CN205159293U - 晶粒的挑拣设备 - Google Patents
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Abstract
一种晶粒的挑拣设备，该晶粒的挑拣设备包含有：一晶粒承载结构、一晶粒挑拣结构及一晶粒存放结构，该晶粒挑拣结构设置于该晶粒承载结构与晶粒存放结构之间，该晶粒挑拣结构包含有：一承载座及一影像观察结构，晶粒挑拣结构上侧设有影像观察结构，底侧设有承载座，影像观察结构前端设有反射镜，承载座底部设有一驱动马达连接旋转盘，旋转盘上设有旋转臂，该旋转臂一端设有吸嘴，借此，该晶粒挑拣结构上旋转臂吸嘴吸取晶粒后，驱动马达驱动旋转盘，±180度旋转定位，可拣取黏固于该晶粒承载部上的一晶粒，将该晶粒位移至该晶粒存放盘，俾使挑拣后的晶粒可黏固于该晶粒存放盘而定位存放。
Description
技术领域
本实用新型隶属一种晶粒的挑拣设备。
背景技术
随着发光二极管的发展，晶圆切割成多个晶粒(dieorchip，又称为芯片)后，须依其质量、性能、产品特性予以分级分类，以将等级互异的晶粒应用于不同的领域，特别是在发光二极管(LightEmittedDiode,LED)的产业中，二极管的发光亮度、波长、色温、操作电压等会因制程条件的些许差异，即使在同一片LED生产晶圆上，各个晶粒之间多少都会存在着些微差异。而随着发光二极管的分类要求渐趋于精细，目前已经发展出150类的分类细目，为求效率，一般会使用机械手臂进行分类。
因此，晶粒的挑拣分类速度便直接影响到生产的速度，习知技术的晶粒的挑拣设备，利用单一挑拣臂结构于一取晶平台上进行晶粒的分类撷取，并透过90度或180度旋转而转放于一置晶平台上，为了准确地进行晶粒的拿取与置放，必须透过一摄像结构进行挑拣臂上的一吸嘴的定位，从而可以对位后的吸嘴位置为中心点，进行取晶平台以及置晶平台的位移参考，让该挑拣臂进行精准的晶粒取放，为配合挑拣装置于该取晶平台与该置晶平台之间达到较佳的取放效果，该取晶平台与该置晶平台可以顺逆向旋转并搭配水平方向轴向位移的方式来移动，使位于晶粒承载部的欲挑拣晶粒位移至一挑拣定位点，致使该吸嘴仅须透过挑拣臂的旋转，便可移动至该挑拣定位点上方，此时，晶粒剥离部针顶该欲挑拣的晶粒使其脱离晶粒承载部，致使吸嘴吸取该欲挑拣的晶粒；同理，该晶粒存放部亦可借由水平位移或旋转，致使该欲挑拣晶粒移至晶粒存放部上的对应位置而存放。因LED晶圆尺寸由2吋、4吋、6吋逐步增大至8吋，取晶平台及置晶平台也须随着加大，且二者为水平放置，故挑拣臂亦须随之加长，如此便会造成挑拣臂惯量增加使得控制难度增高，使得速度降低、精度变差。因此，该晶粒的挑拣机构着实有改进的必要。
有鉴于此，本实用新型设计人乃针对前述现有挑拣机构上所面临的问题深入探讨，并借由多年从事相关产业的研发与制造经验，且积极寻求解决的方道，经过长期努力的研究与开发，终于成功的开发出一种晶粒的挑拣设备，来克服现有挑拣机构的缺点，期使挑拣机构，更符合制造者及使用者的需求。
实用新型内容
本实用新型的主要目的在于提供一种晶粒的挑拣设备，其可缩短晶粒挑拣的距离，使晶粒挑拣的速度及准确度大大提升，节省晶粒挑拣的时间。
为达上述目的，本实用新型的解决方案是：
一种晶粒的挑拣设备其结构，包含有：一晶粒承载结构、一晶粒挑拣结构及一晶粒存放结构，该晶粒挑拣结构设置于该晶粒承载结构与晶粒存放结构之间，该晶粒挑拣结构包含有：一承载座及一影像观察结构，晶粒挑拣结构上侧设有影像观察结构，底侧设有承载座，影像观察结构前端设有反射镜，承载座底部设有一驱动马达连接旋转盘，旋转盘上设有旋转臂，该旋转臂一端设有吸嘴；
该晶粒承载结构一侧边设有横移床台，横移床台中段处设有床架及滑杆，滑杆末端设有伺服马达，床架底侧锁设有升降床台，升降床台中段处设有床架及滑杆，滑杆末端设有伺服马达，升降床台前侧设有晶粒承载部，升降床台顶侧另分离设有一晶粒剥离机，晶粒剥离机前侧设有一顶针；
该晶粒存放结构一侧边设有横移床台，横移床台中段处设有床架及滑杆，滑杆末端设有伺服马达，床架底侧锁设有升降床台，升降床台中段处设有床架及滑杆，滑杆末端设有伺服马达，升降床台的移动平台设有一晶粒存放盘。
上述该晶粒承载结构与晶粒存放结构呈面对面平行设置，可缩短晶粒挑拣的距离，使晶粒挑拣的速度及准确度大大提升，节省晶粒挑拣的时间。
进一步，该晶粒承载部上设有蓝膜可黏固多个切割后的晶粒。
进一步，该晶粒剥离机上设有顶针可使黏固于晶粒承载部的晶粒容易脱离晶粒承载部。
进一步，该影像观察结构可借由反射镜的反射来观察待挑拣晶粒与挑拣后晶粒的状态。
进一步，该影像观察结构借由观察来控制横移床台的伺服马达驱动滑杆，让升降床台于横移床台上左右横移、及升降床台的伺服马达驱动滑杆，让晶粒承载部于升降床台上上升下降，晶粒存放盘95于升降床台90上上升下降。
进一步，该驱动马达驱动旋转盘±180度旋转定位，让旋转臂上的吸嘴可拣取黏固于该晶粒承载部上的一晶粒，另一旋转臂的吸嘴可将该晶粒位移至该晶粒存放盘，使挑拣后的晶粒可黏固于该晶粒存放盘而定位存放。
进一步，该转盘可设置多个旋转臂及吸嘴以节省晶粒挑拣时间。借此，上述晶粒承载结构与晶粒存放结构呈面对面平行设置，可缩短晶粒挑拣的距离，使晶粒挑拣的速度及准确度大大提升，节省晶粒挑拣的时间。晶粒挑拣结构上一旋转臂吸嘴吸取晶粒后，驱动马达驱动旋转盘±180度旋转定位，可拣取黏固于该晶粒承载部上的一晶粒，另一旋转臂吸嘴可将该晶粒位移至该晶粒存放盘，俾使挑拣后的晶粒可黏固于该晶粒存放盘而定位存放。为使 贵审查委员能进一步了解本实用新型的详细构造、特征及其他目的，以下乃举本实用新型的较佳实施例，并配合图式详细说明如后，同时让熟悉该项技术领域者能够具体实施。
附图说明
图1为本实用新型较佳实施例的立体示意图，供说明主要元件及其相对关系；
图2为本实用新型较佳实施例的前视组合示意图；
图3为本实用新型较佳实施例的俯视组合示意图；
图4为本实用新型较佳实施例的局部平面剖视示意图；
图5为本实用新型较佳实施例的挑选晶粒的动作流程示意图；
图6为本实用新型较佳实施例的挑选晶粒的动作流程示意图；
图7为本实用新型较佳实施例的挑选晶粒的动作流程示意图；
图8为本实用新型较佳实施例的挑选晶粒的动作流程示意图；
图9为本实用新型较佳实施例的挑选晶粒的动作流程示意图；
图10为本实用新型较佳实施例的挑选晶粒的动作流程示意图。
【符号说明】
5晶粒10晶粒挑拣结构
20承载座21驱动马达
22旋转盘23旋转臂
24吸嘴30影像观察结构
31反射镜40晶粒承载结构
50横移床台51床架
52滑杆53伺服马达
60升降床台61床架
62滑杆63伺服马达
64晶粒承载部65晶粒剥离机
66顶针70晶粒存放结构
80横移床台81床架
82滑杆82伺服马达
90升降床台91床架
92滑杆93伺服马达
95晶粒存放盘。
具体实施方式
本实用新型实用新型的一种晶粒的挑拣设备，随附图例示的本实用新型具体实施例及其构件中，所有关于前与后、左与右、顶部与底部、上部与下部、以及水平与垂直的参考，仅用于方便进行描述，并非限制本实用新型，亦非将其构件限制于任何位置或空间方向。图式与说明书中所指定的尺寸，当可在不离开本实用新型的申请专利范围内，根据本实用新型的具体实施例的设计与需求而进行变化。
请参阅图1至图4所示，本实用新型设计一种晶粒的挑拣设备，其结构包含有：一晶粒挑拣结构10、一晶粒承载结构40及一晶粒存放结构70，该晶粒挑拣结构10设置于该晶粒承载结构40与晶粒存放结构70之间，该晶粒承载结构40与晶粒存放结构70呈面对面平行设置，可缩短晶粒5挑拣的距离，使晶粒5挑拣的速度及准确度大大提升，节省晶粒5挑拣的时间。该晶粒挑拣结构10包含有：一承载座20及一影像观察结构30，晶粒挑拣结构10上侧设有影像观察结构30，底侧设有承载座20，影像观察结构30前端设有反射镜31，承载座20底部设有一驱动马达21连接旋转盘22，旋转盘22上设有两旋转臂23，该旋转臂23一端设有吸嘴24，驱动马达可驱动旋转盘±180度旋转定位，让两旋转臂23上吸嘴24皆可吸取晶粒5。
该晶粒承载结构40一侧边设有横移床台50，横移床台50中段处设有床架51及滑杆52，滑杆52末端设有伺服马达53，床架51底侧锁设有升降床台60，升降床台60中段处设有床架61及滑杆62，滑杆62末端设有伺服马达63，升降床台60前侧设有晶粒承载部64，升降床台60顶侧另分离设有一晶粒剥离机65，晶粒剥离机65前侧设有一顶针66；
该晶粒存放结构70一侧边设有横移床台80，横移床台80中段处设有床架81及滑杆82，滑杆82末端设有伺服马达83，床架81底侧锁设有升降床台90，升降床台90中段处设有床架91及滑杆92，滑杆92末端设有伺服马达93，升降床台90的移动平台设有一晶粒存放盘95。
借此，该晶粒挑拣结构10上旋转臂23吸嘴24吸取晶粒5后，驱动马达21驱动旋转盘22、±180度旋转定位，可拣取黏固于该晶粒承载部64上的一晶粒5，另一旋转臂23吸嘴24可将该晶粒5位移至该晶粒存放盘95，俾使挑拣后的晶粒5可黏固于该晶粒存放盘95而定位存放，其旋转盘22可设置多个以上旋转臂23及吸嘴24节省晶粒5挑拣时间。
该晶粒承载部64及晶粒存放盘95上设有蓝膜或UV膜可黏固多个切割后的晶粒5，使该晶粒5不会受重力掉落；当晶粒5欲脱离晶粒承载部64上蓝膜或UV膜时，位于晶粒承载部64后方的晶粒剥离机65上顶针66可针顶欲脱离的晶粒5，使其容易脱离蓝膜或UV膜而被晶粒挑拣结构10所拣取。
请参阅图5至图10所示，本实用新型的挑选晶粒的动作流程示意图，该晶粒附着于晶粒承载部64后，位于晶粒承载部64后方的晶粒剥离机65上顶针66可针顶欲脱离的晶粒5，首先，晶粒承载部64可借由横移床台50及升降床台60（如图1所示）位移调整其位置，使一欲拣取的晶粒5定位于吸嘴24前端；同时，晶粒存放盘95亦位移至一定位点，接着，该吸嘴24吸取该晶粒5，使晶粒5脱离晶粒承载部64而固着于吸嘴24；随后，借由该旋转臂23的旋转，该晶粒5位移至晶粒存放盘95的前端；最后，该吸嘴24将该晶粒5压抵于晶粒存放盘95而黏固，而完成晶粒5的拣选。
请参阅图1至图4所示，该影像观察结构30借由观察来控制横移床台50、80的伺服马达53、83驱动滑杆52、82，让升降床台60、90于横移床台50、80上左右横移、及升降床台60、90的伺服马达63、93驱动滑杆62、92，让晶粒承载部64于升降床台60上上升下降，晶粒存放盘95于升降床台90上上升下降。
Claims (7)
1.一种晶粒的挑拣设备，其特征在于，包含有：一晶粒承载结构、一晶粒挑拣结构及一晶粒存放结构，该晶粒挑拣结构设置于该晶粒承载结构与晶粒存放结构之间，该晶粒挑拣结构包含有：一承载座及一影像观察结构，晶粒挑拣结构上侧设有影像观察结构，底侧设有承载座，影像观察结构前端设有反射镜，承载座底部设有一驱动马达连接旋转盘，旋转盘上设有旋转臂，该旋转臂一端设有吸嘴；
该晶粒承载结构一侧边设有横移床台，横移床台中段处设有床架及滑杆，滑杆末端设有伺服马达，床架底侧锁设有升降床台，升降床台中段处设有床架及滑杆，滑杆末端设有伺服马达，升降床台前侧设有晶粒承载部，升降床台顶侧另分离设有一晶粒剥离机，晶粒剥离机前侧设有一顶针；
该晶粒存放结构一侧边设有横移床台，横移床台中段处设有床架及滑杆，滑杆末端设有伺服马达，床架底侧锁设有升降床台，升降床台中段处设有床架及滑杆，滑杆末端设有伺服马达，升降床台的移动平台设有一晶粒存放盘。
2.如权利要求1所述的晶粒的挑拣设备，其特征在于：该晶粒承载部上设有可黏固多个切割后的晶粒的蓝膜。
3.如权利要求1所述的晶粒的挑拣设备，其特征在于：该晶粒剥离机上设有可使黏固于晶粒承载部的晶粒容易脱离晶粒承载部的顶针。
4.如权利要求1所述的晶粒的挑拣设备，其特征在于：该影像观察结构借由反射镜的反射来观察待挑拣晶粒与挑拣后晶粒的状态。
5.如权利要求1所述的晶粒的挑拣设备，其特征在于：该影像观察结构借由观察来控制横移床台的伺服马达驱动滑杆，升降床台于横移床台上左右横移、及升降床台的伺服马达驱动滑杆，晶粒承载部于升降床台上上升下降，晶粒存放盘于升降床台上上升下降。
6.如权利要求1所述的晶粒的挑拣设备，其特征在于：该驱动马达驱动旋转盘±180度旋转定位，旋转臂上的吸嘴拣取黏固于该晶粒承载部上的一晶粒，另一旋转臂的吸嘴将该晶粒位移至该晶粒存放盘，挑拣后的晶粒黏固于该晶粒存放盘而定位存放。
7.如权利要求1所述的晶粒的挑拣设备，其特征在于：该转盘设置多个旋转臂及吸嘴。
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|---|---|---|---|
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Publications (1)
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Cited By (4)
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|---|---|---|---|---|
| CN111446151A (zh) * | 2020-03-27 | 2020-07-24 | 绍兴同芯成集成电路有限公司 | 一种切割晶粒后批量转移晶粒至蓝膜的方法 |
| CN111715562A (zh) * | 2020-06-16 | 2020-09-29 | 矽电半导体设备(深圳)股份有限公司 | 一种晶粒分拣装置以及分拣方法 |
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| CN113798205A (zh) * | 2021-09-24 | 2021-12-17 | 深圳市华腾半导体设备有限公司 | 一种对位检测装置及具有该装置的芯片分选装置 |
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2015
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| CU01 | Correction of utility model |
Correction item: Assignee Correct: FITTECH Co.,Ltd. False: Whit Scientific Research Co.,Ltd. Number: 52-01 Volume: 39 |