CN205248248U - 带有顶针的升降装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及平板显示器件制备机台中一种带有顶针的升降装置，该升降装置包括设置在条状升降臂的顶部的数个条状卡槽，安装在每个卡槽内的一个顶针，顶针在卡槽内可沿着升降臂的长度方向执行往返移动。上述的升降臂在承载TFT阵列基板时，可以通过移动顶针的位置，使顶针均顶在TFT阵列基板上的空置区，即顶在位于相邻两个显示单元之间的区域，以有效的避免在最终的平板显示器件上产生诸如顶针痕迹等不良显示缺陷。

Description

带有顶针的升降装置

技术领域

本实用新型涉及平板显示器件的制备机台，更确切地说，是涉及一种带有顶针的升降装置，主要用于减压干燥设备中。

背景技术

在平板显示器的TFT(thinfilmtransistor，薄膜晶体二极管)阵列基板的制作过程中，例如在黄光等的光阻涂布工艺步骤中，光阻涂布完成后，需将TFT阵列基板传送至减压干燥腔体(VCDchamber)进行减压干燥制程，从而将光阻自身内部吸附的大部份的溶剂去除，以便在后道工艺的预烘烤(Pre-bake)阶段使其烘烤时间有效缩短，增加设备的产能。其中减压干燥工艺的原理主要是，在一个相对密闭的腔体内执行持续抽真空动作，并利用腔体的真空环境，使光阻中的溶剂大量产生挥发效应，以去除光阻之中的大部份非预期的溶剂，一旦当抽真空程序完成后，还必须再通入氮气来破坏真空，破真空程序完成后减压干燥腔体打开，从而完成整个减压干燥流程。

当在进行破真空程序时，当在减压干燥腔内进行真空与大气处理过程中，由于气体分子会发生剧烈运动，导致该腔室内的玻璃基板温度发生急剧变化，此阶段由于减压干燥设备中用于支撑TFT阵列基板的升降臂上的顶针与TFT阵列基板会存在着一定的温度差，进而导致在TFT阵列基板上留下明显的被业界称之为顶针痕迹(Pin-Mura)，此顶针痕迹大部分是发生在平板显示器件的显示区域内，从而造成产品不期望的显示不良。即便仅仅从外观上观察，该痕迹都很难被许可接受。

实用新型内容

为解决现有技术中存在的技术问题，本实用新型提供了一种带有顶针的升降装置，其特征在于，包括：

沿水平方向延伸的条状升降臂；

设置在所述条状升降臂的顶部的数个条状卡槽；

安装在每个所述卡槽内的顶针，且所述顶针在所述卡槽内可沿着所述升降臂的长度方向执行往返移动；

连接于所述升降臂的底部的升降机构，且所述升降机构引导所述升降臂上下移动。

作为一个优选的实施例，上述的带有顶针的升降装置中，所述升降机构为沿垂直方向延伸的传导杆，所述传导杆引导所述升降臂上下移动。

作为一个优选的实施例，上述的带有顶针的升降装置中，所述传导杆穿插在一个支撑基座的柱塞孔中并引导所述升降臂上下移动。

作为一个优选的实施例，上述的带有顶针的升降装置中，所述支撑基座的顶面设置有一个条状槽体以适配性的容纳所述升降臂，以及

在所述槽体的底部下方设置有位于所述支撑基座中的且在垂直方向上延伸的所述柱塞孔。

作为一个优选的实施例，上述的带有顶针的升降装置中，在所述顶针中镶嵌磁性物体并且还在所述卡槽的底部安置磁性物体，位于所述卡槽的底部安置的所述磁性物体吸附所述顶针，以将所述顶针以可移动方式的固持在所述卡槽中。

作为一个优选的实施例，上述的带有顶针的升降装置中，所述顶针底部为圆柱形，并且所述顶针的圆柱形底部的直径等于所述卡槽的宽度。

作为一个优选的实施例，上述的带有顶针的升降装置中，所述顶针顶部为圆柱形，并且所述顶针的圆柱形顶部的半径小于所述顶针的圆柱形底部的半径。

作为一个优选的实施例，上述的带有顶针的升降装置中，在所述顶针中镶嵌的所述磁性物体与在所述卡槽的底部安置的所述磁性物体的磁极性相反。

附图说明

阅读以下详细说明并参照以下附图之后，本实用新型的特征和优势将显而易见：

图1是用于减压干燥设备的升降臂的鸟瞰图。

图2是TFT阵列基板承载在升降臂上的示意图。

图3是本实用新型提供的升降臂的立体图。

图4是采用本实用新型的升降臂与采用现有技术的升降臂的顶针痕迹对比图。

具体实施方式

参见图1，为了简便起见并未完整的体现整个减压干燥设备，但是图1中示范性的展示了减压干燥设备的一个升降臂(lifterbar)103局部示意图。减压干燥设备的一个金属支撑基座100上形成有长条状的容纳槽体101，而金属基座100中还设置有一些位于槽体101底部的未标注的柱塞孔，每个柱塞孔中均可用来安置一个柱状的传导杆102，传导杆102沿垂直于槽体101底部的垂直方向延伸，而且各个传导杆102的一端固定在长条状的升降臂103的底面。传导杆102可以在槽体101底部的柱塞孔中在垂直方向上自由上下运动，以此带动升降臂103的上下移动，升降臂103的长度方向与条状槽体101的长度方向保持一致，并且升降臂103的整个垂直投影刚好落在该长条状的槽体101中，以便当升降臂103下降到最大程度时，升降臂103恰好对准槽体101与其重合并相适配的容纳在槽体101之中。

参见图2，当移动机械手Robot按照预定的作业程序，将TFT阵列基板200传送至减压干燥设备的干燥腔体时，该干燥腔体(VCDchamber)中的升降臂(lifterbar)103会垂直上升来迎合并承载起TFT阵列基板200，当移动机械手Robot移走后，干燥腔体中的升降臂103连同被其承载的TFT阵列基板200一起下降，直至降至干燥腔体的底部，此时干燥腔体的闭锁构件将会按照预定程序关闭来隔绝外部环境，并开始执行真空减压干燥程序及破真空程序。当所有的程序完成后该干燥腔体会重新打开，将升降臂103连同TFT阵列基板200一起上升至预定的定位位置后，移动机械手Robot会再次将该干燥腔中的TFT阵列基板200取走，并传送至整个工艺流程中的下一个工序的设备，以便继续完成后续的流程作业。

但是，在当前的主流技术中，因为干燥腔体中的升降臂103顶面上的用于支撑起TFT阵列基板200的若干示范性的顶针(supportpin)103a、103b、103c完全是固定在升降臂103上，也就是说这些顶针103a～103c近乎与升降臂103是一体化结构，在现有设备中并不能按照旨意而人为的自由移动顶针。本领域的技术人员都知道，TFT阵列基板200上设置有多个阵列排布的显示单元250，在显示单元250之间存在非显示单元，如此一来，在执行减压干燥及破真空的程序过程中，因为TFT阵列基板200会与升降臂103上的若干顶针103a～103c直接接触，由于支撑TFT阵列基板200的顶针103a～103c与TFT阵列基板200存在着一定的温度差，进一步诱使TFT阵列基板200上与顶针103a～103c接触的那些点或区域产生顶针痕迹，一旦这些点或区域落在用于制备平板显示器件的显示单元上，即顶针顶在TFT阵列基板的显示单元上，则会在最终的平板显示器件上产生不良显示，造成产品失效。

为了详细说明此点，结合图2和图4A进行阐释，图2是剖面图但图4A是俯视图。图4A中虚线范围为图2中的升降臂103，升降臂103具有的顶针103a接触TFT阵列基板200并在TFT阵列基板200上产生一个接触点150a，以及顶针103b接触TFT阵列基板200并在TFT阵列基板200上产生另一个接触点150b，和顶针103c接触TFT阵列基板200并在TFT阵列基板200上产生另一个接触点150c。这里是以三个顶针为例进行叙述说明，但并不代表本实用新型受到这些数量上的限制，数量仅仅是示范性阐释。

在图4A中，发现接触点150a、150b和150c都刚好落在TFT阵列基板200的显示单元250内，也就是说，这些接触点将会在这些显示单元250内产生顶针痕迹MURA，如果受到损伤的这些显示单元250最终被制备成平板显示器件，则这些显示器件可能会存在显示不良的缺陷，即在显示中存在顶针痕迹，这并非我们期望看到的结果。根据制备的产品不同，在不同的TFT阵列基板上会制作不同大小、不同数量的显示单元，所以在进行减压干燥流程时，不可避免会存在升降臂上的顶针顶在显示单元内的情况。

为了克服上文的技术问题，图3提出本申请的解决方案。在图3中，在升降臂103的顶部制备一个或者若干个卡槽222，卡槽222也可以是长条状的形状，使得其长度值比宽度值要大得多，卡槽222的长度方向与升降臂103的长度方向一致，从而容纳在卡槽222中设置的顶针203a或203b或203c，顶针203a或203b或203c可以沿着卡槽222的长度方向来回移动，也即沿着升降臂103的长度方向往返移动。参见图3，假定AB方向为升降臂103的长度方向，发现顶针203a或203b或203c可以沿着从A到B的方向移动，或者从B到A方向移动，需要注意的是，这种移动动作是发生在水平方向上。但是整体上看，升降臂103可以在支撑基座100上由传导杆102引导进行垂直方向上的上下移动。

在一些可选但非限制性的实施例中，顶针203a或203b或203c的底部为圆柱形，并且顶针203a或203b或203c的圆柱底部的直径与卡槽222的宽度几乎相同。而在另一些可选但非限制性的实施例中，在顶针203a或203b或203c内部镶嵌或内置一些磁性物体，典型如磁铁，与之对应的是，在卡槽222的底部镶嵌或设置另一些磁性物体213，譬如与顶针203a或203b或203c内的磁性物体极性相反。这样便可以使得顶针203a或203b或203c牢固的吸附在各自所属的卡槽222中，而不容易跌落抖出，既起到现有技术中支撑顶起TFT阵列基板的功效，又能移动。

继续参见图4B，在升降臂103承载起TFT阵列基板103之时，顶针203a、203b和203c接触TFT阵列基板103，根据实际情况，通过沿着升降臂103的长度方向移动调整各个顶针的位置，即按照图示的沿着从A到B的方向移动，或者从B到A方向移动，使顶针203a、203b和203c均顶在相邻显示单元250之间的空置区，避开显示单元250区域。这里的空置区指非显示器件制备区，最终平板显示器件产品在这些空置区不需要进行显示，即为非显示区域，所以即使在空置区产生顶针痕迹，其对最终的平板显示器件也不会产生任何不良影响。

参见图4B，顶针203a的接触点350a避开有效的显示单元250，移动到在相邻两个显示单元250之间的无效的空置区，顶针203b和203c同样也执行如此的移动，对应分别移动到接触点350b、360c，则上文的技术问题迎刃而解。

以上，通过说明和附图，给出了具体实施方式的特定结构的典型实施例，上述实用新型提出了现有的较佳实施例，但这些内容并不作为局限。对于本领域的技术人员而言，阅读上述说明后，各种变化和修正无疑将显而易见。因此，所附的权利要求书应看作是涵盖本实用新型的真实意图和范围的全部变化和修正。在权利要求书范围内任何和所有等价的范围与内容，都应认为仍属于本实用新型的意图和范围内。

Claims (8)

1.一种带有顶针的升降装置，其特征在于，包括：

沿水平方向延伸的条状升降臂；

设置在所述条状升降臂的顶部的数个条状卡槽；

安装在每个所述卡槽内的顶针，且所述顶针在所述卡槽内可沿着所述升降臂的长度方向执行往返移动；

连接于所述升降臂的底部的升降机构，且所述升降机构引导所述升降臂上下移动。

2.根据权利要求1所述的带有顶针的升降装置，其特征在于，所述升降机构为沿垂直方向延伸的传导杆，所述传导杆引导所述升降臂上下移动。

3.根据权利要求2所述的带有顶针的升降装置，其特征在于，所述传导杆穿插在一个支撑基座的柱塞孔中并引导所述升降臂上下移动。

4.根据权利要求3所述的带有顶针的升降装置，其特征在于，所述支撑基座的顶面设置有一个条状槽体以适配性的容纳所述升降臂，以及

在所述槽体的底部下方设置有位于所述支撑基座中的且在垂直方向上延伸的所述柱塞孔。

5.根据权利要求1所述的带有顶针的升降装置，其特征在于，在所述顶针中镶嵌磁性物体并且还在所述卡槽的底部安置磁性物体，位于所述卡槽的底部安置的所述磁性物体吸附所述顶针，以将所述顶针以可移动方式的固持在所述卡槽中。

6.根据权利要求1所述的带有顶针的升降装置，其特征在于，所述顶针底部为圆柱形，并且所述顶针的圆柱形底部的直径等于所述卡槽的宽度。

7.根据权利要求6所述的带有顶针的升降装置，其特征在于，所述顶针顶部为圆柱形，并且所述顶针的圆柱形顶部的半径小于所述顶针的圆柱形底部的半径。

8.根据权利要求5所述的带有顶针的升降装置，其特征在于，在所述顶针中镶嵌的所述磁性物体与在所述卡槽的底部安置的所述磁性物体的磁极性相反。