CN217819137U - 推力测试装置 - Google Patents

Abstract

本申请提供一种推力测试装置，该推力测试装置包括推力检测机构、第一驱动机构、第二驱动机构和千分表，推力检测机构用于检测待检测芯片载体上芯片的推力。第一驱动机构用于驱动待检测芯片载体在第一平面上运动与推力检测机构的接触端接触；第二驱动机构用于驱动推力检测机构在第一方向上运动。千分表设于第二驱动机构上，千分表的测量端与推力检测机构接触，千分表用于测量推力检测机构在第一方向上的运动量。本申请中第二驱动机构驱动推力检测机构在第一方向上运动，而千分表用于测量推力检测机构在第一方向上的运动量，通过查看千分表上的读数用户可以准确的调整推力检测机构的在第一方向上的运动量，从而便于用户准确调节。

Description

推力测试装置

技术领域

本申请属于芯片测试设备技术领域，尤其涉及一种推力测试装置。

背景技术

为了确保芯片的正常使用，需要对粘结在基板上的芯片进行推力测试，现有的推力测试一般采用推力测试平台进行。目前，现有的推力测试平台中推力计可以测量出基板上的芯片进行推力测试结果，也能够针对不同厚度的芯片调整推力计的高度；但是现有的推力测试平台中难以供用户准确的调整推力计的高度，导致用户使用不便。

实用新型内容

本申请实施例提供一种推力测试装置，以解决现有的推力测试平台中难以供用户准确的调整推力计的高度，导致用户使用不便的问题。

本申请实施例提供了一种推力测试装置，所述推力测试装置包括：

推力检测机构，用于检测待检测芯片载体上芯片的推力；

第一驱动机构，用于驱动所述待检测芯片载体上的芯片在第一平面上运动与所述推力检测机构的接触端接触；

第二驱动机构，用于驱动所述推力检测机构在第一方向上运动，所述第一方向与所述第一平面相互垂直；

千分表，所述千分表的测量端与所述推力检测机构接触，且所述千分表用于测量所述推力检测机构在第一方向上的运动量。

可选的，所述第一驱动机构包括第一驱动组件和第二驱动组件，所述第一驱动组件用于驱动所述待检测芯片载体上的芯片在第二方向上运动，所述第二驱动组件用于驱动所述第一驱动组件及所述待检测芯片载体上的芯片在第三方向上运动；

其中，所述第二方向与所述第一方向相互垂直，所述第三方向与所述第一方向相互垂直，所述第二方向与所述第三方向相互垂直。

可选的，所述第一驱动机构还包括第一导向组件，所述待检测芯片载体上的芯片在所述第一导向组件上沿第二方向往复运动。

可选的，所述第一驱动机构还包括第二导向组件，所述第一驱动组件在所述第二导向组件上沿第三方向往复运动。

可选的，所述第一驱动机构还包括：

承载组件，用于承载所述待检测芯片载体上的芯片，所述第一驱动组件驱动所述承载组件及所述待检测芯片载体上的芯片在第二方向上运动。

可选的，所述承载组件包括承载件和锁固件，所述锁固件锁固所述待检测芯片载体在所述承载件上。

可选的，所述推力测试装置还包括：

检测平台，所述检测平台用于支撑所述第一驱动机构及所述第二驱动机构。

可选的，所述第一驱动机构还包括微调组件，所述微调组件用于微调所述第二驱动组件与水平面平行。

可选的，所述微调组件包括四个微调件，四个所述微调件分别设于所述第二驱动组件的四角，且四个所述微调组件分别与所述第二驱动组件螺纹连接。

可选的，所述推力测试装置还包括：

显微镜组件，所述显微镜组件的镜头朝向所述待检测芯片载体上的芯片。

本申请实施例提供的推力测试装置中，第一驱动机构驱动待检测芯片载体在第一平面上运动与推力检测机构的接触端接触，则推力检测机构检测到待检测芯片载体上芯片的推力；第二驱动机构驱动推力检测机构在第一方向上运动，而千分表用于测量推力检测机构在第一方向上的运动量，通过查看千分表上的读数用户可以准确的调整推力检测机构的在第一方向上的运动量，从而便于用户准确调节。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对本领域技术人员来说，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

为了更完整地理解本申请及其有益效果，下面将结合附图来进行说明。其中，在下面的描述中相同的附图标号表示相同部分。

图1为本申请实施例提供的推力测试装置的结构示意图。

图2为图1中推力测试装置另一个视角的结构示意图。

图3为本申请实施例提供的第一驱动机构的结构示意图。

图4为本申请实施例提供的第二驱动机构的结构示意图。

图5为图4中第二驱动机构隐藏推力检测机构后的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

为了确保芯片的正常使用，需要对粘结在基板上的芯片进行推力测试，现有的推力测试一般采用推力测试平台进行。目前，现有的推力测试平台中推力计可以测量出基板上的芯片进行推力测试结果，也能够针对不同厚度的芯片调整推力计的高度；但是现有的推力测试平台中难以供用户准确的调整推力计的高度，导致用户使用不便。

为解决上述问题，本申请实施例提供了一种推力测试装置，如图1和图2所示，图1和图2为申请实施例提供的推力测试装置的结构示意图。该推力测试装置包括推力检测机构600、第一驱动机构300、第二驱动机构400和千分表500，推力检测机构600用于检测待检测芯片载体700上芯片的推力。第一驱动机构300用于驱动待检测芯片载体700上的芯片在第一平面上运动与推力检测机构600的接触端610接触；第二驱动机构400用于驱动推力检测机构600在第一方向上运动，第一方向与第一平面相互垂直。千分表500的测量端与推力检测机构600接触，且千分表500用于测量推力检测机构600在第一方向上的运动量。

本申请实施例提供的推力测试装置中，第一驱动机构300驱动待检测芯片载体700上的芯片在第一平面上运动与推力检测机构600的接触端610接触，则推力检测机构600检测到待检测芯片载体700上的芯片的推力；第二驱动机构400驱动推力检测机构600在第一方向上运动，而千分表500用于测量推力检测机构600在第一方向上的运动量，通过查看千分表500上的读数用户可以准确的调整推力检测机构600的在第一方向上的运动量，从而便于用户准确调节。

示例性的如图3所示，上述第一驱动机构300包括第一驱动组件310和第二驱动组件320，第一驱动组件310用于驱动待检测芯片载体700上的芯片在第二方向上运动，第二驱动组件320用于驱动第一驱动组件310及待检测芯片载体700上的芯片在第三方向上运动。其中，第二方向与第一方向相互垂直，第三方向与第一方向相互垂直，第二方向与第三方向相互垂直。示例性的，该第一方向如图1中箭头Z所示，第二方向如图1中箭头Y所示，第三方向如图1中箭头X所示。示例性的待检测芯片载体700包括基板及焊接在基板上的芯片。

示例性的如图3所示，上述第一驱动机构300还包括第一导向组件330，待检测芯片载体700上的芯片在第一导向组件330上沿第二方向往复运动。其中，第一导向机构为第一导轨，第一导轨的导向方向与第二方向平行；待检测芯片载体700与第一导轨滑动连接，从而使得待检测芯片载体700上的芯片在第一导轨上沿第二方向往复运动。上述第一驱动组件310包括第一手轮311、第一连轴器和第一丝杆，该第一丝杆的轴向与第二方向平行，第一丝杆与待检测芯片载体700螺纹连接；而第一手轮311、第一连轴器和第一丝杆依次同轴连接。则用户可以通过转动第一手轮311带动第一连轴器和第一丝杆转动，再通过第一丝杆与待检测芯片载体700螺纹传动，从而带动待检测芯片载体700上的芯片在第二方向上运动。

示例性的如图3所示，上述第一驱动机构300还包括第二导向组件340，第一驱动组件310在第二导向组件340上沿第三方向往复运动。其中，第二导向机构为第二导轨，第二导轨的导向方向与第三方向平行。上述第一导轨、第一导向组件330均与第二导轨滑动连接，从而使得第一导轨、第一导向组件330在第二导轨上沿第三方向往复运动；应当理解的是上述第二导轨上滑动连接有第二滑块，第一导轨、第一导向组件330均与该第二滑块固定连接，从而实现第一导轨、第一导向组件330与第二导轨滑动连接。上述第二驱动组件320包括第二手轮321、第二连轴器和第二丝杆，该第二丝杆的轴向与第三方向平行，第二丝杆与第一导轨、第一导向组件330均螺纹连接；而第二手轮321、第二连轴器和第二丝杆依次同轴连接。则用户可以通过转动第二手轮321带动第二连轴器和第二丝杆转动，再通过第二丝杆与第一导轨、第一导向组件330螺纹传动，从而带动第一导轨、第一导向组件330在第三方向上运动。

示例性的如图3所示，第一驱动机构300还包括承载组件350，用于承载待检测芯片载体700，第一驱动组件310驱动承载组件350及待检测芯片载体700上的芯片在第二方向上运动。

示例性的如图3所示，上述承载组件350包括承载件351和锁固件352，锁固件352锁固待检测芯片载体700在承载件351上。该锁固件352呈C字型包围在承载件351的边缘上，当待检测芯片载体700放置在承载件351上时，锁固件352位于承载件351上方的表面压住待检测芯片载体700，而锁固件352位于承载件351下方的表面上设有螺纹孔，设有一个螺钉从锁固件352下方穿过锁固件352上的螺纹孔。则通过拧动螺钉使螺钉穿过螺纹孔向承载件351运动，当螺钉与承载件351的下表面接触时，螺钉抵住承载件351的下表面从而使锁固件352向下运动；锁固件352向下运动从而将待检测芯片载体700锁固在承载件351上。

示例性的如图1和图2所示，该推力测试装置还包括检测平台100，检测平台100用于支撑第一驱动机构300，而第二驱动机构400固定连接在第一驱动机构300上。示例性的该检测平台100为大理石平台，采用大理石平台可以向第一驱动机构300及第二驱动机构400提供良好的平整度及稳定度，使第一驱动机构300及第二驱动机构400使用时更加稳定。

示例性的如图3所示，该第一驱动机构300还包括微调组件360，微调组件360用于微调第二驱动组件320与水平面平行。

示例性的如图3所示，上述微调组件360包括四个微调件361，四个微调件361分别设于第二驱动组件320的四角。每个微调件361的下部为圆柱形支撑座，每个微调件361的上部为螺杆，且微调件361上螺杆的轴向与第一方向平行，四个微调组件360分别与第二驱动组件320螺纹连接。则通过同步转动每一个微调件361，可以带动第二驱动组件320在第一方向上运动(即在竖直方向上升降)。另外，当第二驱动组件320被放置在不平整的工作面上时，用户可以分别调整每个一个微调件361转动，从而调整第二驱动组件320更加趋近于水平。应该理解的是实际操作中第二驱动组件320无法微调至与水平面平行，故上述微调第二驱动组件320与水平面平行应理解为调整第二驱动组件320更加趋近于水平。

示例性的如图1和图2所示，推力测试装置还包括显微镜组件200，显微镜组件200的镜头朝向待检测芯片载体700上的芯片。如此设置后，用户可以使用显微镜模组从芯片的外观观察芯片的焊接效果，从而使得用户可以在同一台设备上同时检测外观及芯片推力。上述检测平台100还可以支撑显微镜组件200。当芯片比较小时，显微镜还可以辅助微调高度及推力测试。

示例性的如图4所示，上述第一驱动机构300还包括支撑杆370，该支撑杆370的轴向与第一方向相平行。该支撑杆370的下端固定连接在第二驱动组件320上，且在支撑杆370上还设有第一限位环371和第二限位环372。上述第二驱动机构400包括滑动套410和锁紧螺钉420，该滑动套410套设在支撑杆370上，且滑动套410位于第一限位环371与第二限位环372之间，则第一限位环371、第二限位环372可以限制滑动套410在支撑杆370上的滑动范围。该滑动套410与推力检测机构600连接，则推力检测机构600可以随着滑动套410在支撑杆370上沿第一方向运动，从而驱动推力检测机构600在第一方向上运动。该锁紧螺钉420穿过滑动套410的外壁至滑动套410内部，且当用户拧动锁紧螺钉420至锁紧螺钉420与支撑杆370抵触时，从而固定滑动套410在第一方向的位置。

此外如图5所示，上述第二驱动机构400还包括微调组件，该微调组件在第一方向上微调推力检测机构的位置。该微调装组件包括第三导轨430、第一滑块440和微调手轮450，该第三导轨430固定连接在滑动套410上，且第三导轨430的导向方向与第一方向平行；第一滑块440滑动连接在第三导轨430上，且第一滑块440与推力检测机构600固定连接。另外在第三导轨430上还设有第一齿条，第一齿条与第一方向平行设置，上述微调手轮450的一端穿过第一滑块440，且微调手轮450穿过第一滑块440的一端上设有第一齿轮，该第一齿轮与第一齿条啮合。则用户可以通过转动微调手轮450，通过第一齿轮与第一齿条啮合带动第一滑块440及推力检测机构600在第一方向上运动。

综上，本申请提供一种推力测试装置中，第一驱动机构300驱动待检测芯片载体700上的芯片在第一平面上运动与推力检测机构600的接触端610接触，则推力检测机构600检测到待检测芯片载体700的上的芯片推力；第二驱动机构400驱动推力检测机构600在第一方向上运动，而千分表500用于测量推力检测机构600在第一方向上的运动量，通过查看千分表500上的读数用户可以准确的调整推力检测机构600的在第一方向上的运动量，从而便于用户准确调节。

在上述实施例中，对各个实施例的描述都各有侧重，某个实施例中没有详述的部分，可以参见其他实施例的相关描述。

在本申请的描述中，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个特征。

以上对本申请实施例所提供的推力测试装置进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本申请的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本申请的方法及其核心思想；同时，对于本领域的技术人员，依据本申请的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上，本说明书内容不应理解为对本申请的限制。

Claims (10)

1.一种推力测试装置，其特征在于，所述推力测试装置包括：

推力检测机构，用于检测待检测芯片载体上芯片的推力；

第一驱动机构，用于驱动所述待检测芯片载体上的芯片在第一平面上运动与所述推力检测机构的接触端接触；

第二驱动机构，用于驱动所述推力检测机构在第一方向上运动，所述第一方向与所述第一平面相互垂直；

千分表，所述千分表的测量端与所述推力检测机构接触，且所述千分表用于测量所述推力检测机构在第一方向上的运动量。

2.根据权利要求1所述的推力测试装置，其特征在于，所述第一驱动机构包括第一驱动组件和第二驱动组件，所述第一驱动组件用于驱动所述待检测芯片载体上的芯片在第二方向上运动，所述第二驱动组件用于驱动所述第一驱动组件及所述待检测芯片载体上的芯片在第三方向上运动；

其中，所述第二方向与所述第一方向相互垂直，所述第三方向与所述第一方向相互垂直，所述第二方向与所述第三方向相互垂直。

3.根据权利要求2所述的推力测试装置，其特征在于，所述第一驱动机构还包括第一导向组件，所述待检测芯片载体上的芯片在所述第一导向组件上沿第二方向往复运动。

4.根据权利要求3所述的推力测试装置，其特征在于，所述第一驱动机构还包括第二导向组件，所述第一驱动组件在所述第二导向组件上沿第三方向往复运动。

5.根据权利要求2至4任一项所述的推力测试装置，其特征在于，所述第一驱动机构还包括：

承载组件，用于承载所述待检测芯片载体上的芯片，所述第一驱动组件驱动所述承载组件及所述待检测芯片载体上的芯片在第二方向上运动。

6.根据权利要求5所述的推力测试装置，其特征在于，所述承载组件包括承载件和锁固件，所述锁固件锁固所述待检测芯片载体在所述承载件上。

7.根据权利要求6所述的推力测试装置，其特征在于，所述推力测试装置还包括：

检测平台，所述检测平台用于支撑所述第一驱动机构及所述第二驱动机构。

8.根据权利要求7所述的推力测试装置，其特征在于，所述第一驱动机构还包括微调组件，所述微调组件用于微调所述第二驱动组件与水平面平行。

9.根据权利要求8所述的推力测试装置，其特征在于，所述微调组件包括四个微调件，四个所述微调件分别设于所述第二驱动组件的四角，且四个所述微调组件分别与所述第二驱动组件螺纹连接。

10.根据权利要求9所述的推力测试装置，其特征在于，所述推力测试装置还包括：

显微镜组件，所述显微镜组件的镜头朝向所述待检测芯片载体上的芯片。

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