CN205372581U - 一种不需点火装置且自动清理的硅烷类尾气处理设备 - Google Patents
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Abstract
本实用新型一种不需点火装置且自动清理的硅烷类尾气处理设备，包括燃烧罐，硅烷尾气用氮气控制浓度，使用风机（1）产生的压缩空气与硅烷尾气在燃烧罐（6）内混合，使硅烷在燃烧罐（6）内充分燃烧，所述的风机（1）至燃烧罐（6）的管路之间设有自动关断阀（2）和止回阀（3）；在硅烷尾气进口（62）管道内安装一由气缸（10）控制的带螺旋弹簧（9）的自动清理装置（5）。本实用新型可以满足半导体、太阳能和LED/LCD等行业的硅烷类尾气的安全无害化处理。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种不需点火装置且自动清理的硅烷类尾气处理设备，属硅烷类尾气处理设备，该设备可以满足半导体、太阳能和LED/LCD等行业的硅烷类尾气的安全无害化处理。
背景技术
硅烷在常温常压下为具有恶臭的无色气体。在室温下着火，在空气或卤素气体中发生爆炸性燃烧。即使采用其它气体稀释，如果浓度不够低仍能自燃。如：硅烷在氩气中含2%、氮气中含2.5%、氢气中含1%时，它仍能着火。硅烷浓度在小于1%时不燃，大于3%时自燃，1%～3%时可能燃烧。硅烷的主要危险来自它接触空气可以自发燃烧的能力和它的毒性。接触硅烷会导致眼睛的刺激。吸入会导致头痛、恶心、黏膜和呼吸道的刺激。硅烷燃烧生成可以导致呼吸道刺激的氧化硅。
发明内容
本实用新型所要解决的技术问题是：提供一种不需点火装置且自动清理的硅烷类尾气处理设备。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种不需点火装置且自动清理的硅烷类尾气处理设备，包括燃烧罐，硅烷尾气用氮气控制浓度，使用风机产生的压缩空气与硅烷尾气在燃烧罐内混合，使硅烷在燃烧罐内充分燃烧，所述的风机至燃烧罐的管路之间设有自动关断阀和止回阀；在硅烷尾气进口管道内安装一由气缸控制的带螺旋弹簧的自动清理装置。
本实用新型原理是：压缩空气与硅烷类尾气自然混合，并燃烧反应后，废气由管道排出，达到焚烧处理尾气的作用，且无需额外的点火装置，另外，硅烷类尾气燃烧会产生氧化硅粉末，容易在罐体内壁附着，从而堵塞进气管道，因此在硅烷尾气入口管道内安装了利用带螺旋弹簧作为刮件的自动清理装置，带螺旋弹簧在气缸带动下往复运动，刮除附在管壁的氧化硅粉末，达到自动清理的作用。
上述方案基础上，所述的燃烧罐采用不锈钢罐体，在不锈钢罐体的燃烧部分设有一可拆式锥形内衬保护管，上部压缩空气入口和硅烷尾气进口采用环形切线进气通道，可燃气体经硅烷类尾气进口沿管壁切线方向进入燃烧罐，逆时针方向120°压缩空气入口同样沿管壁切线方向进入燃烧罐，在燃烧罐体内部混合并燃烧。
在上述方案基础上，在不锈钢罐体内，所述的可拆式锥形内衬保护管由定位环定位。
在氮气接入口设有压力传感器，以准确控制硅烷类尾气进气的浓度。
本实用新型优越性在于：本实用新型可以满足半导体、太阳能和LED/LCD等行业的硅烷类尾气的安全无害化处理。利用空气经过风机增压后，进入燃烧罐，与硅烷类尾气自然混合，并燃烧反应无需额外的点火装置，另外，自动清理装置可有效清除附着在罐体内壁的氧化硅粉末。
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
附图说明
附图1本实用新型装置示意图；
附图2燃烧罐示意图；
附图3由气缸控制的带螺旋弹簧的清理机构示意图；
附图4可拆式锥形内衬保护管；
附图5燃烧罐俯视示意图；
图中标号说明：
1——风机；
2——自动关断阀；21——
3——止回阀；4——压力传感器；
5——自动清理装置；
6——燃烧罐；
61——燃烧罐体；62——硅烷类尾气进口；63——压缩空气入口；
64——排气口；65——排料口；
7——定位环；8——可拆式锥形内衬保护管；
9——螺旋弹簧；10——气缸。
具体实施方式
如图1本实用新型装置示意图所示，一种不需点火装置且自动清理的硅烷类尾气处理设备，包括燃烧罐6，硅烷尾气用氮气控制浓度，使用风机1产生的压缩空气与硅烷尾气在燃烧罐6内混合，使硅烷在燃烧罐6内充分燃烧，所述的风机1至燃烧罐6的管路之间设有自动关断阀2和止回阀3；在硅烷尾气进口62管道内安装由气缸10控制的带螺旋弹簧9的自动清理装置5。
管路和燃烧罐体61可采用不锈钢材质制作。
本实用新型风机1产生的空气经过安装有自动关断阀和止回阀的不锈钢管路，进入燃烧罐，与硅烷类尾气自然混合，并燃烧反应，无需额外的点火装置。
由于硅烷燃烧会产生氧化硅粉末，容易在罐体内壁附着，从而堵塞进气管道，在硅烷尾气入口管道内安装了自动清理装置5。如图3由气缸控制的带螺旋弹簧的清理机构示意图所示，这是一个由气缸10控制的带螺旋弹簧9的清理机构，在设备电路控制下，活塞进行运动，带动螺旋弹簧9往复运动，通过螺旋弹簧9刮下管壁尚未附着牢固的氧化硅粉末，防止堵塞进气管道。
如图2燃烧罐示意图所示，本实施例燃烧罐6采用不锈钢罐体61，不锈钢罐体61的燃烧部分设有可拆式锥形内衬保护管8，上部压缩空气入口63和硅烷尾气进口62采用环形切线进气通道，如图5燃烧罐俯视示意图所示，可燃气体经硅烷类尾气进口62沿管壁切线方向进入燃烧罐6，逆时针方向120°压缩空气入口63同样沿管壁切线方向进入燃烧罐6，在燃烧罐体61内部混合并燃烧。这样的设计可以避免可燃气体或空气相互倒灌。
在不锈钢罐体61内，所述的可拆式锥形内衬保护管8由定位环7定位，清理和更换时可以从燃烧罐体61内向上取出，起到保护燃烧罐体61的作用。
在经硅烷类尾气进气口62端，氮气接入口设有压力传感器4，以控制硅烷类尾气进气的浓度。
本实施例中采用的自动关断阀2带有压力开关21。
Claims (5)
1.一种不需点火装置且自动清理的硅烷类尾气处理设备，包括燃烧罐，硅烷尾气用氮气控制浓度，其特征在于：使用风机（1）产生的压缩空气与硅烷尾气在燃烧罐（6）内混合，使硅烷在燃烧罐（6）内充分燃烧，所述的风机（1）至燃烧罐（6）的管路之间设有自动关断阀（2）和止回阀（3）；在硅烷类尾气进口（62）管道内安装一由气缸（10）控制的带螺旋弹簧（9）的自动清理装置（5）。
2.根据权利要求1所述的一种不需点火装置且自动清理的硅烷类尾气处理设备，其特征在于：所述的燃烧罐（6）采用不锈钢罐体（61），不锈钢罐体（61）的燃烧部分设有可拆式锥形内衬保护管（8），上部压缩空气入口（63）和硅烷类尾气进口（62）采用环形切线进气通道，可燃气体经硅烷类尾气进口（62）沿管壁切线方向进入燃烧罐（6），逆时针方向120°压缩空气入口（63）同样沿管壁切线方向进入燃烧罐（6），在燃烧罐体（61）内部混合并燃烧。
3.根据权利要求1或2所述的一种不需点火装置且自动清理的硅烷类尾气处理设备，其特征在于：所述的燃烧罐（6）内的可拆式锥形内衬保护管（8）由定位环（7）定位。
4.根据权利要求1或2所述的一种不需点火装置且自动清理的硅烷类尾气处理设备，其特征在于：在硅烷类尾气进口（62）端，氮气接入口设有压力传感器（4），以控制硅烷类尾气进气的浓度。
5.根据权利要求1所述的一种不需点火装置且自动清理的硅烷类尾气处理设备，其特征在于：所述的自动关断阀（2）带有压力开关（21）。
Priority Applications (1)
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| CN201620073213.1U CN205372581U (zh) | 2016-01-26 | 2016-01-26 | 一种不需点火装置且自动清理的硅烷类尾气处理设备 |
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Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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| CN205372581U true CN205372581U (zh) | 2016-07-06 |
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| CN (1) | CN205372581U (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109603376A (zh) * | 2019-01-31 | 2019-04-12 | 青岛伊克斯达智能装备有限公司 | 一种废旧橡塑热裂解的高温油气与炭黑分离系统 |
| CN112588740A (zh) * | 2020-11-26 | 2021-04-02 | 瑞燃(上海)环境工程技术有限公司 | 一种用于废气净化导管中的结块清除装置及其使用方法 |
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2016
- 2016-01-26 CN CN201620073213.1U patent/CN205372581U/zh active Active
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