CN205473959U - 一种双电子枪蒸发源 - Google Patents
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Abstract
本实用新型属于真空镀膜技术，具体涉及一种双电子枪蒸发源。所述阴极和偏转系统组合配套使用，所述组合装置至少有2套，所述多束电子束都能轰击同一熔池。本实用新型有益效果：两套电子束系统同时工作，增强了电子束的稳定性。同时，由于电子枪功率的相应降低，使用寿命相应的增加。
Description
技术领域
本实用新型属于真空镀膜技术，具体涉及一种双电子枪蒸发源。
背景技术
蒸发源是用来加热膜材使之气化蒸发的装置。目前，所用的蒸发源主要有电阻加热、电子束加热、感应加热、电弧加热和激光加热等形式。有很多材料不能用电阻加热的形式蒸发，在这种情况下，必须采用电子束加热方式。电子枪所用电源大小更多的取决于蒸发材料的导热性，而不是其蒸发温度。电源功率一般在4-10KV之间，对于大多数绝缘材料，4KW是比较理想的功率条件。
当需要电子束大功率长时间功率时，电子枪的使用寿命大幅度按降低，电子束稳定性降低。
实用新型内容
本实用新型为了克服上述技术缺陷，提供一种双电子枪蒸发源。
一种双电子枪蒸发源，包括熔池、阴极、偏转系统，其特征在于：所述阴极和偏转系统组合配套使用，所述组合装置至少有2套。
所述多束电子束都能轰击同一熔池。
本实用新型有益效果：两套电子束系统同时工作，增强了电子束的稳定性。同时，由于电子枪功率的相应降低，使用寿命相应的增加。
附图说明
图1为本实用新型结构图
具体实施方式
如图1所示，电子位于熔池1下面的阴极2发出，这种结构避免了阴极被蒸发材料的污染。阴极2发出的电子经过偏转系统3的电压作用，轰击熔池1内的材料。该电子束在电磁线圈的磁场中可沿E×B的方向偏转。两套电子束系统同时工作，增强了电子束的稳定性。同时，由于电子枪功率的相应降低，使用寿命相应的增加。
Claims (2)
1.一种双电子枪蒸发源，包括熔池(1)、阴极(2)、偏转系统(3)，其特征在于：所述阴极(2)和偏转系统(3)组合配套使用，所述组合装置至少有2套。
2.根据权利要求1所述一种双电子枪蒸发源，其特征在于：多束电子束都能轰击同一熔池(1)。
Priority Applications (1)
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| CN201620243413.7U CN205473959U (zh) | 2016-03-21 | 2016-03-21 | 一种双电子枪蒸发源 |
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| CN201620243413.7U CN205473959U (zh) | 2016-03-21 | 2016-03-21 | 一种双电子枪蒸发源 |
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| CN205473959U true CN205473959U (zh) | 2016-08-17 |
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| CN (1) | CN205473959U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111088479A (zh) * | 2019-12-27 | 2020-05-01 | 云南北方奥雷德光电科技股份有限公司 | e形多电子束蒸镀装置及电子枪电路 |
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2016
- 2016-03-21 CN CN201620243413.7U patent/CN205473959U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN111088479A (zh) * | 2019-12-27 | 2020-05-01 | 云南北方奥雷德光电科技股份有限公司 | e形多电子束蒸镀装置及电子枪电路 |
| CN111088479B (zh) * | 2019-12-27 | 2022-05-06 | 云南北方奥雷德光电科技股份有限公司 | e形多电子束蒸镀装置及电子枪电路 |
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