CN205140936U - 一种晶圆传送异常监测装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种晶圆传送异常监测装置，包括：光束传感器1、电源2、控制装置3；所述光束传感器1和电源2相连接；所述光束传感器1设置在传送轨道5下方；所述控制装置3与光束传感器1相连接；本实用新型可自动监测晶圆传送过程中晶圆掉落、偏离等异常现象，当晶圆传送出现异常该装置可报警，防止设备无法感知晶圆的异常会继续其他的动作，从而导致了掉落、偏离的晶圆受到运动部件的撞击而严重损坏。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体设备，特别涉及一种晶圆传送异常监测装置。
背景技术
晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品。在半导体芯片封装过程中，晶圆在贴片机轨道上运动，在运动过程中晶圆可能出现掉落或偏离传送轨道异常现象，而设备无法感知晶圆的异常，不能及时报警，设备会继续其它的动作，从而导致了掉落、偏离的晶圆受到运动部件的撞击而严重损坏。
实用新型内容
本实用新型提供一种晶圆传送异常监测装置，用于解决现在技术中晶圆在封装过程中，晶圆在贴片机轨道上运动时出现掉落或偏离传送轨道异常现象，从而导致晶圆受到运动部件的撞击而严重损坏。为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种晶圆传送异常监测装置，包括:光束传感器1、电源2、控制装置3；所述光束传感器1和电源2相连接；所述光束传感器1设置在传送轨道5下方；所述控制装置3与光束传感器1相连接；
优选的，所述一种晶圆传送异常监测装置，还设置有报警模块4，所述报警模块4与控制模块3相连接。
优选的，所述一种晶圆传送异常监测装置，所述光束传感器1设置在传送轨道5前段、中段和/或后段位置。保证整个传送轨道5被光束传感器1的感应区域所覆盖。
优选的，所述一种晶圆传送异常监测装置，所述传送轨道5为滚轴轨道。
本实用新型所述的光束传感器是利用被检测物对光束的遮挡或反射，从而检测物体有无的。物体不限于金属，所有能反射光线的物体均可被检测。其将输入电流在发射器上转换为光信号射出，接收器再根据接收到的光线的强弱或有无对目标物体进行探测。
以下为对于本装置的工作方式描述：
当晶圆通过设置有光束传感器1的传送轨道5时，将发生如下情况：
情况一：当晶圆无异常情况，其晶圆覆盖光束传感器1发射出光信号的范围大于等于正常值。
情况二：当晶圆发生偏离时，其晶圆覆盖光束传感器1发射出光信号的范围小于正常值，且大于等于临界值。
情况三：当晶圆发生掉落时，其晶圆覆盖光束传感器1发射出光信号的范围小于临界值。
当晶圆在传送轨道5处于情况二或情况三时，控制模块3将通知设备停止其它工作，并通知报警模块4发出报警信号。
本实用新型的有益效果：本实用新型可自动监测晶圆传送过程中晶圆掉落、偏离等异常现象，当晶圆传送出现异常该装置可报警，防止设备无法感知晶圆的异常会继续其他的动作，从而导致了掉落、偏离的晶圆受到运动部件的撞击而严重损坏。
附图说明
图1为本实用新型的俯视图；
图中，1、光束传感器；2、电源；3、控制模块；4、报警模块；5、传送轨道。
具体实施方式
由图1所示可知，为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种晶圆传送异常监测装置，包括:光束传感器1、电源2、控制装置3；所述光束传感器1和电源2相连接；所述光束传感器1设置在传送轨道5下方；所述控制装置3与光束传感器1相连接；
优选的，所述一种晶圆传送异常监测装置，还设置有报警模块4，所述报警模块4与控制模块3相连接。
优选的，所述一种晶圆传送异常监测装置，所述光束传感器1设置在传送轨道5前段、中段和/或后段位置。保证整个传送轨道5被光束传感器1的感应区域所覆盖。
优选的，所述一种晶圆传送异常监测装置，所述传送轨道5为滚轴轨道。
本实用新型所述的光束传感器是利用被检测物对光束的遮挡或反射，从而检测物体有无的。物体不限于金属，所有能反射光线的物体均可被检测。其将输入电流在发射器上转换为光信号射出，接收器再根据接收到的光线的强弱或有无对目标物体进行探测。
以下为对于本装置的工作方式描述：
当晶圆通过设置有光束传感器1的传送轨道5时，将发生如下情况：
情况一：当晶圆无异常情况，其晶圆覆盖光束传感器1发射出光信号的范围大于等于正常值如晶圆发生偏移。
情况二：当晶圆发生偏离时，其晶圆覆盖光束传感器1发射出光信号的范围小于正常值，且大于等于临界值。
情况三：当晶圆发生掉落时，其晶圆覆盖光束传感器1发射出光信号的范围小于临界值。
当晶圆在传送轨道5处于情况二或情况三时，控制模块3将通知设备停止其它工作，并通知报警模块4发出报警信号。
本实用新型的有益效果：本实用新型可自动监测晶圆传送过程中晶圆掉落、偏离等异常现象，当晶圆传送出现异常该装置可报警，防止设备无法感知晶圆的异常会继续其他的动作，从而导致了掉落、偏离的晶圆受到运动部件的撞击而严重损坏。
上述实施例仅例示性说明本专利申请的原理及其功效，而非用于限制本专利申请。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本专利申请的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本专利申请所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本专利请的权利要求所涵盖。
Claims (4)
1.一种晶圆传送异常监测装置，包括:光束传感器（1）、电源（2）、控制模块（3）；所述光束传感器（1）和电源（2）相连接；所述光束传感器（1）设置在传送轨道（5）下方；所述控制装置（3）与光束传感器（1）相连接。
2.根据权利要求1所述一种晶圆传送异常监测装置，其特征在于，还设置有报警模块（4），所述报警模块（4）与控制模块（3）相连接。
3.根据权利要求1所述一种晶圆传送异常监测装置，其特征在于，光束传感器（1）设置在传送轨道（5）前段、中段和/或后段位置。
4.根据权利要求1所述一种晶圆传送异常监测装置，其特征在于，传送轨道（5）为滚轴轨道。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201520976974.3U CN205140936U (zh) | 2015-12-01 | 2015-12-01 | 一种晶圆传送异常监测装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201520976974.3U CN205140936U (zh) | 2015-12-01 | 2015-12-01 | 一种晶圆传送异常监测装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN205140936U true CN205140936U (zh) | 2016-04-06 |
Family
ID=55626701
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| CN201520976974.3U Active CN205140936U (zh) | 2015-12-01 | 2015-12-01 | 一种晶圆传送异常监测装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN205140936U (zh) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN106406035A (zh) * | 2016-10-24 | 2017-02-15 | 南京华东电子信息科技股份有限公司 | 一种周边曝光传送机构下垂监控装置及其监控方法 |
| CN108962805A (zh) * | 2017-05-23 | 2018-12-07 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 传片监测系统及传片监测方法、半导体加工设备 |
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2015
- 2015-12-01 CN CN201520976974.3U patent/CN205140936U/zh active Active
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