CN203300622U - 一种基板吸附装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及搬运设备技术领域，公开了一种基板吸附装置，包括：具有抽真空管路的机械手臂，固定于机械手臂上的真空管和基板承托套，所述真空管与所述抽真空管路相连通，所述基板承托套套设于所述真空管的外侧，所述基板承托套的承托端面与所述基板的接触区域相贴合且可随基板的接触区域倾斜而倾斜。本实用新型公开的基板吸附装置用以改善柔性基板在搬运的过程中跌落破损，有效地降低了生产成本。

Description

一种基板吸附装置

技术领域

本实用新型涉及搬运设备技术领域，尤其涉及一种基板吸附装置。

背景技术

在显示装置制造时，通常需要用到基板搬运设备。如图1所示，现有基板搬运设备的基板吸附装置通常包括具有抽真空管路的机械手臂1，真空管4和基板承托套3，其中，如图2所示，真空管4固定于机械手臂1上且与抽真空管路相连通，基板承托套3固定于机械手臂1上且套设于真空管4的外侧。当需要将基板在各个制造工序之间传递时，启动与基板吸附装置相连的抽真空设备，此时机械手臂1的抽真空管路处于真空状态，基板承托套3的承托端面在真空作用下与基板2a的接触区域紧密贴合，实现了基板吸附装置对基板2a的固定。

柔性显示是下一代显示技术的重要发展方向，该技术具有可弯曲、不易碎、超轻超薄、低功耗等特点，在电子书、移动通信、笔记本、电视等领域具有广阔的应用前景和良好的发展预期，其中，柔性显示所用的基板材料通常为有机塑料、薄金属箔或柔性玻璃等。

本专利申请的发明人发现，如图3所示，当所搬运的基板为极易弯曲的柔性基板时，如果柔性基板发生弯曲，基板承托套的承托端面不能与基板的接触区域紧密贴合，基板吸附装置无法可靠地通过真空吸附固定基板，极易造成基板在搬运过程中的跌落破损，从而增加生产成本。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种基板吸附装置，避免柔性基板在搬运的过程中跌落破损，有效地降低了生产成本。

为了达到上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种基板吸附装置，包括：具有抽真空管路的机械手臂，固定于机械手臂上的真空管和基板承托套，所述真空管与所述抽真空管路相连通，所述基板承托套套设于所述真空管的外侧，所述基板承托套的承托端面与所述基板的接触区域相贴合且可随基板的接触区域倾斜而倾斜。

优选的，所述机械手臂包括至少两个触手。

优选的，每个所述触手上固定有至少两个真空管。

优选的，所述基板承托套为锥筒形，且所述承托端面的外径大于与机械手臂固定的端面外径。

优选的，所述真空管的吸附基板的端面低于所述基板承托套的承托端面。

优选的，所述基板承托套具有可随所述承托端面的倾斜而伸缩的弹性皱褶。

在本实用新型技术方案中，由于所述基板承托套的承托端面与所述基板的接触区域相贴合且可随基板的接触区域倾斜而倾斜，当基板吸附装置所搬运的柔性基板发生弯曲时，使基板吸附装置能够较可靠地通过真空吸附固定所搬运的柔性基板，改善了柔性基板在搬运的过程中跌落破损，有效地降低了生产成本。

附图说明

图1为现有基板吸附装置的结构示意图；

图2为现有机械手臂的剖面结构示意图；

图3为现有基板吸附装置吸附柔性基板的示意图；

图4为本实用新型基板吸附装置一实施例的剖面结构示意图；

图5为本实用新型基板吸附装置一实施例的基板承托套结构示意图；

图6为本实用新型基板吸附装置一实施例的基板承托套俯视示意图；

图7为本实用新型基板吸附装置另一实施例的的基板承托套结构示意图；

图8为本实用新型基板吸附装置另一实施例的的基板承托套剖面结构示意图；

图9为本实用新型基板吸附装置另一实施例的剖面结构示意图。

附图标记：

1-机械手臂                  2a-基板

2b-柔性基板                 3-基板承托套

4-真空管                    5-容置槽

6-外翻边

具体实施方式

本实用新型的目的在于提供一种基板吸附装置，该基板吸附装置的结构设计与现有技术相比，基板吸附装置的基板承托套具有与基板的接触区域相贴合且可随基板的接触区域倾斜而倾斜的承托端面，使基板承托套的承托端面能够与发生弯曲的基板的接触区域紧密贴合，基板吸附装置能够较可靠地通过真空吸附基板，改善了柔性基板在搬运的过程中跌落破损，有效地降低了生产成本。

如图4所示，本实用新型实施例所提供的基板吸附装置包括具有抽真空管路的机械手臂1，固定于机械手臂1上的真空管4和基板承托套3，真空管4与所述抽真空管路相连通，所述基板承托套3套设于真空管4的外侧，基板承托套3的承托端面与柔性基板2b的接触区域相贴合且可随柔性基板2b的接触区域倾斜而倾斜。

其中，机械手臂1包括至少两个触手。所述触手的数量在此不做限定，这样可以使得基板吸附装置所能搬运的柔性基板2b大小形状不受限制。

机械手臂1的每个所述触手上固定有至少两个真空管4，随着真空管4的数量的增加可以增大基板吸附装置的真空吸附力，同时减小柔性基板2b的弯曲变形，为了使基板吸附装置能够更加可靠地吸附柔性基板2b，在此，真空管数量不限。

如图5和图6所示，该优选实施例中，进一步的，基板承托套3为锥筒形，且基板承托套3的承托端面的外径大于与机械手臂1固定的端面外径，使基板承托套3的承托端面与柔性基板2b的接触区域的接触面积增大，这样可以增大基板吸附装置的真空吸附力。

真空管4的吸附柔性基板2b的端面低于所述基板承托套3的承托端面，保证了基板承托套3与柔性基板2b的接触区域之间能够形成密闭空间。

如图4和图5所示，基板承托套3具有可随承托端面的倾斜而伸缩的弹性皱褶。当基板吸附装置搬运的柔性基板2b发生弯曲时，基板承托套3的承托端面受到柔性基板2b的挤压，基板承托套3的受压侧的弹性皱褶受到压缩，基板承托套3的受拉侧的弹性皱褶受到拉伸，使基板承托套3的承托端面随着柔性基板2b的接触区域的倾斜而倾斜，从而使基板承托套3的承托端面与柔性基板2b的接触区域能够紧密贴合，进而使基板承托套3与柔性基板2b的接触区域之间的密闭空间处于真空状态，基板吸附装置能够较可靠地通过真空吸附柔性基板2b，改善了柔性基板2b在搬运的过程中跌落破损，有效地降低了生产成本。

作为本实用新型改进的另一实施例，如图7和图8所示，机械手臂1具有容置槽5，基板承托套3与机械手臂1固定的端面具有外翻边6，外翻边6位于容置槽5内且与容置槽5具有间隙，真空管4的吸附柔性基板2b的端面与柔性基板2b的接触区域相贴合。

如图9所示，当基板吸附装置搬运的柔性基板2b发生弯曲，真空管4的吸附柔性基板2b的端面与柔性基板2b的接触区域之间有缝隙时，基板承托套3的承托端面受到柔性基板2b的挤压，基板承托套3受压侧的外翻边6在容置槽5内向机械手臂1的方向运动，基板承托套3受拉侧的外翻边6向柔性基板2b的方向运动，使基板承托套3的承托端面随着柔性基板2b的接触区域的倾斜而倾斜，从而使基板承托套3的承托端面与柔性基板2b的接触区域能够紧密贴合，进而使基板承托套3与柔性基板2b的接触区域之间的密闭空间处于真空状态，基板吸附装置能够较可靠地通过真空吸附柔性基板2b，改善了柔性基板2b在搬运的过程中跌落破损，有效地降低了生产成本。

显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (7)

1.一种基板吸附装置，包括：具有抽真空管路的机械手臂，固定于机械手臂上的真空管和基板承托套，所述真空管与所述抽真空管路相连通，所述基板承托套套设于所述真空管的外侧，其特征在于，所述基板承托套的承托端面与所述基板的接触区域相贴合且可随基板的接触区域倾斜而倾斜。

2.如权利要求1所述的基板吸附装置，其特征在于，所述机械手臂包括至少两个触手。

3.如权利要求2所述的基板吸附装置，其特征在于，每个所述触手上固定有至少两个真空管。

4.如权利要求1所述的基板吸附装置，其特征在于，所述基板承托套为锥筒形，且所述承托端面的外径大于基板承托套的与机械手臂固定的端面的外径。

5.如权利要求1所述的基板吸附装置，其特征在于，所述真空管的吸附基板的端面低于所述基板承托套的承托端面。

6.如权利要求5所述的基板吸附装置，其特征在于，所述基板承托套具有可随所述承托端面的倾斜而伸缩的弹性皱褶。

7.如权利要求1所述的基板吸附装置，其特征在于，所述机械手臂具有容置槽，所述基板承托套与所述机械手臂固定的端面具有外翻边，所述外翻边位于所述容置槽内且与所述容置槽具有间隙，所述真空管的吸附基板的端面与所述基板的接触区域相贴合。

Images