CN205258584U - 真空镀膜机充气装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一真空镀膜机充气装置,其包括一端连通大气另一端连接所述真空镀膜机的真空腔的充气管,所述充气管上设置一控制阀,其特征在于:还包括一中空的外罩,所述充气管设置在所述外罩内腔中,所述外罩的一端气密封地固定在所述真空镀膜机的外壳上,所述外罩的另一端开口,所述外罩开口处设置有将所述外罩开口封闭的第一过滤网。本实用新型的真空镀膜机相比现有技术,具有以下优点:减缓放气系统的空气流动;避免在真空室内出现空气回旋,造成产品永久性的不良;提高良品率。
Description
技术领域
本实用新型涉及一真空镀膜机充气装置,属于机械领域。
背景技术
真空镀膜机工作时:先抽真空,使真空室处于真空状态,再通过电子枪束流对真空室底部坩埚内的镀膜材料(简称膜料)加热;膜料在加热到一定的温度后,膜料分子会产生挥发,挥发出的膜料分子沉积在真空室顶部的产品表面形成薄膜。当镀膜机镀膜完成后,为将其中的产品取出,会首先向真空室内充气。现有的放气结构,缺乏过滤,容易把外界空气中的灰尘带入到真空室;另外,由于放气太快真空室内会形成一股回旋气流,也容易真空室内的粉尘刮起来,进而被刚镀完膜的产品吸附,形成永久性的不良。(在产品冷却的情况下,灰尘落在产品上是有可能用气枪等装置清除的;但刚镀完膜,热的镜片上吸附的灰尘则会凝固在产品上,无法清除,从而形成永久性不良。)
发明内容
为了克服上述问题,本实用新型提供一种成本低、良品率高的真空镀膜机充气装置。
本实用新型的技术方案是提供一真空镀膜机充气装置,其包括一端连通大气另一端连接所述真空镀膜机的真空腔的充气管,所述充气管上设置一控制阀,其特征在于:还包括一中空的外罩,所述充气管设置在所述外罩内腔中,所述外罩的一端气密封地固定在所述真空镀膜机的外壳上,所述外罩的另一端开口,所述外罩开口处设置有将所述外罩开口封闭的第一过滤网。
优选的,所述充气管设置在所述外罩内的一端套设有第二过滤网。
优选的,所述第一过滤网为无尘布。
优选的,所述第二过滤网为无尘布。
优选的,所述外罩为中空的长方体结构。
优选的,所述外罩连接所述真空镀膜机外壳的一端设置有向外折翻的连接耳,所述连接耳上设置有与所述真空镀膜机连接的螺栓孔。
本实用新型的真空镀膜机相比现有技术,具有以下优点:减缓放气系统的空气流动;避免在真空室内出现空气回旋,造成产品永久性的不良;提高良品率。
附图说明
图1是本实用新型最佳实施例的一真空镀膜机充气装置的结构示意图。
具体实施方式
下面对本实用新型的具体实施方式作进一步详细的描述。
如图1所示,本实用新型的一真空镀膜机充气装置包括充气管10。充气管10一端连通大气,另一端连接真空镀膜机(未图示)的真空腔,从而向真空镀膜机内充气。充气管10上设置一控制阀14。
为了降低充气管10向真空镀膜机内充气的气流流速,本实用新型增加一中空的外罩12,外罩12将充气管10整体罩住。外罩12为长方体或圆柱形,外罩12的一端气密封地固定在真空镀膜机的外壳上,外罩12的另一端开口,外罩12开口处设置有将外罩12开口封闭的第一过滤网(未图示)。
充气管10设置在外罩12内的一端套设有第二过滤网16。
第一过滤网和第二过滤网16均为无尘布,过滤效果好且便宜。
这样,当充气管10向真空镀膜机内充气时,首先大气中的空气经过第一过滤网过滤后,进入外罩12内,然后经过第二过滤网由充气管10进入到真空镀膜机内。这样既过滤了空气,避免空气中的灰尘进入到真空镀膜机内,又减缓了进入真空镀膜机内的空气流速,避免形成回旋气流,造成真空镀膜机内的灰尘飞舞,被产品吸附,造成不良品。
进一步地,外罩12连接真空镀膜机外壳的一端设置有向外折翻的连接耳18,连接耳上设置有与真空镀膜机连接的螺栓孔20。
以上实施例仅为本实用新型其中的一种实施方式,其描述较为具体和详细,但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是,对于本领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型构思的前提下,还可以做出若干变形和改进,这些都属于本实用新型的保护范围。因此,本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。
Claims (6)
1.一种真空镀膜机充气装置,其包括一端连通大气另一端连接所述真空镀膜机的真空腔的充气管,所述充气管上设置一控制阀,其特征在于:还包括一中空的外罩,所述充气管设置在所述外罩内腔中,所述外罩的一端气密封地固定在所述真空镀膜机的外壳上,所述外罩的另一端开口,所述外罩开口处设置有将所述外罩开口封闭的第一过滤网。
2.根据权利要求1所述的真空镀膜机充气装置,其特征在于:所述充气管设置在所述外罩内的一端套设有第二过滤网。
3.根据权利要求2所述的真空镀膜机充气装置,其特征在于:所述第一过滤网为无尘布。
4.根据权利要求2所述的真空镀膜机充气装置,其特征在于:所述第二过滤网为无尘布。
5.根据权利要求1所述的真空镀膜机充气装置,其特征在于:所述外罩为中空的长方体结构。
6.根据权利要求5所述的真空镀膜机充气装置,其特征在于:所述外罩连接所述真空镀膜机外壳的一端设置有向外折翻的连接耳,所述连接耳上设置有与所述真空镀膜机连接的螺栓孔。
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CN201521109101.9U CN205258584U (zh) | 2015-12-29 | 2015-12-29 | 真空镀膜机充气装置 |
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CN205258584U true CN205258584U (zh) | 2016-05-25 |
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CN201521109101.9U Active CN205258584U (zh) | 2015-12-29 | 2015-12-29 | 真空镀膜机充气装置 |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106399961A (zh) * | 2016-11-08 | 2017-02-15 | 重庆物华天宝镀膜科技有限公司 | 真空磁控溅射镀膜线真空保压箱过渡室快速换气装置 |
CN108611605A (zh) * | 2018-05-22 | 2018-10-02 | 桑尼光电技术(安徽)有限公司 | 一种光学镀膜机快速无尘进气装置 |
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2015
- 2015-12-29 CN CN201521109101.9U patent/CN205258584U/zh active Active
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GR01 | Patent grant |