CN103419125B - 固定环 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种固定环，包括薄片型环，还包括导线、脉冲电流信号传感器和报警装置，所述导线设置于所述薄片型环的内壁和外壁，所述导线的两端分别与所述脉冲电流信号传感器的输入端相连，所述脉冲电流信号传感器的输出端连接至所述报警装置。本发明在薄片型环的内壁和外壁设置导线，并将导线的两端连接至脉冲电流信号传感器的输入端，薄片型环完好时，脉冲电流信号传感器通过导线的导通作用接收到正常的脉冲电流信号，固定环正常工作；当薄片型环发生破损，导线不导通，脉冲电流信号传感器接收不到正常的信号，向报警装置输出报警信号，报警装置报警，提醒操作人员固定环损坏，及时更换，从而有效降低因固定环的破损带来的潜在风险和经济损失。

Description

固定环
技术领域
本发明涉及化学机械抛光领域，尤其涉及一种可自动报警的固定环。
背景技术
随着半导体制造技术的发展，集成电路的关键尺寸越来越小的同时，晶圆的尺寸越来越大，单片晶圆的价值也越来越高，因此，在晶圆的加工过程中一旦发生破片，对工厂带来的经济损失也越来越大。引发晶圆在加工过程中发生破片有诸多因素，其中，抛光头上的固定环在抛光过程中发生破裂而引起晶圆的破片是其中的因素之一，如果固定环的破裂不能及时被发现并停止抛光机的运行，不仅会引起晶圆破片，甚至可能导致抛光头及抛光垫等其他部件的严重损坏，导致更高的经济损失。
现有的固定环的结构如图1所示，包括薄片型环1，这种结构的固定环是否破裂只能通过人为的肉眼观察以及定期的检查来实现，不能快速、及时地反映固定环的工作状态。
发明内容
本发明提供一种固定环，以解决现有固定环损坏无法及时知道，从而造成的晶圆破损导致经济损失的问题。
为解决上述技术问题，本发明提供一种固定环，包括薄片型环，还包括导线、脉冲电流信号传感器和报警装置，所述导线设置于所述薄片型环的内壁和外壁，所述导线的两端分别与所述脉冲电流信号传感器的输入端相连，所述脉冲电流信号传感器的输出端连接至所述报警装置。
较佳地，所述脉冲电流信号传感器的输出端还连接至抛光机的电脑控制端。
较佳地，所述薄片型环的底壁上还设有若干沟槽。
本发明提供的固定环，包括薄片型环，还包括导线、脉冲电流信号传感器和报警装置，所述导线设置于所述薄片型环的内壁和外壁，所述导线的两端分别与所述脉冲电流信号传感器的输入端相连，所述脉冲电流信号传感器的输出端连接至所述报警装置。本发明通过在薄片型环的内壁和外壁设置导线，并将导线的两端连接至脉冲电流信号传感器的输入端，薄片型环完好时，脉冲电流信号传感器通过导线的导通作用接收到正常的脉冲电流信号，固定环正常工作；当薄片型环发生破损，导线不导通，脉冲电流信号传感器接收不到正常的信号，向报警装置输出报警信号，报警装置报警，提醒操作人员固定环损坏，及时更换，从而有效降低因固定环的破损带来的潜在风险和经济损失。
附图说明
图1为现有固定环的结构示意图；
图2为本发明一具体实施方式的固定环的立体图；
图3为本发明一具体实施方式的固定环的俯视图。
图1中：1-薄片型环；
图2～3中：10-薄片型环、11-内壁、12-外壁、13-沟槽、20-导线、30-脉冲电流信号传感器、40-报警装置、50-电脑控制端。
具体实施方式
为了更详尽的表述上述发明的技术方案，以下列举出具体的实施例来证明技术效果；需要强调的是，这些实施例用于说明本发明而不限于限制本发明的范围。
本发明提供的固定环，如图2至3所示，包括薄片型环10，还包括导线20、脉冲电流信号传感器30和报警装置40，所述导线20设置于所述薄片型环10的内壁11和外壁12，当然，所述导线20的布置方式不限于图3所示的绕制方式，只要能实现薄片型环10破损即可导致导线20断裂的技术效果即可。所述导线20的两端分别与所述脉冲电流信号传感器30的输入端相连，所述脉冲电流信号传感器30的输出端连接至所述报警装置40。本发明通过在薄片型环10的内壁11和外壁12设置导线20，并将导线20的两端连接至脉冲电流信号传感器30的输入端，薄片型环10完好时，脉冲电流信号传感器30通过导线20的导通作用接收到正常的脉冲电流信号，固定环正常工作；当薄片型环10发生破损，导线20不导通，脉冲电流信号传感器30接收不到正常的信号，向报警装置40输出报警信号，报警装置报警，提醒操作人员固定环损坏，及时更换，从而有效降低因固定环的破损带来的潜在风险和经济损失。
较佳地，所述脉冲电流信号传感器30的输出端还连接至抛光机的电脑控制端50，当薄片型环10发生破损，导线20不导通，脉冲电流信号传感器30接收不到正常的信号，同时向所述抛光机的电脑控制端50发出信号，控制抛光头和抛光盘自动停止转动，避免抛光头及抛光垫等其他部件的损坏。
较佳地，请继续参考图2和图3，所述薄片型环10的底壁上还设有若干沟槽13，用于抛光液的导流。
综上所述，本发明提供的固定环，包括薄片型环10，还包括导线20、脉冲电流信号传感器30和报警装置40，所述导线20设置于所述薄片型环10的内壁11和外壁12，所述导线20的两端分别与所述脉冲电流信号传感器30的输入端相连，所述脉冲电流信号传感器30的输出端连接至所述报警装置40。本发明通过在薄片型环10的内壁11和外壁12设置导线20，并将导线20的两端连接至脉冲电流信号传感器30的输入端，薄片型环10完好时，脉冲电流信号传感器30通过导线20的导通作用接收到正常的脉冲电流信号，固定环正常工作；当薄片型环10发生破损，导线20不导通，脉冲电流信号传感器30接收不到正常的信号，向报警装置40输出报警信号，报警装置40报警，提醒操作人员固定环损坏，及时更换，从而有效降低因固定环的破损带来的潜在风险和经济损失。
显然，本领域的技术人员可以对发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包括这些改动和变型在内。

Claims (3)

1.一种固定环，包括薄片型环，其特征在于，还包括导线、脉冲电流信号传感器和报警装置，所述导线设置于所述薄片型环的内壁和外壁，所述导线的两端分别与所述脉冲电流信号传感器的输入端相连，所述脉冲电流信号传感器的输出端连接至所述报警装置。
2.如权利要求1所述的固定环，其特征在于，所述脉冲电流信号传感器的输出端还连接至抛光机的电脑控制端。
3.如权利要求1所述的固定环，其特征在于，所述薄片型环的底壁上还设有若干沟槽。
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