CN202200408U - 电路及包含该电路的水冷式硅片切片机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于水冷式硅片切片机的电路及包含该电路的水冷式硅片切片机，所述电路包括一个时间继电器，所述时间继电器的线圈输入端与所述硅片切片机的压力传感器的输出端相连，输出端与所述硅片切片机的压力传感器的压力信号线相连。本实用新型所述的电路可用于任何水冷式的硅片切片机。

Description

电路及包含该电路的水冷式硅片切片机

技术领域

本实用新型涉及用于水冷式硅片切片机的电路，更具体地涉及调节水冷式硅片切片机瞬时水压的电路。本实用新型还涉及包括所述电路的水冷式硅片切片机。 

背景技术

随着全球各国绿色能源的推广和近年来半导体产业的超常规发展，硅片市场的供给已极度不平衡，切割加工能力的落后和产能的严重地制约了产业的发展。近年来出现的新型硅片多丝切割技术现已是硅片(晶圆)上游生产的关键技术，具有切割表面质量高、切割效率高和可切割大尺寸材料、方便后续加工等特点。 

目前用于工业应用的主流多线切割设备包括瑞士HCT的B5型切片机、梅耶博格(Meyer Burger)的DS264/271型切片机和日本NTC的MWM442D型切片机。这些设备均采用可编程控制器(PLC)作为控制部件，用于集中控制处理设备上的模拟量信号和数字量信号。 

上述切片机均采用冷却水对设备进行冷却，不同的设备对冷却水压力有不同的要求，例如，DS271/1型切片机对冷却水的要求是进水水压在2～5bar之间，与出水管道的压差不得低于1.5bar。进水水压过高或过低均会导致设备停机。但是供水系统水压有时会发生瞬时波动，例如供水系统电源切换时，水压通常会发生数秒钟的瞬时波动。该数秒钟的瞬时水压波动通常不会对切片机的运行产生不利的影响，但是当压力传感器将该水压的瞬时波动信号输送至切片机软件控制系统后，控制系统会误认为冷却水水压过低，会立即输出停机信号而导致设备停机。 

实用新型内容

因此在实际生产中，需要一种用于处理瞬时波动水压信号装置，防 止因瞬时水压波动导致设备停机，妨碍正常生产。 

本实用新型提供了一种处理瞬时波动水压信号的电路，该电路安装在切片机压力传感器和控制系统之间，属于硬件控制，不改变原来设备的软件控制系统，只是将原来的报警信号经过适当的处理再输出输入到控制系统。 

本实用新型的电路可使用任何时间继电器，包括通电延时继电器和断电延时继电器。本实用新型任选可在压力传感器和时间继电器间连接使用中间继电器，其中，压力传感器的输出端与中间继电器的线圈相连，中间继电器的常闭触点与通电延时继电器线圈输入端相连，通电延时继电器输出端与设备原压力信号线相连。具体地，延时继电器的延时时间设置为5～60秒。 

在使用断电延时继电器时，由于可不使用中间继电器，减小了电路规模，避免电路出现故障的几率，因此本实用新型优选使用断电延时继电器。 

在生产实践中，供水系统水压瞬时波动时间通常在数秒至数十秒钟之内，例如1～60秒、1～40秒、1～20秒、1～10秒、1～5秒、1～4秒、1～3秒和1～2秒，如此短暂的波动并不会对设备产生不利的影响。因此作为一种改进，本实用新型优选使用精度为秒级的时间继电器，该时间继电器的预先设定的延时时间通常根据实际的水压波动情况设置，例如1～60秒、1～40秒、1～20秒、1～10秒、1～5秒、1～4秒、1～3秒和1～2秒，优选为设置在5～10秒，更优选为5秒。 

在本实用新型中所述的水冷式硅片切片机是指任何使用循环水进行冷却的硅片切片机，这类切片机均可使用本实用新型所述的电路来防止水压瞬时波动造成的停机。这类水冷式硅片切片机包括，但不限于：梅耶博格公司DS264型切片机、梅耶博格公司DS271型切片机和应用材料公司HCT-B5型切片机。 

附图说明

通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本发明的其它特征、目的和优点将会变得更加明显： 

图1是本实用新型电路的流程图； 

图2是本实用新型使用了断电延时继电器的电路图； 

图3是本实用新型使用了通电延时继电器的电路图。 

具体实施方式

附图1是本实用新型电路的流程图，其中压力回路表示由原设备自身的压力传感器回路，设备控制系统为原设备自身的控制系统。本实用新型电路包括时间继电器，该时间继电器的线圈输入端与硅片切片机的压力传感器的输出端相连，输出端与所述硅片切片机的压力传感器的压力信号线相连，形成信号延时回路。当遇到瞬时的水压波动，例如1～5秒内水压从5bar下降到2bar，压力传感器将该压力信号转化为电信号并输出。时间继电器通常根据水压波动的实际情况预先设定一个延时时间，例如1～60秒、1～40秒、1～20秒、1～10秒、1～5秒、1～4秒、1～3秒和1～2秒，当接受到来自压力传感器的电信号后，会自动截留在设定延时时间段内的电信号，从而控制系统不会输出停机的信号，保证了机器的正常运转；若水压波动为非瞬时波动，即波动的时间超过预先设定的延时时间，时间继电器会输出水压波动信号到控制系统，从而控制设备停机，防止了设备的空转。因此本发明的电路有效地对瞬时波动水压进行了处理，保证了切片机的正常运行。 

附图2说明了本实用新型的使用断电延时继电器的实施方案，其中回路1：压力传感器101一端与电源输入端100相连，另一端与断电延时继电器线圈102相连，断电延时继电器线圈102另一端再与电源输入端100相连，形成闭合回路。 

回路2：断电延时继电器常闭触点103一端与电源输入端100相连，另一端与设备控制系统输入点104相连，设备控制系统输入点104另一端与电源输入端100相连，形成闭合回路。 

在工作过程中，当水压正常时，回路1导通工作，断电延时继电器线圈102得电，则回路2中断电延时继电器常闭触点103断开，则回路2不工作，设备控制系统输入点104无信号输入，系统不产生水压报警。 

当水压瞬间波动时，当波动时间小于断电延时继电器设定时间时，则断 电延时继电器线圈102得电，则回路2中断电延时继电器常闭触点103断开，则回路2不工作，设备控制系统输入点104无信号输入，系统不产生水压报警。 

当水压瞬间波动时间在3～5秒，当波动时间大于断电延时继电器设定时间时，则断电延时继电器线圈102失电，则回路2中断电延时继电器常闭触点103闭合，则回路2工作，设备控制系统输入点104有信号输入，系统产生水压报警。这样就判断水压不是瞬间波动，而是水压低，则正常报警。 

在此情况下，压力传感器安装于DS271/1型切片机进水管道过滤器下端。断电延时继电器的预先设定的时间为10秒。供水泵电源切换时间一般在2～3秒，瞬时水压波动时间在3～5秒，此时在时间继电器的作用下未出现停机现象。 

附图3说明了本实用新型的使用通电延时继电器的实施方案，其中： 

回路1：压力传感器201一端与电源输入端200相连，另一端与中间继电器线圈202相连，中间继电器线圈202另一端再与电源输入端200相连，形成闭合回路。 

回路2：中间继电器常闭触点203一端与电源输入端200相连，另一端与通电延时继电器线圈204相连，通电继电器线圈204另一端再与电源输入端200相连，形成闭合回路。 

回路3：通电延时继电器常开触点205一端以电源输入端200相连，另一端与设备控制系统输入点206相连，设备控制系统另一端再于电源输入端200相连，形成闭合回路。 

此时，压力传感器安装于切片机进水管道过滤器下端。通电延时继电器的预先设定的时间为10秒。供水泵电源切换时间一般在2～3秒，瞬时水压波动时间在3～5秒，此时在时间继电器的作用下未出现停机现象。 

本领域技术人员应能理解，上述实施例均是示例性而非限制性的。在不同实施例中出现的不同技术特征可以进行组合，以取得有益效果。本领域技术人员在研究附图、说明书及权利要求书的基础上，应能理解并实现所揭示的实施例的其他变化的实施例。在权利要求书中，术语“包 括”并不排除其他装置或步骤；不定冠词“一个”不排除多个；术语“第一”、“第二”用于标示名称而非用于表示任何特定的顺序。权利要求中的任何附图标记均不应被理解为对保护范围的限制。权利要求中出现的多个部分的功能可以由一个单独的硬件或软件模块来实现，某一部分的功能也可以由多个不同的硬件或软件模块来实现。某些技术特征出现在不同的从属权利要求中并不意味着不能将这些技术特征进行组合以取得有益效果。 

Claims (8)

1.一种用于水冷式硅片切片机的电路，其特征在于所述电路包括一个时间继电器，所述时间继电器的线圈输入端与所述硅片切片机的压力传感器的输出端相连，所述时间继电器的输出端与所述硅片切片机的压力传感器的压力信号线相连。

2.根据权利要求1所述的电路，其特征在于所述时间继电器为通电延时继电器。

3.根据权利要求1所述的电路，其特征在于所述时间继电器为断电延时继电器。

4.根据权利要求2所述的电路，其特征在于在所述硅片切片机的压力传感器与所述时间继电器之间还连接有中间继电器，所述压力传感器的输出端与所述中间继电器的线圈相连，所述中间继电器的常闭触点与所述通电延时继电器线圈输入端相连，所述通电延时继电器输出端与设备原压力信号线相连。

5.根据权利要求1～3任一项所述的电路，其特征在于所述时间继电器的精度为秒级。

6.根据权利要求5所述的电路，其特征在于所述延时继电器的延时时间设置为5～60秒。

7.根据权利要求6所述的电路，其特征在于所述延时继电器的延时时间设置为5秒。

8.一种水冷式硅片切片机，其特征在于包括根据权利要求1～6中任一项所述的电路。 

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