CN201845751U

CN201845751U - 传送系统

Info

Publication number: CN201845751U
Application number: CN2010205651059U
Authority: CN
Inventors: 周琦; 李秀军; 李友溪; 袁洪
Original assignee: Semiconductor Manufacturing International Shanghai Corp
Current assignee: Semiconductor Manufacturing International Beijing Corp
Priority date: 2010-10-16
Filing date: 2010-10-16
Publication date: 2011-05-25
Anticipated expiration: 2020-10-16

Abstract

本实用新型提供一种传送系统，所述传送系统包括：承载台，用以承载晶舟；驱动轴，其一端与所述承载台连接，用以驱动所述承载台的上升与下降；马达，通过传动装置与所述驱动轴连接，用以控制所述驱动轴的动作；光轴，通过滑动装置与所述驱动轴滑动连接；所述光轴上设置有制动装置，所述制动装置上设置有传感器，所述传感器与马达控制器连接，所述马达控制器与所述马达连接。本实用新型的传送系统做自动校正时，能解决驱动轴下沉，从而引起的承载台及承载台上的晶舟受损的问题。

Description

传送系统

技术领域

本实用新型涉及集成电路工艺装置，特别涉及一种传送系统。

背景技术

随着集成电路的半导体元件的集成度日益增加，工艺的准确度就显得格外重要。因为一旦在工艺中发生些微的错误，即可能造成工艺的失败，导致晶片的毁损或报废，因而耗费大量成本。

一般在半导体工艺中，半导体工艺的设备由多个相邻的工艺反应室所组成，并藉由传送系统(load lock)，使晶片在各个工艺反应室间传输。晶片在工艺反应室之间的传输，利用机械手臂，将晶片从位于传送系统内的晶舟中取出，传送至工艺反应室内进行工艺反应，并于工艺结束后将晶片取回，再送回至晶舟中，以进行下一系列的工艺步骤。机械手将晶片从位于传送系统内的晶舟中取出的过程中，所述晶舟及机械手都应处于预定的位置，如此，可防止机械手从晶舟中取出晶片时，由于位置的差异造成晶片损伤。为了使晶舟能处于预定的位置，传送系统在每传送完一定数量的晶片后，通常为20个晶舟后，会携带着下一个晶舟，自动做一次校正(do home)，以确保晶舟处于预定的位置。

如图1所示，为现有载有晶舟的传送系统示意图。传送系统1包括：承载台10，用以承载晶舟100；驱动轴11，其一端与承载台10连接，用以驱动承载台10的上升与下降；马达12，通过传动装置13与驱动轴11连接，用以控制驱动轴11的动作；光轴15，通过滑动装置14与驱动轴11滑动连接，确保驱动轴11的上升下降是垂直进行的。此外，传送系统1还包括挡片16及预定位置传感器17(home sensor)，所述挡片16固定于驱动轴11上，所述预定位置传感器17固定于传送系统1内的支架上(图1中未示出)，所述预定位置传感器17通常为光敏传感器，当传送系统1自动做位置校正时，驱动轴11下降，通过挡片16遮住预定位置传感器17，预定位置传感器17发出信号，可知此时的位置为预定位置。然而，在传送系统1做自动校正的过程中，如果所述预定位置传感器17已发生损坏，此时，预定位置传感器17将不发出信号，驱动轴11便会一直下降，以期找到预定位置。最终，将导致驱动轴11持续下沉，从而使得与其连接的所述承载台10及承载台10所承载的晶舟100在此过程中，由于与传送系统1内其他装置碰撞，或者承载台10碰触传送系统1底部而造成损坏，晶舟100中通常载有25片晶圆，如此，可能会造成多达1.5万美元的直接经济损失。

为此，在预定位置传感器17失效的情况下，使得驱动轴11不下沉，从而保证承载台10及其承载的晶舟100不因此而受损坏，成了一个亟待解决的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种传送系统，以解决现有的传送系统在预定位置传感器失效的情况下，驱动轴下沉，从而使得承载台及承载台所承载的晶舟受损的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种传送系统，所述传送系统包括：承载台，用以承载晶舟；驱动轴，其一端与所述承载台连接，用以驱动所述承载台的上升与下降；马达，通过传动装置与所述驱动轴连接，用以控制所述驱动轴的动作；光轴，通过滑动装置与所述驱动轴滑动连接；所述光轴上设置有制动装置，所述制动装置上设置有传感器，所述传感器与马达控制器连接，所述马达控制器与所述马达连接。

可选的，所述制动装置套接在所述光轴上。

可选的，所述制动装置是厚度为15～25cm，外径为50～70cm，内径与所述光轴直径吻合的圆柱形套管。

可选的，所述制动装置是厚度为15～25cm，边长为50～70cm，内径与所述光轴直径吻合的长方体形套管。

可选的，所述制动装置通过支架固定于所述光轴上。

可选的，所述制动装置是由聚酯材料制成的。

可选的，所述制动装置上设置有一个传感器。

可选的，所述制动装置上设置有两个以上传感器。

可选的，所述制动装置上设置的传感器位于所述驱动轴的正下方。

可选的，所述马达控制器上还安装有报警装置。

可选的，所述报警装置是LED发光器。

可选的，所述报警装置是发生器。

本实用新型提供一种传送系统，在该传送系统做自动校正时，当预定位置传感器失效的情况下，驱动轴在继续下降的过程中，由于在光轴上设置有制动装置，驱动轴下降到一定程度后将碰到所述制动装置，制动装置可暂时阻止驱动轴的下降。此外，驱动轴在碰到所述制动装置的同时，也将触发设置于所述制动装置上的传感器，传感器将输出信号至与其连接的马达控制器，马达控制器将控制马达停止运行，彻底阻止驱动轴的下沉。因此，本实用新型可防止承载台以及承载台所承载的晶舟在自动校正过程中与传送系统内其它装置碰撞，并可防止承载台碰触传送系统底部，从而确保承载台以及承载台所承载的晶舟不受损坏。

附图说明

图1是现有载有晶舟的传送系统示意图；

图2是本实用新型载有晶舟的传送系统示意图；

图3是图2所示传送系统中未示出的马达控制器部分连接示意图。

具体实施方式

以下结合附图和具体实施例对本实用新型提出的传送系统作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。

本实用新型的核心思想在于，提供一种传送系统，在传送系统的光轴上设置有制动装置，所述制动装置上设置有传感器，所述传感器与马达控制器连接，所述马达控制器与所述马达连接。在该传送系统做自动校正时，当预定位置传感器失效的情况下，驱动轴在继续下降的过程中，由于在光轴上设置有制动装置，驱动轴下降到一定程度后将碰到所述制动装置，制动装置可暂时阻止驱动轴的下降。此外，驱动轴在碰到所述制动装置的同时，也将触发设置于所述制动装置上的传感器，传感器将输出信号至与其连接的马达控制器，马达控制器将控制马达停止运行，彻底阻止驱动轴的下沉。通过本实用新型提供的传送系统，可防止承载台以及承载台所承载的晶舟在自动校正过程中与传送系统内其他装置碰撞，并可防止承载台碰触传送系统底部，从而确保承载台以及承载台所承载的晶舟不受损坏。

请参考图2及图3，其中，图2是本实用新型载有晶舟的传送系统示意图，图3是图2所示传送系统中未示出的马达控制器部分连接示意图。

如图2和图3所示，传送系统2包括承载台20、驱动轴21、马达22、传动装置23、滑动装置24、光轴25、挡片26、预定位置传感器27、制动装置28、传感器29、马达控制器30。其中，承载台20用以承载晶舟200；驱动轴21的一端与承载台20连接，用以驱动承载台20的上升与下降；马达22通过传动装置23与驱动轴21连接，用以控制驱动轴21的动作；光轴25通过滑动装置24与驱动轴21滑动连接；挡片26固定于驱动轴21上；预定位置传感器27固定于传送系统2内的支架上(图2、3中未示出)；所述光轴25上设置有制动装置28，所述制动装置28上设置有传感器29，所述传感器29与马达控制器30连接，所述马达控制器30与马达22连接。

当传送系统2做自动校正时，预定位置传感器27失效的情况下，驱动轴21发生下沉时，通过设置在光轴25上的制动装置28，可暂时阻止驱动轴21的下沉。此外，驱动轴21在碰到所述制动装置28的同时，也将触发设置于所述制动装置28上的传感器29，传感器29将输出信号至与其连接的马达控制器30，马达控制器30将控制马达22停止运行，彻底阻止驱动轴21的下沉。根据本实施例提供的传送系统，在驱动轴21下沉时，与驱动轴21连接的承载台20及承载台20所承载的晶舟200，不会与传送系统2内其他装置碰撞，并且，承载台20也不会碰触传送系统2的底部，可确保承载台20及晶舟200的安全。

在本实用新型一实施例中，所述制动装置28套接在所述光轴25上，所述制动装置28可以是厚度为15～25cm，外径为50～70cm，内径与所述光轴25直径吻合的圆柱形套管。在本实用新型另一实施例中，所述制动装置28也可以是厚度为15～25cm，边长为50～70cm，内径与所述光轴25直径吻合的长方体形套管。在此厚度范围内，制动装置28能够有效地暂时阻止驱动轴21的下沉，不致于因为制动装置过薄，使得驱动轴连带制动装置一起下沉。当制动装置28是外径为50～70cm的圆柱形套管或边长为50～70cm的长方体形套管时，制动装置28具有足够的面积承载驱动轴21，不致于因为制动装置28承载面积过窄，不能承载到下沉的驱动轴。当然，本实用新型的制动装置28的形状并不局限于此，其可以是其它任意适于承载下沉的驱动轴的形状。

在本实用新型的其它实施例中，制动装置28也可通过支架固定于光轴25上，或者通过螺纹固定于光轴25上。当然，本实用新型不对光轴上固定制动装置的方式做限定，其还可以是其它可将制动装置固定于光轴上的任意方式。

在本实施例中，所述制动装置28是由聚酯材料制成的，聚酯材料具有一定的弹性，可减小驱动轴21碰到制动装置28所产生的碰撞力。当然，所述制动装置28还可由其它可减小碰撞力的材料制成。

在本实施例中，所述制动装置28上设置有一个传感器29。在本实用新型的其他实施例中，所述制动装置28上也可设置有两个或者更多个传感器。本领域技术人员可根据传感器的价格、制动装置上可设置传感器的空间、以及由设置的传感器数量所带来的可靠性等多种因素，最终确定传感器的数量。

在本实施例中，所述制动装置28上设置的传感器29位于所述驱动轴21的正下方，位于驱动轴21的正下方能使得传感器29更灵敏的感应到驱动轴21的下沉。当然，在本实用新型其它实施例中，所述传感器29的位置也可稍微变动，只要使传感器29能感应到驱动轴21的下沉即可。

在本实施例中，所述马达控制器30上还安装有报警装置(未图示)。通过所述报警装置可提醒操作人员传送系统2内发生的异常情况，从而及时处理，以提到生产效率。所述报警装置可以是LED发光器，或者是喇叭，或者是发生器等其它可发出声光从而起到提醒作用的装置。

上述描述仅是对本实用新型较佳实施例的描述，并非对本实用新型范围的任何限定，本领域的普通技术人员根据上述揭示内容做的任何变更、修饰，均属于权利要求书的保护范围。

Claims

1.一种传送系统，包括：

承载台，用以承载晶舟；

驱动轴，其一端与所述承载台连接，用以驱动所述承载台的上升与下降；

马达，通过传动装置与所述驱动轴连接，用以控制所述驱动轴的动作；

光轴，通过滑动装置与所述驱动轴滑动连接；

其特征在于，所述光轴上设置有制动装置，所述制动装置上设置有传感器，所述传感器与马达控制器连接，所述马达控制器与所述马达连接。

2.如权利要求1所述的传送系统，其特征在于，所述制动装置套接在所述光轴上。

3.如权利要求2所述的传送系统，其特征在于，所述制动装置是厚度为15～25cm，外径为50～70cm，内径与所述光轴直径吻合的圆柱形套管。

4.如权利要求2所述的传送系统，其特征在于，所述制动装置是厚度为15～25cm，边长为50～70cm，内径与所述光轴直径吻合的长方体形套管。

5.如权利要求1所述的传送系统，其特征在于，所述制动装置通过支架固定于所述光轴上。

6.如权利要求1或2或5所述的传送系统，其特征在于，所述制动装置是由聚酯材料制成的。

7.如权利要求1或2或5所述的传送系统，其特征在于，所述制动装置上设置有一个传感器。

8.如权利要求1或2或5所述的传送系统，其特征在于，所述制动装置上设置有两个以上传感器。

9.如权利要求1或2或5所述的传送系统，其特征在于，所述制动装置上设置的传感器位于所述驱动轴的正下方。

10.如权利要求1或2或5所述的传送系统，其特征在于，所述马达控制器上还安装有报警装置。

11.如权利要求10所述的传送系统，其特征在于，所述报警装置是LED发光器。

12.如权利要求10所述的传送系统，其特征在于，所述报警装置是发生器。