CN205408393U - 一种平坦度测量装置及柔性集成电路预贴合装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种平坦度测量装置及柔性集成电路预贴合装置，其中，平坦度测量装置包括：相对设置的底座和测试平台；位于测试平台背离底座一侧的感压纸；位于底座与测试平台之间的导筒、套筒，以及位于套筒与导筒之间的锁止机构。上述平坦度测量装置中的限压单元可以使底座与测试平台之间的相互作用力的数值最大时处于感压纸可感测的力度范围内，进而使测试平台对感压纸的压力值最大时处于感压纸可感测的力度范围内；因此，利用上述平坦度测量装置，可以确保使感压纸受到的压力达到并不超过其可感测的力度范围。因此，利用该平坦度测量装置进行平坦度测试的准确度较高。

Description

一种平坦度测量装置及柔性集成电路预贴合装置

技术领域

本实用新型涉及平坦度测量技术领域，尤其是涉及一种平坦度测量装置及一种柔性集成电路预贴合装置。

背景技术

在液晶显示面板生产过程中需要利用柔性集成电路预贴合装置(TCPPre-Bonding)对覆晶薄膜(COF)与基板进行预贴合作业。柔性集成电路预贴合装置中压合头(Pre-BondingHead)的平坦度对贴合良率的影响很大，因此，需要进行严格调试。

目前，一般使用感压纸对压合头的平坦度进行测试，测试中根据感压纸受压后的显色深度均一程度判断平坦度状态。感压纸的显色浓度随着压力水平的增大而加深，但压力过大或过小时，感压纸的颜色均会无法准确反应物体的平坦度(如：压力过大时感压纸的各部分都完全着色，此时，显色浓度达到最大，无法判断感压纸颜色的均一性；而压力过小时，感压纸中发色胶囊未破裂，显色剂无法显色，此时也无法判断感压纸颜色的均一性)。

传统测量压合头平坦度的方式为：首先，在柔性集成电路预贴合装置的支撑台上安装测试平台，然后在测试平台上放置感压纸，最后通过手动推动支撑台向上使测试平台与压合头压紧进而对感压纸进行加压。上述测试方法中，由于手动推动支撑台对感压纸进行加压的压力大小无法准确控制，所以，很难保证对感压纸的加压大小合适，进而，上述利用感压纸进行压合头平坦度测试的准确度较低。

实用新型内容

本实用新型提供了一种平坦度测量装置以及一种柔性集成电路预贴合装置，其中，平坦度测量装置用以解决现有技术中利用感压纸进行平坦度测试时准确度较低的问题。

为达到上述目的，本实用新型提供以下技术方案：

一种平坦度测量装置，包括：

相对设置的底座和测试平台；

位于所述测试平台背离所述底座一侧的感压纸；

位于所述底座与所述测试平台之间、且一端安装于所述测试平台上的导筒；

位于所述底座与所述测试平台之间、且一端安装于所述底座的套筒，所述套筒套设在所述导筒外部；

位于所述套筒内、且设置于所述导筒朝向所述底座的一端端面与底座之间的弹性件；

位于所述套筒与所述导筒之间的锁止机构，所述锁止机构用于提供在初始状态时将所述套筒与所述导筒锁定的锁止力；

当所述套筒与所述导筒沿其轴心线方向上的相互作用力大于所述锁止力时，所述套筒与所述导筒之间的锁定解除，所述套筒与所述导筒可沿其轴心线方向上相对运动。

上述平坦度测量装置包括用于放置感压纸的测试平台、以及用于驱动测试平台对感压纸进行加压的底座；测试平台和底座之间还设有套设配合的导筒和套筒，其中，导筒安装于测试平台，套筒安装于底座；当朝向测试平台方向推动底座时，该推力可以依次通过底座、套筒以及导筒的传动最终作用到测试平台、进而实现驱动测试平台对感压纸进行加压，在此过程中，套筒与导筒之间将产生沿其轴心线方向上的相互作用力，该相互作用力随着推力的增大而增大；

套筒与导筒之间还设有在初始状态时将套筒与导筒之间锁定的锁止机构，所以，当朝向测试平台方向推动底座时，包括以下两种情况：

当套筒与导筒之间产生的相互作用力不大于锁止机构的锁止力时，套筒与导筒之间将处于锁定状态，即套筒与导筒之间保持相对固定，进而，底座与测试平台之间也保持相对固定；此时，在忽略导筒、套筒和锁止机构的重力作用的情况下，套筒与导筒之间(即底座与测试平台之间)的相互作用力的数值可以近似等于底座受到的推力的数值，进而，测试平台对感压纸的压力值近似等于底座受到的推力的数值；

当套筒与导筒之间的相互作用力大于锁止机构的锁止力时，套筒与导筒之间的锁定状态可以被解除，此时，在对底座施加的推力的作用下，套筒与导筒之间将沿其轴心线方向上相对运动，即底座与导筒之间将产生相对运动，进而可以使弹性件被压缩；此时，在忽略导筒、套筒和锁止机构等结构的重力作用的情况下，套筒与导筒之间(即底座与测试平台之间)的相互作用力的数值可以近似等于弹性件的弹性恢复力的数值，进而，测试平台对感压纸的压力值近似等于弹性件的弹性恢复力；

因此，在朝向测试平台方向推动底座以驱动测试平台对感压纸进行加压时，当推力刚好可以使套筒与导筒之间产生相对运动时(即推力刚好大于锁止力时)，即可以撤除推力，由于此时导筒与底座之间产生的相对位移(即弹性件的压缩量)很小，进而可以保证底座与测试平台之间的相互作用力的数值比锁止力小；从而，在上述加压过程中，该平坦度测量装置的底座与测试平台之间的相互作用力的数值的变化过程为：当推力小于锁止力时，该相互作用力的数值近似等于推力的数值，并随着推力的增大而增大；当推力刚好大于锁止力时，该相互作用力的数值近似等于弹性件的弹性恢复力的数值，进而，该相互作用力突然变小；即在上述加压过程中，底座与测试平台之间的相互作用力的数值(即测试平台对感压纸的压力值)最大时近似等于锁止力的数值，因此，通过设置锁止力的大小处于感压纸可感测的力度范围内，即可以保证上述加压过程中感压纸受到的压力最大值达到并不超过感压纸可感测的力度范围；综上所述，利用上述平坦度测量装置，可以在手动对感压纸进行加压的过程中较精确地掌控推力的大小、以确保使感压纸受到的压力达到并不超过其可感测的力度范围。因此，利用该平坦度测量装置进行平坦度测试的准确度较高。

优选地，所述锁止机构包括：所述导筒的表面设有的、环绕所述导筒设置的环形凹槽；所述套筒设有的、位于所述导筒与所述套筒之间的环形限位部；位于所述环形限位部朝向所述测试平台一侧的压力弹簧、弹力器内环和多个滚珠；其中，所述压力弹簧和所述弹力器内环套设于所述导筒上；且所述压力弹簧背离底座的一端与所述套筒背离底座的一端端面相抵、所述压力弹簧朝向底座的一端与所述弹力器内环相抵；所述弹力器内环的内侧面为朝向所述底座方向倾斜的斜面，所述弹力器内环的内侧面与所述多个滚珠相抵；所述多个滚珠限位于所述弹力器内环的内侧面与所述环形限位部之间；且在所述初始状态时，所述多个滚珠位于所述导筒的环形凹槽内、以使所述套筒与所述导筒之间锁定；当所述套筒与所述导筒沿其轴心线方向上的相互作用力大于所述锁止力时，所述多个滚珠从所述导筒的环形凹槽中脱出，所述套筒与所述导筒之间的锁定被解除，所述套筒与所述导筒可沿其轴心线方向上相对运动。

优选地，所述套筒包括：安装于所述底座的第一调节筒，所述第一调节筒的筒壁设有外螺纹，所述第一调节筒背离所述底座的一端形成所述环形限位部；套设于所述导筒外部的第二调节筒，所述第二调节筒的筒壁设有与所述第一调节筒的筒壁外螺纹螺纹配合的内螺纹，所述压力弹簧、弹力器内环和多个滚珠设置于所述第二调节筒与所述导筒之间，且所述压力弹簧背离底座的一端与所述第二调节筒背离底座的一端端面相抵。

优选地，所述第一调节筒包括内层筒壁和外层筒壁两层筒壁结构，所述内层筒壁的外表面设有外螺纹，且所述内层筒壁背离所述底座的一端形成所述环形限位部；所述第二调节筒的部分筒壁插入所述第一调节筒的内层筒壁和外层筒壁之间，且所述第二调节筒的筒壁内表面设有所述内螺纹，所述第二调节筒的筒壁外表面设有沿第二调节筒的轴心线方向标记的刻度线。

优选地，所述弹性件为弹簧。

优选地，所述测试平台背离所述底座一侧设有用于观察所述测试平台的水平度的水准仪。

优选地，所述底座上设有多个用以调节测试平台水平度的调平螺丝。

优选地，所述底座为方形座，所述底座的每一个角部设有一个贯穿所述底座的厚度方向、且与所述底座螺纹配合的调平螺丝。

一种柔性集成电路预贴合装置，包括用于放置待加工电路板的支撑台和用于压合电路板的压合头，以及上述任一项技术方案所述的平坦度测量装置。

附图说明

图1为本实用新型实施例提供的一种平坦度测量装置的爆炸结构示意图；

图2为本实用新型实施例提供的一种平坦度测量装置在底座受到的推力不大于锁止机构的锁止力的状态下的切面结构示意图；

图3为本实用新型实施例提供的一种平坦度测量装置在底座受到的推力大于锁止机构的锁止力的状态下的某一时刻切面结构示意图；

图4为本实用新型实施例提供的一种平坦度测量装置中导筒与滚珠的结构示意图；

图5为本实用新型实施例提供的一种平坦度测量装置中第一调节筒的结构示意图；

图6为本实用新型实施例提供的一种柔性集成电路预贴合装置的部分结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参考图1～图6。

如图1～图6所示，本实用新型实施例提供的一种平坦度测量装置，包括：

相对设置的底座1和测试平台2；

位于测试平台2背离底座1一侧的感压纸；

位于底座1与测试平台2之间、且一端安装于测试平台2上的导筒3；

位于底座1与测试平台2之间、且一端安装于底座1的套筒4，该套筒4套设于导筒3外部；

位于套筒4内、且设置于导筒3朝向底座1的一端端面与底座1之间的弹性件8；

位于套筒4与导筒3之间的锁止机构，锁止机构用于提供在初始状态时将套筒4与导筒3锁定的锁止力；

当套筒4与导筒3沿其轴心线o方向上的相互作用力大于上述锁止力时，套筒4与导筒3之间的锁定解除，套筒4与导筒3可沿其轴心线o方向上相对运动。

上述平坦度测量装置包括用于放置感压纸的测试平台2、以及用于驱动测试平台2对感压纸进行加压的底座1；测试平台2和底座1之间还设有套设配合的导筒3和套筒4(导筒3和套筒4的轴心线o重合)，其中，导筒3安装于测试平台2，套筒4安装于底座1；当朝向测试平台2方向推动底座1时，该推力可以依次通过底座1、套筒4以及导筒3的传动最终作用于测试平台2、进而实现驱动测试平台2对感压纸进行加压，在此过程中，套筒4与导筒3之间将产生沿其轴心线o方向上的相互作用力，该相互作用力随着上述推力的增大而增大；

套筒4与导筒3之间还设有在初始状态时将套筒4与导筒3之间锁定的锁止机构，所以，当朝向测试平台2方向推动底座1时，包括以下两种情况：

当套筒4与导筒3之间产生的相互作用力不大于锁止机构的锁止力时，套筒4与导筒3之间将处于锁定状态，即套筒4与导筒3之间保持相对固定，进而，底座1与测试平台2之间也保持相对固定；此时，在忽略导筒3、套筒4和锁止机构的重力作用的情况下，套筒4与导筒3之间(即底座1与测试平台2之间)的相互作用力的数值可以近似等于底座1受到的推力的数值，进而，测试平台2对感压纸的压力值近似等于底座1受到的推力的数值；

当套筒4与导筒3之间的相互作用力大于锁止机构的锁止力时，套筒4与导筒3之间的锁定状态可以被解除，此时，在对底座1施加的推力的作用下，套筒4与导筒3之间将沿其轴心线o方向上相对运动，即底座1与导筒3之间将产生相对运动，进而可以使弹性件8被压缩；此时，在忽略导筒3、套筒4和锁止机构等结构的重力作用的情况下，套筒4与导筒3之间(即底座1与测试平台2之间)的相互作用力的数值可以近似等于弹性件8的弹性恢复力的数值，进而，测试平台2对感压纸的压力值近似等于弹性件8的弹性恢复力；

因此，在朝向测试平台2方向推动底座1以驱动测试平台2对感压纸进行加压时，当推力刚好可以使套筒4与导筒3之间产生相对运动时(即推力刚好大于锁止力时)，即可以撤除推力，由于此时导筒3与底座1之间产生的相对位移(即弹性件8的压缩量)很小，进而可以保证底座1与测试平台2之间的相互作用力的数值比锁止力小；从而，在上述加压过程中，该平坦度测量装置的底座1与测试平台2之间的相互作用力的数值的变化过程为：当推力小于锁止力时，该相互作用力的数值近似等于推力的数值，并随着推力的增大而增大；当推力刚好大于锁止力时，该相互作用力的数值近似等于弹性件8的弹性恢复力的数值，进而，该相互作用力突然变小；即在上述加压过程中，底座1与测试平台2之间的相互作用力的数值(即测试平台2对感压纸的压力值)最大时近似等于锁止力的数值，因此，通过设置锁止力的大小处于感压纸可感测的力度范围内，即可以保证上述加压过程中感压纸受到的压力最大值达到并不超过感压纸可感测的力度范围；综上所述，利用上述平坦度测量装置，可以在手动对感压纸进行加压的过程中较精确地掌控推力的大小、以确保使感压纸受到的压力达到并不超过其可感测的力度范围。因此，利用该平坦度测量装置进行平坦度测试的准确度较高。

如图1～图3所示，一种优选的实施例中，上述平坦度测量装置中，弹性件8可以为弹簧。

如图1～图4所示，在上述实施例的基础上，一种具体的实施例中，上述平坦度测量装置中，锁止机构可以包括：

形成于导筒3的表面、且环绕导筒3设置的环形凹槽30；

套筒4设有的、位于导筒3与套筒4之间的环形限位部40；

位于环形限位部40朝向测试平台2一侧的压力弹簧5、弹力器内环6和多个滚珠7；其中，

压力弹簧5和弹力器内环6套设于导筒3上；且压力弹簧5背离底座1的一端与套筒4背离底座1的一端端面相抵、压力弹簧5朝向底座1的一端与弹力器内环6相抵；弹力器内环6的内侧面为朝向底座1方向倾斜的斜面，弹力器内环6的内侧面与多个滚珠7相抵；多个滚珠7限位于弹力器内环6的内侧面与环形限位部40之间；且在初始状态时，多个滚珠7位于导筒3的环形凹槽30内、以使套筒4与导筒3之间锁定；

当套筒4与导筒3沿其轴心线o方向上的相互作用力大于锁止力时，多个滚珠7从导筒3的环形凹槽30中脱出、以使套筒4与导筒3之间的锁定被解除，此时，套筒4与导筒3可沿其轴心线方向上相对运动。

上述锁止机构在初始状态时，由于套筒4设有的环形限位部40朝向测试平台2的一侧被多个滚珠7所限位，而多个滚珠7位于导筒3的环形凹槽30内，因此，多个滚珠7可以将套筒4与导筒3之间锁定；进而，当朝向测试平台2方向推动底座1、以使套筒4与导筒3之间产生相对作用力时，可以包括以下两种情况：

如图2所示，当套筒4与导筒3之间产生的相对作用力小于或等于锁止力时，套筒4的环形限位部40与导筒3的环形凹槽30内壁对多个滚珠7的作用力无法使多个滚珠7克服弹力器内环6的限位作用(压力弹簧5的弹性力使弹力器内环6对滚珠具有限位作用)而从环形凹槽30中脱出，从而多个滚珠7保持固定在导筒3的环形凹槽30中，此时，环形限位部40以及环形凹槽30被多个滚珠7所限位而无法产生相对位移，即导筒3与套筒4被锁定，进而，底座1与测试平台2相对静止；此时，在忽略导筒3、套筒4、压力弹簧5、弹力器内环6和滚珠7等结构件的重力作用的情况下，底座1与测试平台2之间(底座1与导筒3之间)的相互作用力的数值可以近似等于底座1受到的推力的数值，进而，测试平台2对感压纸的压力值近似等于底座1受到的推力的数值；

如图3所示，当套筒4与导筒3之间产生的相对作用力大于锁止力时，套筒4的环形限位部40与导筒3的环形凹槽30内壁对多个滚珠7的作用力可以使多个滚珠7克服弹力器内环6的限位作用(即克服压力弹簧5的弹性力作用)、从而使多个滚珠7从环形凹槽30中脱出，此时，摆脱环形凹槽30限位的多个滚珠7可以相对于导筒3运动，进而，环形限位部40与环形凹槽30之间可以相对移动，即套筒4与导筒3之间的锁定被解除；从而，在底座1受到的推力的作用下，底座1与导筒3之间将产生相对运动，位于底座1与导筒3之间的弹性件8将被压缩；此时，在忽略导筒3、套筒4、压力弹簧5、弹力器内环6和滚珠7等结构件的重力作用的情况下，底座1与测试平台2之间(底座1与导筒3之间)的相互作用力的数值可以近似等于弹性件8的弹性恢复力的数值；

因此，在朝向测试平台2方向推动底座1以驱动测试平台2对感压纸进行加压时，当对底座1的推力刚好可以使多个滚珠7从环形凹槽30中脱出、从而使底座1与测试平台2可以产生相对运动时(即推力刚好大于锁止力时)，即可以停止继续加压，此时底座1与导筒3产生的相对位移(即弹性件8的压缩量)很小，从而可以保证此时底座1与测试平台2之间(底座1与导筒3之间)的相互作用力的数值比锁止力的数值小；在上述加压过程中，该平坦度测量装置的底座1与测试平台2之间的相互作用力的数值的变化过程为：当对底座1的推力无法使多个滚珠7从环形凹槽30中脱出时(即推力不大于锁止力时)，底座1与测试平台2之间的相互作用力的数值近似等于推力的数值，并随着推力的增大而增大；当对底座1的推力刚好可以使多个滚珠7从环形凹槽30中脱出时(即推力刚好大于锁止力时)，底座1与测试平台2之间的相互作用力的数值近似等于弹性件8的弹性恢复力的数值，由于此时弹性件8的弹性恢复力的数值小于锁止力的数值，因此，相互作用力会突然变小；即在上述加压过程中，底座1与测试平台2之间的相互作用力的数值(即测试平台2对感压纸的压力值)最大时近似等于锁止力的数值(即使多个滚珠7从环形凹槽30中脱出的推力的数值)，由于使多个滚珠7从环形凹槽30中脱出的推力的数值大小适中，处于感压纸可感测的力度范围内，因此，上述加压过程中感压纸受到的压力最大值处于感压纸可感测的力度范围；所以，上述锁止机构可以确保使感压纸受到的压力达到并不超过其可感测的力度范围，进而保证平坦度测试的准确度。

另外，由于当多个滚珠7从导筒3的环形凹槽30中脱出后，压力弹簧5和弹性件8都处于压缩状态，因此，当完成测试而撤除推力后，在压力弹簧5和弹性件8的弹性恢复力的作用下，导筒3与多个滚珠7将产生运动、进而使多个滚珠7重新回到导筒3的环形凹槽30内，即上述平坦度测量装置可以在测试完成后自动回到初始状态。

如图1～图3所示，在上述实施例的基础上，一种具体的实施例中，上述平坦度测量装置中，套筒4可以包括：

安装于底座1的第一调节筒41，第一调节筒41的筒壁设有外螺纹，第一调节筒背离底座1的一端形成环形限位部40；

套设于导筒3外部的第二调节筒42，第二调节筒42的筒壁设有与第一调节筒41的筒壁外螺纹螺纹配合的内螺纹，压力弹簧5、弹力器内环6和多个滚珠7设置于第二调节筒42与导筒41之间，且压力弹簧5背离底座1的一端与第二调节筒42背离底座1的一端端面相抵。

由于第一调节筒41与第二调节筒42套设设置(轴心线o重合)、且他们通过筒壁上的螺纹配合连接，所以，第一调节筒41与第二调节筒42可以通过相对旋转运动实现沿其轴心线o方向上的相对移动；当第一调节筒41与第二调节筒42相对旋转以沿轴心线o方向上相互靠近时，第一调节筒41的环形限位部40可以推动弹力器内环6相对于第二调节筒42朝向第二调节筒42背离底座1的一端端面运动、进而使压力弹簧5被压缩，因此，通过调节第一调节筒41与第二调节筒42之间的相对位移可以实现对压力弹簧5的压缩量进行调节；由于多个滚珠7在从环形凹槽30中脱出时需要克服弹力器内环6的限位作用，而弹力器内环6与压力弹簧5相抵，即多个滚珠7要从环形凹槽30中脱出需要克服压力弹簧5的弹性力，因此，通过调节压力弹簧5的压缩量(即调节压力弹簧5的弹性力的大小)可以调节使多个滚珠7从环形凹槽30中脱出所需要的推力的大小，即可以实现调节锁定机构的锁定力的大小；由于锁定机构的锁定力的大小可以调节，从而可以保证锁定力的大小处在感压纸可感测的力度范围内，进而，可以保证感压纸受力合适、能够正常显色。

如图2、图3和图5所示，在上述实施例的基础上，一种具体的实施例中，套筒4的第一调节筒41可以包括内层筒壁411和外层筒壁412两层筒壁结构，其中，内层筒壁411的外表面设有与第二调节筒42的内螺纹螺纹配合的外螺纹，且内层筒壁411背离底座1的一端形成环形限位部40；第二调节筒42的部分筒壁插入第一调节筒41的内层筒壁411和外层筒壁412之间，且第二调节筒42的筒壁内表面设有内螺纹，第二调节筒42的筒壁外表面设有沿第二调节筒42的轴心线o方向标记的刻度线420。

第一调节筒41的内层筒壁411用于与第二调节筒42螺纹配合、并用于形成位于第二调节筒42与导筒41之间的环形限位部40；第一调节筒41的外层筒壁412用于与第二调节筒42筒壁外表面上的刻度线420配合、以便于观察第一调节筒41与第二调节筒42的相对位移(即对压力弹簧的压缩量)，进而，可以方便精准地对使滚珠7从环形凹槽30中脱出所需要的推力的大小(即锁定力的大小)进行调节。

如图1～图3所示，在上述各实施例的基础上，一种具体的实施例中，本实用新型的平坦度测量装置中，测试平台2背离底座1一侧可以设有用于观察测试平台2的水平度的水准仪21。在对感压纸进行加压之前，可以通过观察水准仪21来调整测试平台2的水平度，以保证测试平台2的表面与柔性集成电路预贴合装置的压合头9的表面平行设置，进而保证加压过程中感压纸各部分受到的作用力大小均匀。

如图2和图3所示，在上述各实施例的基础上，一种具体的实施例中，底座1上可以设有多个用以调节测试平台2的水平度的调平螺丝11。

一种优选的实施例中，底座1可以为方形座，底座1的每一个角部设有一个贯穿底座1的厚度方向、且与底座1螺纹配合的调平螺丝11。

如图2、图3和图6所示，在测试柔性集成电路预贴合装置的压合头9平坦度时，底座1可以通过调平螺丝11安装于或者支撑于柔性集成电路预贴合装置的支撑台10上，在调整测试平台2的水平度时，可以通过调节位于底座1各个角部的调平螺丝11对底座1的各个角部的高度进行调节，具体地，由于调平螺丝11相对于支撑台10固定，因此，通过旋转调平螺丝11以使调平螺丝11和底座1相对运动，即可以使底座1的各个角部相对于支撑台移动，即可以实现对底座1各个角部相对于支撑台10的高度进行调节，进而，实现对测试平台2的整体水平度的调节。

如图6所示，本实用新型还提供一种柔性集成电路预贴合装置，该柔性集成电路预贴合装置可以包括用于放置待加工电路板的支撑台10和用于压合电路板的压合头9，还可以包括上述任一实施例中的平坦度测量装置。上述柔性集成电路预贴合装置在对覆晶薄膜(COF)与基板进行预贴合作业之前，首先可以利用平坦度测量装置对压合头9的平坦度进行测量，测量过程具体可以包括：首先在支撑台10上安装平坦度测量装置，确保该平坦度测量装置中测试平台2的表面与压合头9的表面平行设置，然后通过手动推动支撑台10向上使测试平台2与压合头9相抵，逐渐加压至感觉到支撑台10可以相对于压合头9运动后停止加压，最后根据测试平台2上的感压纸的显色均匀性对压合头9的平坦度进行判断。

显然，本领域的技术人员可以对本实用新型实施例进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (9)

1.一种平坦度测量装置，其特征在于，包括：

相对设置的底座和测试平台；

位于所述测试平台背离所述底座一侧的感压纸；

位于所述底座与所述测试平台之间、且一端安装于所述测试平台上的导筒；

位于所述底座与所述测试平台之间、且一端安装于所述底座的套筒，所述套筒套设在所述导筒外部；

位于所述套筒内、且设置于所述导筒朝向所述底座的一端端面与底座之间的弹性件；

位于所述套筒与所述导筒之间的锁止机构，所述锁止机构用于提供在初始状态时将所述套筒与所述导筒锁定的锁止力；

当所述套筒与所述导筒沿其轴心线方向上的相互作用力大于所述锁止力时，所述套筒与所述导筒之间的锁定解除，所述套筒与所述导筒可沿其轴心线方向上相对运动。

2.根据权利要求1所述的平坦度测量装置，其特征在于，所述锁止机构包括：

所述导筒的表面设有的、环绕所述导筒设置的环形凹槽；

所述套筒设有的、位于所述导筒与所述套筒之间的环形限位部；

位于所述环形限位部朝向所述测试平台一侧的压力弹簧、弹力器内环和多个滚珠；其中，

所述压力弹簧和所述弹力器内环套设于所述导筒上；且所述压力弹簧背离底座的一端与所述套筒背离底座的一端端面相抵、所述压力弹簧朝向底座的一端与所述弹力器内环相抵；所述弹力器内环的内侧面为朝向所述底座方向倾斜的斜面，所述弹力器内环的内侧面与所述多个滚珠相抵；所述多个滚珠限位于所述弹力器内环的内侧面与所述环形限位部之间；且在所述初始状态时，所述多个滚珠位于所述导筒的环形凹槽内、以使所述套筒与所述导筒之间锁定；

当所述套筒与所述导筒沿其轴心线方向上的相互作用力大于所述锁止力时，所述多个滚珠从所述导筒的环形凹槽中脱出、所述套筒与所述导筒之间的锁定被解除，所述套筒与所述导筒可沿其轴心线方向上相对运动。

3.根据权利要求2所述的平坦度测量装置，其特征在于，所述套筒包括：

安装于所述底座的第一调节筒，所述第一调节筒的筒壁设有外螺纹，所述第一调节筒背离所述底座的一端形成所述环形限位部；

套设于所述导筒外部的第二调节筒，所述第二调节筒的筒壁设有与所述第一调节筒的筒壁外螺纹螺纹配合的内螺纹，所述压力弹簧、弹力器内环和多个滚珠设置于所述第二调节筒与所述导筒之间，且所述压力弹簧背离底座的一端与所述第二调节筒背离底座的一端端面相抵。

4.根据权利要求3所述的平坦度测量装置，其特征在于，所述第一调节筒包括内层筒壁和外层筒壁两层筒壁结构，所述内层筒壁的外表面设有外螺纹，且所述内层筒壁背离所述底座的一端形成所述环形限位部；所述第二调节筒的部分筒壁插入所述第一调节筒的内层筒壁和外层筒壁之间，且所述第二调节筒的筒壁内表面设有所述内螺纹，所述第二调节筒的筒壁外表面设有沿第二调节筒的轴心线方向标记的刻度线。

5.根据权利要求1所述的平坦度测量装置，其特征在于，所述弹性件为弹簧。

6.根据权利要求1～5任一项所述的平坦度测量装置，其特征在于，所述测试平台背离所述底座一侧设有用于观察所述测试平台的水平度的水准仪。

7.根据权利要求6所述的平坦度测量装置，其特征在于，所述底座上设有多个用以调节测试平台水平度的调平螺丝。

8.根据权利要求7所述的平坦度测量装置，其特征在于，所述底座为方形座，所述底座的每一个角部设有一个贯穿所述底座的厚度方向、且与所述底座螺纹配合的调平螺丝。

9.一种柔性集成电路预贴合装置，其特征在于，包括用于放置待加工电路板的支撑台和用于压合电路板的压合头，以及如权利要求1～8任一项所述的平坦度测量装置。