CN208829753U - 一种真空镀膜机用新型充气装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种真空镀膜机用新型充气装置，包括：真空镀膜机的真空室两侧侧壁设置有呈对称分布的充气口，与真空室连通的充气口分别与U形的充气管两端口连通；所述充气管中端通过接管与缓冲室连接，所述缓冲室顶端通过管道连接外界大气；所述接管上设置有控制阀；所述缓冲室包括中空结构的箱体与位于箱体内部的滤筒；所述滤筒顶部开设有一与所述管道连通的进气口，所述进气口位于箱体顶部固定口处实现滤筒与箱体的可拆卸连接；箱体底部开有一与接管连通的出气口；所述滤筒外侧安装有引流罩，引流罩呈弧形结构，所述引流罩底部开口与所述出气口连通。本实用新型提供一种真空镀膜机用新型充气装置，过滤空气，避免镀膜后的工件被污染。
Description
技术领域
本实用新型涉及真空镀膜技术领域，尤其涉及一种真空镀膜机用新型充气装置。
背景技术
真空镀膜是指在真空环境下，将某种金属或金属化合物以气相的形式沉积到材料表面，形成导电膜的技术。真空镀膜机工作时：先抽真空，使真空室处于真空状态，再通过电子枪束流对真空 室底部坩埚内的镀膜材料（简称膜料）加热；膜料在加热到一定的温度后，膜料分子会产生挥发，挥发出的膜料分子沉积在真空室顶部的产品表面形成薄膜。当镀膜机镀膜完成后,为 将其中的产品取出，会首先向真空室内充气。
在现有技术中，充气装置缺乏过滤，容易把外界空气中的灰尘带入到真空室；刚镀完膜，热的镜片上吸附的灰尘则会凝固在产品上，无法清除，从而形成永久性不良。
实用新型内容
本实用新型的一个目的是解决至少上述问题和/或缺陷，并提供至少后面将说明的优点。
为了解决现有技术的不足，本实用新型提供一种真空镀膜机用新型充气装置，包括：
真空镀膜机的真空室两侧侧壁设置有呈对称分布的充气口，与真空室连通的充气口分别与U形的充气管两端口连通；所述充气管中端通过接管与缓冲室连接，所述缓冲室顶端通过管道连接外界大气；所述接管上设置有控制阀；
所述缓冲室包括中空结构的箱体与位于箱体内部的滤筒；所述滤筒顶部开设有一与所述管道连通的进气口，所述进气口位于箱体顶部固定口处实现滤筒与箱体的可拆卸连接；箱体底部开有一与接管连通的出气口；所述滤筒外侧安装有引流罩，引流罩呈弧形结构，所述引流罩底部开口与所述出气口连通；所述滤筒包括表面开有通孔的筒体、第一滤层与第二滤层；所述第二滤层套设于填设有过滤填料的第一过滤层外部。
优选的是，所述缓冲室底部通过托架固定于真空镀膜机顶部。
优选的是，所述管道口设置有过滤网。
优选的是，所述过滤网采用S形设置。
优选的是，所述滤筒与箱体的可拆卸连接方式为螺纹连接：所述箱体顶部固定口内壁设有外螺纹，滤筒的进气口外壁设有与外螺纹匹配的内螺纹。
优选的是，过滤填料包括但不限于合成纤维滤料。
优选的是，所述第二滤层采用无尘布。
本实用新型至少包括以下有益效果：真空镀膜机用新型充气装置采用充气管向真空室内充气，气体经充气口进入真空室的路径相同，有利于往真空室均匀地充气，避免气流在真空室内分布不均；外界气体通过缓冲室的滤筒处理过滤，实现多层处理过滤，有效防止灰尘进入真空室内，保证工件的质量。
附图说明
图1是本实用新型的真空镀膜机用新型充气装置结构示意图。
图2是本实用新型的缓冲室结构示意图。
附图标记：1-真空镀膜机，11-托架，2-真空室，21-充气口，3-充气管，31-接管，4-缓冲室，41-箱体，411-固定口，412-出气口，42-滤筒，421-筒体，422-第一滤层，423-第二滤层，5-管道，51-过滤网，6-控制阀，7-进气口，8-引流罩。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型做进一步的详细说明，以令本领域技术人员参照说明书文字能够据以实施。
应当理解，本文所使用的诸如“具有”、“包含”以及“包括”术语并不配出一个或多个其它元件或其组合的存在或添加。
图1~2示出了本实用新型的一种真空镀膜机用新型充气装置，包括：
真空镀膜机1的真空室2两侧侧壁设置有呈对称分布的充气口21，与真空室2连通的充气口21分别与U形的充气管3两端口连通；所述充气管3中端通过接管31与缓冲室4连接，所述缓冲室4顶端通过管道5连接外界大气；所述接管31上设置有控制阀6；
所述缓冲室4包括中空结构的箱体41与位于箱体41内部的滤筒42；所述滤筒42顶部开设有一与所述管道5连通的进气口7，所述进气口7位于箱体41顶部固定口411处实现滤筒42与箱体41的可拆卸连接；箱体41底部开有一与接管31连通的出气口412；所述滤筒42外侧安装有引流罩8，引流罩8呈弧形结构，所述引流罩8底部开口与所述出气口412连通；所述滤筒42包括表面开有通孔的筒体421、第一滤层422与第二滤层423；所述第二滤层423套设于填设有过滤填料的第一过滤层422外部。
在这种技术方案中，真空镀膜机1镀膜工作完成后，外界空气经缓冲室4过滤处理后再通过充气管3向真空室2内充气，气体经真空室2两侧的充气口21进入真空室2的路径相同，有利于往真空室2均匀地充气，避免气流在真空室2内分布不均，接管31上的控制阀6便于调节气体流量；外界气体依次通过滤筒42的第一滤层422与第二滤层423处理过滤，实现多层处理过滤，有效防止灰尘进入真空室内，保证工件的质量；经过滤筒42处理过滤后的气体通过引流罩8的引流作用经出气口412进入接管31内；滤筒42采用可拆卸连接，便于操作人员对滤筒42进行清理更换，保证滤筒42的过滤效果。
在另一种实例中，所述缓冲室4底部通过托架11固定于真空镀膜机1顶部。采用这种方案，使得缓冲室4固定于真空镀膜机顶部，便于操作人员检修。
在另一种实例中，所述管道5口设置有过滤网51。采用这种方案，过滤网51拦截外界气体中混有的杂质。
在另一种实例中，所述过滤网51采用S形设置。采用这种方案，S形设置的过滤网51使得过滤网51实现多层过滤，进一步提高过滤网51的拦截效率。
在另一种实例中，所述滤筒42与箱体41的可拆卸连接方式为螺纹连接：所述箱体41顶部固定口411内壁设有外螺纹，滤筒42的进气口7外壁设有与外螺纹匹配的内螺纹。在这种技术方案中，使得滤筒42与箱体41的固定牢靠且便于拆卸。
在另一种实例中，过滤填料包括但不限于合成纤维滤料。采用这种方案，合成纤维滤料的重量轻、容量大且价格适中。
在另一种实例中，所述第二滤层423采用无尘布。采用这种方案，无尘布过滤效果好且价格便宜。
Claims (7)
1.一种真空镀膜机用新型充气装置，其特征在于，包括：
真空镀膜机（1）的真空室（2）两侧侧壁设置有呈对称分布的充气口（21），与真空室（2）连通的充气口（21）分别与U形的充气管（3）两端口连通；所述充气管（3）中端通过接管（31）与缓冲室（4）连接，所述缓冲室（4）顶端通过管道（5）连接外界大气；所述接管（31）上设置有控制阀（6）；
所述缓冲室（4）包括中空结构的箱体（41）与位于箱体（41）内部的滤筒（42）；所述滤筒（42）顶部开设有一与所述管道（5）连通的进气口（7），所述进气口（7）位于箱体（41）顶部固定口（411）处实现滤筒（42）与箱体（41）的可拆卸连接；箱体（41）底部开有一与接管（31）连通的出气口（412）；所述滤筒（42）外侧安装有引流罩（8），引流罩（8）呈弧形结构，所述引流罩（8）底部开口与所述出气口（412）连通；所述滤筒（42）包括表面开有通孔的筒体（421）、第一滤层（422）与第二滤层（423）；所述第二滤层（423）套设于填设有过滤填料的第一过滤层（422）外部。
2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用新型充气装置，其特征在于，所述缓冲室（4）底部通过托架（11）固定于真空镀膜机（1）顶部。
3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用新型充气装置，其特征在于，所述管道（5）口设置有过滤网（51）。
4.根据权利要求3所述的一种真空镀膜机用新型充气装置，其特征在于，所述过滤网（51）采用S形设置。
5.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用新型充气装置，其特征在于，所述滤筒（42）与箱体（41）的可拆卸连接方式为螺纹连接：所述箱体（41）顶部固定口（411）内壁设有外螺纹，滤筒（42）的进气口（7）外壁设有与外螺纹匹配的内螺纹。
6.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用新型充气装置，其特征在于，过滤填料包括但不限于合成纤维滤料。
7.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用新型充气装置，其特征在于，所述第二滤层（423）采用无尘布。
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