均设有滚轮。
如上所述的可适用于长尺寸硅晶棒用取晶装置，所述杆身上还设有与所述垂吊支撑底座连接的弹簧。
如上所述的可适用于长尺寸硅晶棒用取晶装置，所述垂吊升降组件包括四组所述的滑轮组以及连接绳，所述垂吊支撑底座上位于对位四角处设有与所述连接绳的连接位。
如上所述的可适用于长尺寸硅晶棒用取晶装置，所述垂吊支撑底座上还设有称重装置。
与现有技术相比，本发明有如下优点：
1、本发明提供了可适用于长尺寸硅晶棒用取晶装置，在单晶硅拉制结束后从单晶炉副室中降下的单晶棒，穿过支架的垂吊口，通过垂吊支撑底座承托单晶棒的底部，并随单晶棒一同下降，而单晶棒上端通过对中夹紧组件夹紧固定，从而将单晶棒固定，方便后续运输。而本方案通过改用以连接绳配合支撑滑轮组的升降结构，解决了现有采用导轨作为升降的方式，其连接绳的长度可自由收放，故可适配更长的单晶棒固定使用，而且可适配不同长度的单晶棒使用，使得本装置的使用范围更广，而且结构更简单，成本更低。
【附图说明】
为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明可适用于长尺寸硅晶棒用取晶装置的使用状态图；
图2为本发明可适用于长尺寸硅晶棒用取晶装置的结构示意图；
图3为可适用于长尺寸硅晶棒用取晶装置的结构示意图(垂吊支撑底座下降状态)；
图4为底部承托组件的半剖图；
图5为底部承托组件与硅晶棒接触的示意图；
图6为底部承托组件承托硅晶棒后的示意图。
【具体实施方式】
为了使本发明所解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。
本发明是通过以下技术方案实现的：
如图1至图6所示，可适用于长尺寸硅晶棒用取晶装置，包括；支架1，所述支架1上设有可供硅晶棒垂直穿过的垂吊口101；对中夹紧组件2，设于所述支架1上其位于垂吊口101的两侧；垂吊支撑底座3，设于所述支架1上其位于垂吊口101内可相对所述支架1升降；垂吊升降组件4，包括设于所述支架1上的收放绳驱动件41、设于所述支架1上的支撑滑轮组42以及穿过所述支撑滑轮组42与所述垂吊支撑底座3连接的连接绳43。本发明提供了可适用于长尺寸硅晶棒用取晶装置，在单晶硅拉制结束后从单晶炉副室中降下的单晶棒，穿过支架的垂吊口，通过垂吊支撑底座承托单晶棒的底部，并随单晶棒一同下降，而单晶棒上端通过对中夹紧组件夹紧固定，从而将单晶棒固定，方便后续运输。而本方案通过改用以连接绳配合支撑滑轮组的升降结构，解决了现有采用导轨作为升降的方式，其连接绳的长度可自由收放，故可适配更长的单晶棒固定使用，而且可适配不同长度的单晶棒使用，使得本装置的使用范围更广，而且结构更简单，成本更低。
另外，所述对中夹紧组件2包括设于所述支架1上其位于垂吊口101的两侧的夹持臂以及驱动两夹持臂向垂吊口101中心运动的驱动件。
进一步地，所述垂吊支撑底座3的中部开设有贯穿其上下两端的让位口301，所述垂吊支撑底座3上还设有伸至所述让位口301的底部承托组件5。由于硅晶棒其底部一般是圆弧面或半球面，本方案通过让位口301供其底部嵌入，再通过底部承托组件5与其底部接触，起到更好的支撑作用。
具体地，所述垂吊支撑底座3上设有4组所述的底部承托组件5。且本方案中，让位口301与垂吊口101的中心重合。四组底部承托组件均伸至让位口301的中心处，配合上端的对中夹紧组件，在硅晶棒穿过垂吊口101的同时，对齐导向，使得硅晶棒的轴线与让位口301以及垂吊口101的中心重合，从而方便下端的底部承托组件能够均匀的支撑在硅晶棒底部。
又进一步地，所述底部承托组件5包括朝向所述让位口301中轴向的支撑头部51、铰接于所述垂吊支撑底座3且与所述支撑头部51连接的杆身52以及设于杆身52上的限位部53。本方案采用活动式的底部承托组件，以保证支撑硅晶棒底部的同时能够与硅晶棒的表面进行贴合压紧，起到更加好的支撑效果。
具体地，如图5、图6所示，所述限位部53为设于所述杆身52上且朝向所述让位口301中轴线的凸起部。在硅晶棒下降的过程中，硅晶棒底部与支撑头部51接触，继续下降的过程中，迫使支撑头部51向下转动，使得杆身52绕铰接处向下转动，同时带动其上端的限位部53压向硅晶棒的外表面，当限位部53与硅晶棒外表面接触时，限制了杆身的转动，同时限制了支撑头部51，从而使得多组支撑头部能过固定支撑在硅晶棒底部。而本方案采用这种活动式的底部承托组件，能够很好的与硅晶棒的底部贴合，使得能够对多种不同管径的硅晶棒起到良好的支撑作用。
另外，所述支撑头部51以及所述限位部53上均设有滚轮。通过滚轮与硅晶棒表面形成线接触，能够保护硅晶棒的表面，避免刮花等问题。
又具体地，所述杆身52上还设有与所述垂吊支撑底座3连接的弹簧54。使其能够自动复位。
同样的，所述垂吊升降组件4包括四组所述的滑轮组42以及连接绳43，所述垂吊支撑底座3上位于对位四角处设有与所述连接绳43的连接位。其能够保证升降的过程中平稳。
另外，所述垂吊支撑底座3上还设有称重装置。这样在固定硅晶棒的同时，能够直接测量重量。
本发明提供了可适用于长尺寸硅晶棒用取晶装置，在单晶硅拉制结束后从单晶炉副室中降下的单晶棒，穿过支架的垂吊口，通过垂吊支撑底座承托单晶棒的底部，并随单晶棒一同下降，而单晶棒上端通过对中夹紧组件夹紧固定，从而将单晶棒固定，方便后续运输。而本方案通过改用以连接绳配合支撑滑轮组的升降结构，解决了现有采用导轨作为升降的方式，其连接绳的长度可自由收放，故可适配更长的单晶棒固定使用，而且可适配不同长度的单晶棒使用，使得本装置的使用范围更广，而且结构更简单，成本更低。
如上所述是结合具体内容提供的一种或多种实施方式，并不认定本发明的具体实施只局限于这些说明。凡与本发明的方法、结构等近似、雷同，或是对于本发明构思前提下做出若干技术推演，或替换都应当视为本发明的保护范围。

Claims (9)

1.可适用于长尺寸硅晶棒用取晶装置，其特征在于，包括；
支架(1)，所述支架(1)上设有可供硅晶棒垂直穿过的垂吊口(101)；
对中夹紧组件(2)，包括设于所述支架(1)上其位于垂吊口(101)的两侧的夹持臂以及驱动两夹持臂向垂吊口(101)中心运动的驱动件；
垂吊支撑底座(3)，设于所述支架(1)上其位于垂吊口(101)内可相对所述支架(1)升降；
垂吊升降组件(4)，包括设于所述支架(1)上的收放绳驱动件(41)、设于所述支架(1)上的支撑滑轮组(42)以及穿过所述支撑滑轮组(42)与所述垂吊支撑底座(3)连接的连接绳(43)。
2.根据权利要求1所述的可适用于长尺寸硅晶棒用取晶装置，其特征在于，所述垂吊支撑底座(3)的中部开设有贯穿其上下两端的让位口(301)，所述垂吊支撑底座(3)上还设有伸至所述让位口(301)的底部承托组件(5)。
3.根据权利要求2所述的可适用于长尺寸硅晶棒用取晶装置，其特征在于，所述垂吊支撑底座(3)上设有4组所述的底部承托组件(5)。
4.根据权利要求3所述的可适用于长尺寸硅晶棒用取晶装置，其特征在于，所述底部承托组件(5)包括朝向所述让位口(301)中轴向的支撑头部(51)、铰接于所述垂吊支撑底座(3)且与所述支撑头部(51)连接的杆身(52)以及设于杆身(52)上的限位部(53)。
5.根据权利要求4所述的可适用于长尺寸硅晶棒用取晶装置，其特征在于，所述限位部(53)为设于所述杆身(52)上且朝向所述让位口(301)中轴线的凸起部。
6.根据权利要求5所述的可适用于长尺寸硅晶棒用取晶装置，其特征在于，所述支撑头部(51)以及所述限位部(53)上均设有滚轮。
7.根据权利要求4所述的可适用于长尺寸硅晶棒用取晶装置，其特征在于，所述杆身(52)上还设有与所述垂吊支撑底座(3)连接的弹簧(54)。
8.根据权利要求1所述的可适用于长尺寸硅晶棒用取晶装置，其特征在于，所述垂吊升降组件(4)包括四组所述的滑轮组(42)以及连接绳(43)，所述垂吊支撑底座(3)上位于对位四角处设有与所述连接绳(43)的连接位。
9.根据权利要求1所述的可适用于长尺寸硅晶棒用取晶装置，其特征在于，所述垂吊支撑底座(3)上还设有称重装置。
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